The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry
In this paper presents the research results of mass-spectroscopy of the RF discharge plasma in the controlled magnetic fields. The discharge was conducted in the gases containing halogens and mixtures with the oxygen. The evolution of the main plasma components from the oxygen content was investig...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2016 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2016
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115471 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry / V.V. Hladkovskiy, B.P. Polozov, O.A. Fedorovich // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 314-316. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-115471 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Hladkovskiy, V.V. Polozov, B.P. Fedorovich, O.A. 2017-04-05T06:50:14Z 2017-04-05T06:50:14Z 2016 The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry / V.V. Hladkovskiy, B.P. Polozov, O.A. Fedorovich // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 314-316. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.Bn, 81.65.Cf https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115471 In this paper presents the research results of mass-spectroscopy of the RF discharge plasma in the controlled magnetic fields. The discharge was conducted in the gases containing halogens and mixtures with the oxygen. The evolution of the main plasma components from the oxygen content was investigated. Представлены результаты масс-спектрометрических исследований плазмы ВЧ-разряда в управляемых магнитных полях. Разряд проводился в чистых галогенсодержащих газах и в смеси с кислородом. Исследована эволюция основных компонентов плазмы от содержания кислорода. Представлено результати мас-спектрометричних досліджень плазми ВЧ-розряду в керованих магнітних полях. Розряд проводився в чистих галогеновмісних газах і в суміші з киснем. Досліджено еволюцію основних компонентів плазми від вмісту кисню. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Plasma diagnostics The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry Анализ состава плазмы ВЧ-разряда методом масс-спектрометрии Аналіз складу плазми ВЧ-розряду методом мас-спектрометрії Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| spellingShingle |
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry Hladkovskiy, V.V. Polozov, B.P. Fedorovich, O.A. Plasma diagnostics |
| title_short |
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| title_full |
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| title_fullStr |
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| title_full_unstemmed |
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| title_sort |
qualitative analysis of the composition of the rf discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| author |
Hladkovskiy, V.V. Polozov, B.P. Fedorovich, O.A. |
| author_facet |
Hladkovskiy, V.V. Polozov, B.P. Fedorovich, O.A. |
| topic |
Plasma diagnostics |
| topic_facet |
Plasma diagnostics |
| publishDate |
2016 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Анализ состава плазмы ВЧ-разряда методом масс-спектрометрии Аналіз складу плазми ВЧ-розряду методом мас-спектрометрії |
| description |
In this paper presents the research results of mass-spectroscopy of the RF discharge plasma in the
controlled magnetic fields. The discharge was conducted in the gases containing halogens and mixtures with the
oxygen. The evolution of the main plasma components from the oxygen content was investigated.
Представлены результаты масс-спектрометрических исследований плазмы ВЧ-разряда в управляемых
магнитных полях. Разряд проводился в чистых галогенсодержащих газах и в смеси с кислородом.
Исследована эволюция основных компонентов плазмы от содержания кислорода.
Представлено результати мас-спектрометричних досліджень плазми ВЧ-розряду в керованих магнітних
полях. Розряд проводився в чистих галогеновмісних газах і в суміші з киснем. Досліджено еволюцію
основних компонентів плазми від вмісту кисню.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115471 |
| citation_txt |
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry / V.V. Hladkovskiy, B.P. Polozov, O.A. Fedorovich // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 314-316. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT hladkovskiyvv thequalitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT polozovbp thequalitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT fedorovichoa thequalitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT hladkovskiyvv analizsostavaplazmyvčrazrâdametodommassspektrometrii AT polozovbp analizsostavaplazmyvčrazrâdametodommassspektrometrii AT fedorovichoa analizsostavaplazmyvčrazrâdametodommassspektrometrii AT hladkovskiyvv analízskladuplazmivčrozrâdumetodommasspektrometríí AT polozovbp analízskladuplazmivčrozrâdumetodommasspektrometríí AT fedorovichoa analízskladuplazmivčrozrâdumetodommasspektrometríí AT hladkovskiyvv qualitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT polozovbp qualitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT fedorovichoa qualitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry |
| first_indexed |
2025-12-01T08:13:00Z |
| last_indexed |
2025-12-01T08:13:00Z |
| _version_ |
1850859643658567680 |