Сканирующий ионный гелиевый микроскоп
Описан опыт использования сканирующего гелиевого микроскопа ORION (Carl Zeiss) в исследованиях, проводимых в Междисциплинарном Ресурсном Центре по направлению «нанотехнологии» (Санкт-Петербург, Россия). Затронуты вопросы о формировании и стабильности гелиевого одноатомного источника, о процессах вза...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Наука та інновації |
|---|---|
| Datum: | 2012 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2012
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116085 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Сканирующий ионный гелиевый микроскоп / Ю.В. Петров // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 23-25. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862651245851836416 |
|---|---|
| author | Петров, Ю.В. |
| author_facet | Петров, Ю.В. |
| citation_txt | Сканирующий ионный гелиевый микроскоп / Ю.В. Петров // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 23-25. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наука та інновації |
| description | Описан опыт использования сканирующего гелиевого микроскопа ORION (Carl Zeiss) в исследованиях, проводимых в Междисциплинарном Ресурсном Центре по направлению «нанотехнологии» (Санкт-Петербург, Россия). Затронуты вопросы о формировании и стабильности гелиевого одноатомного источника, о процессах взаимодействия ионов гелия с исследуемым веществом; описаны возможности применения ионной гелиевой микроскопии и литографии.
Описано досвід використання скануючого гелієвого
мікроскопа ORION (Carl Zeiss) в дослідженнях, що проводяться в Міждисциплінарному Ресурсному Центрі за
напрямком «нанотехнології» (С-Петербург, Росія). Порушені питання про формування та стабільність гелієвого одноатомного джерела, про процеси взаємодії іонів
гелію з досліджуваною речовиною; описані можливості застосування іонної гелієвої мікроскопії та літографії.
This article describes the experience of using helium microscope
ORION (Carl Zeiss) at the Interdisciplinary Resource
Center of «Nanotechnology» (St.Petersburg, Russia).
Author discusses the formation and stability of helium single
atom source, the processes of interaction of helium ions
with the investigated substance, describes the possibility of applying helium ion microscopy and lithography.
|
| first_indexed | 2025-12-01T19:41:15Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-116085 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1815-2066 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T19:41:15Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Петров, Ю.В. 2017-04-20T13:15:37Z 2017-04-20T13:15:37Z 2012 Сканирующий ионный гелиевый микроскоп / Ю.В. Петров // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 23-25. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin8.02.023 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116085 Описан опыт использования сканирующего гелиевого микроскопа ORION (Carl Zeiss) в исследованиях, проводимых в Междисциплинарном Ресурсном Центре по направлению «нанотехнологии» (Санкт-Петербург, Россия). Затронуты вопросы о формировании и стабильности гелиевого одноатомного источника, о процессах взаимодействия ионов гелия с исследуемым веществом; описаны возможности применения ионной гелиевой микроскопии и литографии. Описано досвід використання скануючого гелієвого
 мікроскопа ORION (Carl Zeiss) в дослідженнях, що проводяться в Міждисциплінарному Ресурсному Центрі за
 напрямком «нанотехнології» (С-Петербург, Росія). Порушені питання про формування та стабільність гелієвого одноатомного джерела, про процеси взаємодії іонів
 гелію з досліджуваною речовиною; описані можливості застосування іонної гелієвої мікроскопії та літографії. This article describes the experience of using helium microscope
 ORION (Carl Zeiss) at the Interdisciplinary Resource
 Center of «Nanotechnology» (St.Petersburg, Russia).
 Author discusses the formation and stability of helium single
 atom source, the processes of interaction of helium ions
 with the investigated substance, describes the possibility of applying helium ion microscopy and lithography. ru Видавничий дім "Академперіодика" НАН України Наука та інновації Світ інновацій Сканирующий ионный гелиевый микроскоп Скануючий іонний гелієвий мікроскоп Scanning Helium Ion Microscope Article published earlier |
| spellingShingle | Сканирующий ионный гелиевый микроскоп Петров, Ю.В. Світ інновацій |
| title | Сканирующий ионный гелиевый микроскоп |
| title_alt | Скануючий іонний гелієвий мікроскоп Scanning Helium Ion Microscope |
| title_full | Сканирующий ионный гелиевый микроскоп |
| title_fullStr | Сканирующий ионный гелиевый микроскоп |
| title_full_unstemmed | Сканирующий ионный гелиевый микроскоп |
| title_short | Сканирующий ионный гелиевый микроскоп |
| title_sort | сканирующий ионный гелиевый микроскоп |
| topic | Світ інновацій |
| topic_facet | Світ інновацій |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116085 |
| work_keys_str_mv | AT petrovûv skaniruûŝiiionnyigelievyimikroskop AT petrovûv skanuûčiiíonniigelíêviimíkroskop AT petrovûv scanningheliumionmicroscope |