Наноинтеграция и самосборка в нано-электронике (обзор)

• Published in: Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
• Date: 2010
• Main Authors: Свечников, Г.С., Морозовская, А.Н.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115513
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Наноинтеграция и самосборка в нано-электронике (обзор) / Г. С. Свечников, А. Н. Морозовская // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2010. — Вип. 45. — С. 11-26. — Бібліогр.: 54 назв. — рос.

Обзор охватывает современные принципы интеграции и самосборки наноразмерных элементов, их массивов и иерархических структур в электронике. В качестве материалов для наноинтеграции рассмотрены углеродные нанотрубки, графен и клатраты; описаны методы их интеграции для ячеек памяти, наногенераторов, од...