Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития

• Published in: Наука та інновації
• Date: 2012
• Main Authors: Сторижко, В.Е., Мирошниченко, В.И., Пономарев, А.Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2012
• Subjects: Світ інновацій
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116084
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 17-22. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.

Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технологии прото...