Зображення обкладинки

Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™

Описаны методы оптической эмиссионной спектрометрии тлеющего ВЧ-разряда. Приведены характеристики плазмы тлеющего разряда, позволяющие выполнять эрозию поверхности с высокой скоростью. Описані методи оптичної емісійної спектрометрії тліючого ВЧ-розряду. Наведені характеристики плазми тліючого розря...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Наука та інновації
Дата:	2012
Автори:	Чапон, П., Костенко, О.К.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2012
Теми:	Світ інновацій
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116087
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ / П. Чапон, О.К. Костенко // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 34-38. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Characterisation of Element Distribution in Films and Coatings with RF GDOES and TOFMS™ Methods
за авторством: P. Chapon, та інші
Опубліковано: (2012)

Исследование элементного состава и диффузии компонент тонких пленок железоиттриевого граната
за авторством: Кириченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2014)

Характеризация плоских слоений
за авторством: Болотов, Д.В.
Опубліковано: (2014)

Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N
за авторством: Турбин, П.В.
Опубліковано: (2014)

Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6
за авторством: Маликов, Л.В.
Опубліковано: (2015)

Характеризация остаточных σ-алгебр
за авторством: Шор, А.А., та інші
Опубліковано: (1992)

Супермартингальная характеризация множества стохастических интегралов
за авторством: Крылов, Н.В.
Опубліковано: (1989)

О глубине оперирования исходными данными при обоснованном проектировании
за авторством: Мороз-Подворчан, И.Г.
Опубліковано: (2010)

Углеродные нанотрубки: синтез, характеризация и свойства
за авторством: Бричка, А.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа
за авторством: Левенец, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Линейный ускоритель дейтронов для элементного анализа
за авторством: Вдовин, С.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Структурные особенности формируемых покрытий и плёнок тугоплавких соединений
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2016)

Теоретико-категорная характеризация развертки временных сетей Петри
за авторством: Дубцов, Р.С.
Опубліковано: (2004)

Характеризация групп со слойно конечной периодической частью
за авторством: Сенашов, В.И.
Опубліковано: (2001)

Характеризация распределений с плотностями типа атомарных функций
за авторством: Кабанов, К.И., та інші
Опубліковано: (2015)

Характеризация кольцевых Q-гомеоморфизмов на римановых многообразиях
за авторством: Афанасьева, Е.С.
Опубліковано: (2010)

Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Пространственная характеризация краевого барьера в широких сверхпроводящих пленках
за авторством: Сиваков, А.Г., та інші
Опубліковано: (2018)

Характеризация языков, представимых в графах c отмеченными вершинами
за авторством: Пряничникова, Е.А.
Опубліковано: (2009)

Исследование алмазоподобных углеродных плёнок методами комбинационного рассеяния света и наноиндентирования
за авторством: Кириченко, А.Н., та інші
Опубліковано: (2011)

Неколлинеарная спиновая конфигурация, индуцированная полем в поверхностном слое гадолиния многослойных пленок Gd/Fe
за авторством: Гнатченко, С.Л., та інші
Опубліковано: (1997)

Теоретико-категорная характеризация трассовой эквивалентности для временных автоматных моделей
за авторством: Грибовская, Н.С.
Опубліковано: (2004)

Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами
за авторством: Торяник, И.Н., та інші
Опубліковано: (2014)

Численная характеризация порового пространства наноструктур на базе метода Вороного–Делоне
за авторством: Картузов, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Анализ элементного состава Echinacea purpurea Moench из разных экотопов
за авторством: Глухов, А.З., та інші
Опубліковано: (2005)

Аппаратура для мониторинга элементного состава полиметаллических руд РЛП-21
за авторством: Yefimenko, S. A.
Опубліковано: (2009)

Аппаратура для мониторинга элементного состава полиметаллических руд РЛП-21
за авторством: Ефименко, С.А.
Опубліковано: (2009)

О фильтрации магнитных объектов по глубине посредством аналитического продолжения в поле эквивалентных источников
за авторством: Черная, О.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Особенности структуры квазикристаллических покрытий системы Al-Cu-Fe, полученных методами газотермического напыления
за авторством: Борисов, Ю.С., та інші
Опубліковано: (2001)

Прибор для элементного анализа состава материалов с помощью спектра масс
за авторством: Косуля, Л.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Формирование элементного состава гетероструктур A³B⁵ при эпитаксиииз ионизированных потоков
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2004)

Оценка качества восстановления распределения выгорания по объему ТВС методами пассивной компьютерной томографии
за авторством: Давыдов, В.О., та інші
Опубліковано: (2009)

Исследование распределения серил-тРНК синтетазы в тканях высших эукариот иммунохимическими методами
за авторством: Аверина, Т.И., та інші
Опубліковано: (1992)

Оптические и магниторезистивные свойства поликристаллических LSMO пленок на кристаллических подложках Al₂O₃ и Gd₃Ga₅O₁₂
за авторством: Тихий, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Распределение химического состава по глубине в пленках Cr-O-N, полученных методом ионно-стимулированного осаждения
за авторством: Стервоедов, А.Н.
Опубліковано: (2009)

Туннельные переходы на основе тонких плёнок MgB₂ с разными функциями распределения прозрачностей
за авторством: Шаповалов, А.П., та інші
Опубліковано: (2011)

Характеризация Гильбертова пространства L₂ (Ω, U, μ) в терминах аддитивности меры разброса
за авторством: Байдак, Г.И., та інші
Опубліковано: (1984)

Схемотехника СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора для элементного анализа материалов
за авторством: Sidorenko, V. P., та інші
Опубліковано: (2012)

Схемотехника СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора для элементного анализа материалов
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2012)

Гибридные алгоритмы решения линейных систем для конечно-элементного моделирования процессов фильтрации
за авторством: Баранов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2015)