Формирование структуры Al₂O₃ с использованием удаляемых в процессе конденсации добавок In и NaCl

Исследованы возможности модификации толстых конденсатов оксида алюминия, полученных электронно-лучевым осаждением в вакууме. Рассмотрен технологический прием формирования оксида алюминия в парах удаляемых с поверхности конденсации добавок. Показано, что температура подложки и тип неорганических доба...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Современная электрометаллургия
Date:2015
Main Authors: Стельмах, Я.А., Крушинская, Л.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2015
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115552
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Формирование структуры Al₂O₃ с использованием удаляемых в процессе конденсации добавок In и NaCl / Я.А. Стельмах, Л.А. Крушинская // Современная электрометаллургия. — 2015. — № 4 (121). — С. 52-55. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine