Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития
Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных
 протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технолог...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Наука та інновації |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116084 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 17-22. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862543752930787328 |
|---|---|
| author | Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Пономарев, А.Г. |
| author_facet | Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Пономарев, А.Г. |
| citation_txt | Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 17-22. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наука та інновації |
| description | Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных
протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технологии протонной
пучковой литографии и сформулированы перспективы ее развития.
Розглянуто застосування сфокусованих пучків протонів з енергією декількох МеВ в технології виготовлення мікро- та нанорозмірних структур. Показано відмітні
особливості взаємодії енергетичних протонів з резистивними матеріалами. Викладені уявлення про сучасний
стан технології протонної пучкової літографії та сформульовані перспективи її розвитку.
The application of focusing beams of protons with MeV
energy in fabrication technology of micro- and nano-dimension
structures is considered. Difference features of energetic
protons interaction with resistive materials are shown.
The representation about state of the art of technology of
proton beam lithography is given and prospects of its development are formulated.
|
| first_indexed | 2025-11-24T21:28:36Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-116084 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1815-2066 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-24T21:28:36Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Пономарев, А.Г. 2017-04-20T13:15:29Z 2017-04-20T13:15:29Z 2012 Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 17-22. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin8.02.017 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116084 Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных
 протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технологии протонной
 пучковой литографии и сформулированы перспективы ее развития. Розглянуто застосування сфокусованих пучків протонів з енергією декількох МеВ в технології виготовлення мікро- та нанорозмірних структур. Показано відмітні
 особливості взаємодії енергетичних протонів з резистивними матеріалами. Викладені уявлення про сучасний
 стан технології протонної пучкової літографії та сформульовані перспективи її розвитку. The application of focusing beams of protons with MeV
 energy in fabrication technology of micro- and nano-dimension
 structures is considered. Difference features of energetic
 protons interaction with resistive materials are shown.
 The representation about state of the art of technology of
 proton beam lithography is given and prospects of its development are formulated. ru Видавничий дім "Академперіодика" НАН України Наука та інновації Світ інновацій Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития Виготовлення мікро- і нанорозмірних структур з застосуванням протонної пучкової літографії: сучасний стан та перспективи розвитку Nanofabrication with Using of Proton Beam Writing: State of the Art and Prospects of Development Article published earlier |
| spellingShingle | Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Пономарев, А.Г. Світ інновацій |
| title | Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития |
| title_alt | Виготовлення мікро- і нанорозмірних структур з застосуванням протонної пучкової літографії: сучасний стан та перспективи розвитку Nanofabrication with Using of Proton Beam Writing: State of the Art and Prospects of Development |
| title_full | Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития |
| title_fullStr | Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития |
| title_full_unstemmed | Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития |
| title_short | Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития |
| title_sort | изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития |
| topic | Світ інновацій |
| topic_facet | Світ інновацій |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116084 |
| work_keys_str_mv | AT storižkove izgotovleniemikroinanorazmernyhstruktursprimeneniemprotonnoipučkovoilitografiisovremennoesostoânieiperspektivyrazvitiâ AT mirošničenkovi izgotovleniemikroinanorazmernyhstruktursprimeneniemprotonnoipučkovoilitografiisovremennoesostoânieiperspektivyrazvitiâ AT ponomarevag izgotovleniemikroinanorazmernyhstruktursprimeneniemprotonnoipučkovoilitografiisovremennoesostoânieiperspektivyrazvitiâ AT storižkove vigotovlennâmíkroínanorozmírnihstrukturzzastosuvannâmprotonnoípučkovoílítografíísučasniistantaperspektivirozvitku AT mirošničenkovi vigotovlennâmíkroínanorozmírnihstrukturzzastosuvannâmprotonnoípučkovoílítografíísučasniistantaperspektivirozvitku AT ponomarevag vigotovlennâmíkroínanorozmírnihstrukturzzastosuvannâmprotonnoípučkovoílítografíísučasniistantaperspektivirozvitku AT storižkove nanofabricationwithusingofprotonbeamwritingstateoftheartandprospectsofdevelopment AT mirošničenkovi nanofabricationwithusingofprotonbeamwritingstateoftheartandprospectsofdevelopment AT ponomarevag nanofabricationwithusingofprotonbeamwritingstateoftheartandprospectsofdevelopment |