Зображення обкладинки

Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития

Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технологии прото...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Наука та інновації
Дата:	2012
Автори:	Сторижко, В.Е., Мирошниченко, В.И., Пономарев, А.Г.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2012
Теми:	Світ інновацій
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116084
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 17-22. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур
за авторством: Пономарев, А.Г., та інші
Опубліковано: (2019)

Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se
за авторством: Индутный, И.З., та інші
Опубліковано: (2013)

Моделирование излучения электронно-пучковой антенны
за авторством: Лонин, Ю.Ф, та інші
Опубліковано: (2010)

Электронные свойства наноразмерных квазиатомных структур
за авторством: Покутний, С.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Современное искусство: состояние и перспективы
за авторством: Зиннурова, Л.И.
Опубліковано: (2011)

Структура и свойства износостойкой наплавки, модифицированной электронно-пучковой обработкой
за авторством: Кормышев, В.Е., та інші
Опубліковано: (2017)

Электронно-лучевая технология: современное состояние и перспективы
Опубліковано: (2018)

Современное состояние и перспективы развития города Евпатория
за авторством: Тропина, К.А.
Опубліковано: (2002)

Сварочное производство Индии: современное состояние и перспективы
за авторством: Гехани, М.Л.
Опубліковано: (2006)

Термоэлектрические микрогенераторы. Современное состояние и перспективы использования
за авторством: Strutynska, L. T.
Опубліковано: (2008)

Преобразователи формы информации: современное состояние и перспективы развития
за авторством: Багацкий, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Современное состояние и перспективы производства регулируемых асинхронных двигателей
за авторством: Петрушин, В.С.
Опубліковано: (2005)

Рекреационные ресурсы Крыма: современное состояние и перспективы развития
за авторством: Ваниева, Э.А.
Опубліковано: (2005)

Формирование электровзрывных износо- и электроэрозионностойких покрытий с использованием электронно-пучковой обработки
за авторством: Романов, Д.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Новая документация на изготовление и ремонт технологического энергооборудования
за авторством: Ющенко, К.Д., та інші
Опубліковано: (2003)

pH сенсорные материалы на основе полимерных наноразмерных структур
за авторством: Безкровная, О.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Теория и методы евклидовой комбинаторной оптимизации: современное состояние и перспективы
за авторством: Стоян, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2020)

Современное состояние крымскотатарского литературного языка и перспективы его развития
за авторством: Эмирова, А.М.
Опубліковано: (1999)

Маркетинговое исследование рынков метизной продукции: современное состояние и перспективы
за авторством: Зубанов, В.А.
Опубліковано: (2008)

Современное состояние и перспективы развития аграрного производства в Крыму
за авторством: Воробьев, Ю.Н.
Опубліковано: (2000)

Магнитоуправляемый транспорт лекарственных препаратов: современное состояние разработки и перспективы
за авторством: Горбик, П.П., та інші
Опубліковано: (2010)

Современное состояние и перспективы развития лазерных методов обработки материалов
за авторством: Коваленко, В.С.
Опубліковано: (2006)

Современное состояние и перспективы развития топливно-энергетического комплекса Украины
за авторством: Гуменюк, А.Н., та інші
Опубліковано: (2003)

Современное состояние крымскотатарского литературного языка и перспективы его развития
за авторством: Меметов, А.М.
Опубліковано: (2010)

Оценка протонной проводимости в некоторых индивидуальных н-кислотах
за авторством: Карапетян, Ю.А., та інші
Опубліковано: (1983)

Изготовление и проведение радиационных испытаний разгрузочной трубы реактора ВТГР
за авторством: Гурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Анализ методов получения наноразмерных рельефных структур на поверхности носителей информации
за авторством: Крючин, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Современное состояние и перспективы рынка стали и сварочной техники Китая (Обзор)
за авторством: Маковецкая, О.К.
Опубліковано: (2011)

Современное состояние и перспективы развития технологий лазерной и гибридной наплавки (Обзор)
за авторством: Хаскин, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2015)

Современное состояние и перспективы развития сварки взрывом и высокоскоростным ударом (Обзор)
за авторством: Добрушин, Л.Д.
Опубліковано: (2004)

Изготовление деталей коленного протеза методами литья
за авторством: Самарай, В.П.
Опубліковано: (2015)

Изготовление резистивного электронагревателя способом микроплазменного напыления
за авторством: Борисов, Ю.С., та інші
Опубліковано: (2013)

БИОЭНЕРГЕТИКА В УКРАИНЕ: СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ И ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ. ЧАСТЬ 2
за авторством: Geletukha, G.G., та інші
Опубліковано: (2015)

БИОЭНЕРГЕТИКА В УКРАИНЕ: СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ И ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ.ЧАСТЬ 1
за авторством: Geletukha, G. G., та інші
Опубліковано: (2014)

Проектирование инструментария сетевого программного продукта. Современное состояние и перспективы развития
за авторством: Глибовец, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2010)

Ресторанное хозяйство Автономной Республики Крым: современное состояние и перспективы развития
за авторством: Панарина, Н.Е., та інші
Опубліковано: (2010)

Современное состояние и перспективы развития экологии в чёрной металлургии Украины
за авторством: Тубольцев, Л.Г., та інші
Опубліковано: (2008)

Биоэнергетика в Украине: современное состояние и перспективы развития. Часть 1
за авторством: Гелетуха, Г.Г., та інші
Опубліковано: (2015)

Современное состояние и перспективы развития классических задач данамики твердого тела
за авторством: Харламов, П.В.
Опубліковано: (2000)

Система формирования пучка для протонной терапии в ИЯИ РАН
за авторством: Акулиничев, С.В., та інші
Опубліковано: (2008)