Координатно-чувствительный детектор заряженных частиц для спектроскопии

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2016
• Main Authors: Сидоренко, В.П., Прокофьев, Ю.В., Мурченко, Д.С., Еременко, В.М., Шелехов, А.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2016
• Subjects: Функциональная микро- и наноэлектроника
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115695
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Координатно-чувствительный детектор заряженных частиц для спектроскопии / В.П. Сидоренко, Ю.В. Прокофьев, Д.С. Мурченко, В.М. Еременко, А.В. Шелехов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2016. — № 4-5. — С. 53-60. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Разработан, изготовлен и исследован координатно-чувствительный детектор заряженных частиц для спектроскопии, который может использоваться в аналитической аппаратуре, обеспечивая одновременный анализ всего элементного состава материалов с высокой чувствительностью и точностью. Детектор построен на ос...