Buchumschlag

Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™

Описаны методы оптической эмиссионной спектрометрии тлеющего ВЧ-разряда. Приведены характеристики плазмы тлеющего разряда, позволяющие выполнять эрозию поверхности с высокой скоростью. Описані методи оптичної емісійної спектрометрії тліючого ВЧ-розряду. Наведені характеристики плазми тліючого розря...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Наука та інновації
Datum:	2012
Hauptverfasser:	Чапон, П., Костенко, О.К.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2012
Schlagworte:	Світ інновацій
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116087
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ / П. Чапон, О.К. Костенко // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 34-38. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Characterisation of Element Distribution in Films and Coatings with RF GDOES and TOFMS™ Methods
von: P. Chapon, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Исследование элементного состава и диффузии компонент тонких пленок железоиттриевого граната
von: Кириченко, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Характеризация плоских слоений
von: Болотов, Д.В.
Veröffentlicht: (2014)

Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N
von: Турбин, П.В.
Veröffentlicht: (2014)

Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6
von: Маликов, Л.В.
Veröffentlicht: (2015)

Характеризация остаточных σ-алгебр
von: Шор, А.А., et al.
Veröffentlicht: (1992)

Супермартингальная характеризация множества стохастических интегралов
von: Крылов, Н.В.
Veröffentlicht: (1989)

О глубине оперирования исходными данными при обоснованном проектировании
von: Мороз-Подворчан, И.Г.
Veröffentlicht: (2010)

Углеродные нанотрубки: синтез, характеризация и свойства
von: Бричка, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа
von: Левенец, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Линейный ускоритель дейтронов для элементного анализа
von: Вдовин, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Структурные особенности формируемых покрытий и плёнок тугоплавких соединений
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Теоретико-категорная характеризация развертки временных сетей Петри
von: Дубцов, Р.С.
Veröffentlicht: (2004)

Характеризация групп со слойно конечной периодической частью
von: Сенашов, В.И.
Veröffentlicht: (2001)

Характеризация распределений с плотностями типа атомарных функций
von: Кабанов, К.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Характеризация кольцевых Q-гомеоморфизмов на римановых многообразиях
von: Афанасьева, Е.С.
Veröffentlicht: (2010)

Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
von: Грицына, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Пространственная характеризация краевого барьера в широких сверхпроводящих пленках
von: Сиваков, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Характеризация языков, представимых в графах c отмеченными вершинами
von: Пряничникова, Е.А.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование алмазоподобных углеродных плёнок методами комбинационного рассеяния света и наноиндентирования
von: Кириченко, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Неколлинеарная спиновая конфигурация, индуцированная полем в поверхностном слое гадолиния многослойных пленок Gd/Fe
von: Гнатченко, С.Л., et al.
Veröffentlicht: (1997)

Теоретико-категорная характеризация трассовой эквивалентности для временных автоматных моделей
von: Грибовская, Н.С.
Veröffentlicht: (2004)

Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами
von: Торяник, И.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Численная характеризация порового пространства наноструктур на базе метода Вороного–Делоне
von: Картузов, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Анализ элементного состава Echinacea purpurea Moench из разных экотопов
von: Глухов, А.З., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Аппаратура для мониторинга элементного состава полиметаллических руд РЛП-21
von: Yefimenko, S. A.
Veröffentlicht: (2009)

Аппаратура для мониторинга элементного состава полиметаллических руд РЛП-21
von: Ефименко, С.А.
Veröffentlicht: (2009)

О фильтрации магнитных объектов по глубине посредством аналитического продолжения в поле эквивалентных источников
von: Черная, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Особенности структуры квазикристаллических покрытий системы Al-Cu-Fe, полученных методами газотермического напыления
von: Борисов, Ю.С., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Прибор для элементного анализа состава материалов с помощью спектра масс
von: Косуля, Л.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Формирование элементного состава гетероструктур A³B⁵ при эпитаксиииз ионизированных потоков
von: Вербицкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Оценка качества восстановления распределения выгорания по объему ТВС методами пассивной компьютерной томографии
von: Давыдов, В.О., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование распределения серил-тРНК синтетазы в тканях высших эукариот иммунохимическими методами
von: Аверина, Т.И., et al.
Veröffentlicht: (1992)

Оптические и магниторезистивные свойства поликристаллических LSMO пленок на кристаллических подложках Al₂O₃ и Gd₃Ga₅O₁₂
von: Тихий, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Распределение химического состава по глубине в пленках Cr-O-N, полученных методом ионно-стимулированного осаждения
von: Стервоедов, А.Н.
Veröffentlicht: (2009)

Туннельные переходы на основе тонких плёнок MgB₂ с разными функциями распределения прозрачностей
von: Шаповалов, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Характеризация Гильбертова пространства L₂ (Ω, U, μ) в терминах аддитивности меры разброса
von: Байдак, Г.И., et al.
Veröffentlicht: (1984)

Схемотехника СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора для элементного анализа материалов
von: Sidorenko, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Схемотехника СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора для элементного анализа материалов
von: Сидоренко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Гибридные алгоритмы решения линейных систем для конечно-элементного моделирования процессов фильтрации
von: Баранов, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2015)