The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry
In this paper presents the research results of mass-spectroscopy of the RF discharge plasma in the
 controlled magnetic fields. The discharge was conducted in the gases containing halogens and mixtures with the
 oxygen. The evolution of the main plasma components from the oxygen cont...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115471 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry / V.V. Hladkovskiy, B.P. Polozov, O.A. Fedorovich // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 314-316. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862643787758567424 |
|---|---|
| author | Hladkovskiy, V.V. Polozov, B.P. Fedorovich, O.A. |
| author_facet | Hladkovskiy, V.V. Polozov, B.P. Fedorovich, O.A. |
| citation_txt | The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry / V.V. Hladkovskiy, B.P. Polozov, O.A. Fedorovich // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 314-316. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | In this paper presents the research results of mass-spectroscopy of the RF discharge plasma in the
controlled magnetic fields. The discharge was conducted in the gases containing halogens and mixtures with the
oxygen. The evolution of the main plasma components from the oxygen content was investigated.
Представлены результаты масс-спектрометрических исследований плазмы ВЧ-разряда в управляемых
магнитных полях. Разряд проводился в чистых галогенсодержащих газах и в смеси с кислородом.
Исследована эволюция основных компонентов плазмы от содержания кислорода.
Представлено результати мас-спектрометричних досліджень плазми ВЧ-розряду в керованих магнітних
полях. Розряд проводився в чистих галогеновмісних газах і в суміші з киснем. Досліджено еволюцію
основних компонентів плазми від вмісту кисню.
|
| first_indexed | 2025-12-01T08:13:00Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-115471 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-01T08:13:00Z |
| publishDate | 2016 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Hladkovskiy, V.V. Polozov, B.P. Fedorovich, O.A. 2017-04-05T06:50:14Z 2017-04-05T06:50:14Z 2016 The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry / V.V. Hladkovskiy, B.P. Polozov, O.A. Fedorovich // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 314-316. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.Bn, 81.65.Cf https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115471 In this paper presents the research results of mass-spectroscopy of the RF discharge plasma in the
 controlled magnetic fields. The discharge was conducted in the gases containing halogens and mixtures with the
 oxygen. The evolution of the main plasma components from the oxygen content was investigated. Представлены результаты масс-спектрометрических исследований плазмы ВЧ-разряда в управляемых
 магнитных полях. Разряд проводился в чистых галогенсодержащих газах и в смеси с кислородом.
 Исследована эволюция основных компонентов плазмы от содержания кислорода. Представлено результати мас-спектрометричних досліджень плазми ВЧ-розряду в керованих магнітних
 полях. Розряд проводився в чистих галогеновмісних газах і в суміші з киснем. Досліджено еволюцію
 основних компонентів плазми від вмісту кисню. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Plasma diagnostics The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry Анализ состава плазмы ВЧ-разряда методом масс-спектрометрии Аналіз складу плазми ВЧ-розряду методом мас-спектрометрії Article published earlier |
| spellingShingle | The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry Hladkovskiy, V.V. Polozov, B.P. Fedorovich, O.A. Plasma diagnostics |
| title | The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| title_alt | Анализ состава плазмы ВЧ-разряда методом масс-спектрометрии Аналіз складу плазми ВЧ-розряду методом мас-спектрометрії |
| title_full | The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| title_fullStr | The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| title_full_unstemmed | The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| title_short | The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| title_sort | qualitative analysis of the composition of the rf discharge plasma by means of mass-spectrometry |
| topic | Plasma diagnostics |
| topic_facet | Plasma diagnostics |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115471 |
| work_keys_str_mv | AT hladkovskiyvv thequalitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT polozovbp thequalitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT fedorovichoa thequalitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT hladkovskiyvv analizsostavaplazmyvčrazrâdametodommassspektrometrii AT polozovbp analizsostavaplazmyvčrazrâdametodommassspektrometrii AT fedorovichoa analizsostavaplazmyvčrazrâdametodommassspektrometrii AT hladkovskiyvv analízskladuplazmivčrozrâdumetodommasspektrometríí AT polozovbp analízskladuplazmivčrozrâdumetodommasspektrometríí AT fedorovichoa analízskladuplazmivčrozrâdumetodommasspektrometríí AT hladkovskiyvv qualitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT polozovbp qualitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry AT fedorovichoa qualitativeanalysisofthecompositionoftherfdischargeplasmabymeansofmassspectrometry |