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The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry

In this paper presents the research results of mass-spectroscopy of the RF discharge plasma in the controlled magnetic fields. The discharge was conducted in the gases containing halogens and mixtures with the oxygen. The evolution of the main plasma components from the oxygen cont...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2016
Hauptverfasser:	Hladkovskiy, V.V., Polozov, B.P., Fedorovich, O.A.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2016
Schlagworte:	Plasma diagnostics
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115471
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry / V.V. Hladkovskiy, B.P. Polozov, O.A. Fedorovich // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 314-316. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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