Buchumschlag

Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития

Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технолог...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Наука та інновації
Datum:	2012
ISSN:	1815-2066
Hauptverfasser:	Сторижко, В.Е., Мирошниченко, В.И., Пономарев, А.Г.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2012
Schlagworte:	Світ інновацій
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116084
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 17-22. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур
von: Пономарев, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se
von: Индутный, И.З., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Многоуровневая оптическая память на микро- и наноразмерных структурах
von: Demyohin, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Многоуровневая оптическая память на микро- и наноразмерных структурах
von: Демёхин, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Моделирование излучения электронно-пучковой антенны
von: Лонин, Ю.Ф, et al.
Veröffentlicht: (2010)

Электронные свойства наноразмерных квазиатомных структур
von: Покутний, С.И., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Современное искусство: состояние и перспективы
von: Зиннурова, Л.И.
Veröffentlicht: (2011)

Структура и свойства износостойкой наплавки, модифицированной электронно-пучковой обработкой
von: Кормышев, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Изготовление и применение тонкостенных спиральношовных труб
von: Письменный, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Повышение усталостного ресурса силумина электронно-пучковой обработкой
von: Громов, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Термоэлектрические микрогенераторы. Современное состояние и перспективы использования
von: Strutynska, L. T.
Veröffentlicht: (2008)

Электронно-лучевая технология: современное состояние и перспективы
Veröffentlicht: (2018)

Сварочное производство Индии: современное состояние и перспективы
von: Гехани, М.Л.
Veröffentlicht: (2006)

Современное состояние и перспективы развития города Евпатория
von: Тропина, К.А.
Veröffentlicht: (2002)

Почвообрабатывающие орудия: современное состояние и перспективы развития
von: Кобец, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Термоэлектрические микрогенераторы. Современное состояние и перспективы использования
von: Струтинская, Л.Т.
Veröffentlicht: (2008)

Крымскотатарская лексикография: современное состояние и перспективы развития
von: Эмирова, А.М.
Veröffentlicht: (1998)

Рождаемость в Молдове: современное состояние и перспективы
von: Гагауз, О.Е.
Veröffentlicht: (2010)

Формирование электровзрывных износо- и электроэрозионностойких покрытий с использованием электронно-пучковой обработки
von: Романов, Д.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Оценка протонной проводимости в некоторых индивидуальных н-кислотах
von: Карапетян, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (1983)

Современное состояние и перспективы производства регулируемых асинхронных двигателей
von: Петрушин, В.С.
Veröffentlicht: (2005)

Преобразователи формы информации: современное состояние и перспективы развития
von: Багацкий, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Рекреационные ресурсы Крыма: современное состояние и перспективы развития
von: Ваниева, Э.А.
Veröffentlicht: (2005)

Новая документация на изготовление и ремонт технологического энергооборудования
von: Ющенко, К.Д., et al.
Veröffentlicht: (2003)

pH сенсорные материалы на основе полимерных наноразмерных структур
von: Безкровная, О.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Теория и методы евклидовой комбинаторной оптимизации: современное состояние и перспективы
von: Стоян, Ю.Г., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Современное состояние и перспективы развития отечественного и мирового рынка рекламы
von: Половникова, Е.Н.
Veröffentlicht: (2009)

Система формирования пучка для протонной терапии в ИЯИ РАН
von: Акулиничев, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Магнитоуправляемый транспорт лекарственных препаратов: современное состояние разработки и перспективы
von: Горбик, П.П., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Маркетинговое исследование рынков метизной продукции: современное состояние и перспективы
von: Зубанов, В.А.
Veröffentlicht: (2008)

Современное состояние крымскотатарского литературного языка и перспективы его развития
von: Эмирова, А.М.
Veröffentlicht: (1999)

Современное состояние крымскотатарского литературного языка и перспективы его развития
von: Меметов, А.М.
Veröffentlicht: (2010)

Современное состояние и перспективы развития лазерных методов обработки материалов
von: Коваленко, В.С.
Veröffentlicht: (2006)

Современное состояние и перспективы развития топливно-энергетического комплекса Украины
von: Гуменюк, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Современное состояние и перспективы развития аграрного производства в Крыму
von: Воробьев, Ю.Н.
Veröffentlicht: (2000)

Конформационные переходы поли (С) и поли(сІС): исследование методом протонной буферной емкости
von: Зарудная, М.И., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Изготовление и проведение радиационных испытаний разгрузочной трубы реактора ВТГР
von: Гурин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Анализ методов получения наноразмерных рельефных структур на поверхности носителей информации
von: Крючин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Современное состояние и перспективы рынка стали и сварочной техники Китая (Обзор)
von: Маковецкая, О.К.
Veröffentlicht: (2011)

Современное состояние и перспективы развития технологий лазерной и гибридной наплавки (Обзор)
von: Хаскин, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2015)