Зображення обкладинки

Формування фотонних наноструктур за допомогою інтерференційної літографії та осадження у вакуумі під ковзним кутом

Досліджено процес формування фотонних структур на поверхні мікропрофільованих кремнієвих підкладок. Формування рельєфної структури на кремнієвій пластині у вигляді матриці виступів субмікронних розмірів здійснювали за допомогою інтерференційної літографії з використанням вакуумних халькогенідних фот...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
Дата:	2011
Автори:	Індутний, І.З., Минько, В.І., Шепелявий, П.Є., Сопінський, М.В., Ткач, В.М., Данько, В.А.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2011
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116696
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Формування фотонних наноструктур за допомогою інтерференційної літографії та осадження у вакуумі під ковзним кутом / І.З. Індутний, В.І. Минько, П.Є. Шепелявий, М.В. Сопінський, В.М. Ткач, В.А. Данько // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2011. — Вип. 46. — С. 49-56. — Бібліогр.: 17 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Формування субмікронних періодичних плазмонних структур великої площі методом інтерференційної літографії з використанням вакуумних фоторезистів
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Фотолюмінесценція поруватих nc-Si—SiOx наноструктур, оброблених парами HF
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Ефективне осадження наноструктур на поверхні волоконної наноголки
за авторством: Волковинська, Л.С., та інші
Опубліковано: (2008)

Особливості фотонних кристалів (огляд)
за авторством: Лисюк, В.О., та інші
Опубліковано: (2016)

Фотостимульовані реверсивні перетворення у плівках Ge-Se як основа резистивного процесу
за авторством: Бабійчук, І.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Інтерференційна фотолітографія на основі ефекту фототравлення в тонких шарах халькогенідних стекол
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

ОПТИЧНО-КЕРОВАНИЙ КОМУТАТОР НА ОСНОВІ ФОТОННИХ КРИСТАЛІВ
за авторством: Кожем'яко, В. П., та інші
Опубліковано: (2013)

Реверсивне фотопотемніння в композитних наноструктурах As₂S₃/SiOx
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд)
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2015)

ВИКОРИСТАННЯ ЛАЗЕРНОЇ ІНТЕРФЕРЕНЦІЙНОЇ МІКРОСКОПІЇ (ЛІМ) У ГІДРОБІОЛОГІЇ
за авторством: Юсипович, А. I., та інші
Опубліковано: (2023)

Під кутом нової інтегральної моделі дослідження
за авторством: Гнатюк, М.
Опубліковано: (2013)

Плівкоутворюючі матеріали та багатошарові покриття інтерференційної оптики технологічних ІЧ-лазерів
за авторством: Зінченко, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)

Дволикість права. Погляд під кутом теорії пізнання права
за авторством: Меркль, А.Ю.
Опубліковано: (2009)

Розробка технології виготовлення сенсорних чипів з підвищеною чутливістю та покращеними фізико-механічними характеристиками для оптичних сенсорів на основі поверхневого плазмонного резонансу
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2017)

НАНОТЕХНОЛОГІЯ ОДНОСТАДІЙНОГО ЛОКАЛІЗОВАНОГО ІОННО-ПЛАЗМОВОГО ДИСПЕРГУВАННЯ В ВАКУУМІ
за авторством: Ткач, В. М., та інші
Опубліковано: (2018)

Про наближення многочленами конформного відображення області з ненульовим кутом
за авторством: Жеребко, Т.М.
Опубліковано: (2011)

Модель надійності для аналізу причин непрацездатності насосного вузла із полегшеним ковзним резервуванням
за авторством: Стефанович, Т.О., та інші
Опубліковано: (2016)

Дослідження оптимальних параметрів тришарових оптичних структур при падінні світла під кутом
за авторством: Міца, О.В., та інші
Опубліковано: (2014)

РЕАКЦІЇ ДИСПРОПОРЦІОНУВАННЯ ФЕРРОЦЕНУ У ПЛАЗМОВО-РІДИННІЙ СИСТЕМІ З ОБЕРТОВИМ КОВЗНИМ РОЗРЯДОМ
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2023)

Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості
за авторством: Силенко, П.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок
за авторством: Порада, О.К., та інші
Опубліковано: (2019)

РОЗРАХУНОК КУТІВ ЗСУВУ ПРИ ПРЯМОКУТНОМУ ВІЛЬНОМУ РІЗАННІ З ВІД'ЄМНИМ ПЕРЕДНІМ КУТОМ
за авторством: Мановицький, О.С., та інші
Опубліковано: (2020)

МОДЕЛЬ НАДІЙНОСТІ ДЛЯ АНАЛІЗУ ПРИЧИН НЕПРАЦЕЗДАТНОСТІ НАСОСНОГО ВУЗЛА ІЗ ПОЛЕГШЕНИМ КОВЗНИМ РЕЗЕРВУВАННЯМ
за авторством: Стефанович, Тетяна Олександрівна, та інші
Опубліковано: (2016)

Розробка і властивості халькогенідних матеріалів для інтерференційної оптики, що функціонує в екстремальних умовах
за авторством: Зінченко, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2012)

Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів
за авторством: Аксьонов, І.І., та інші
Опубліковано: (2000)

Оцінка найкращого наближення „кутом" у метриці Lp періодичних функцій двох змінних
за авторством: Конопович, Т.О.
Опубліковано: (2004)

Гальванічне осадження золота та паладію на магнії методом заміщення
за авторством: Добровецька, О.Я., та інші
Опубліковано: (2015)

Газофазне осадження кавітаційностійкого покриття на основі карбіду бору
за авторством: Zhuravlov, A. Yu., та інші
Опубліковано: (2018)

Розробка системи наведення і стабілізації з нейрорегулятором на основі моделі авторегресії з ковзним середнім
за авторством: Кузнецов, Б.І., та інші
Опубліковано: (2011)

ДОСЛІДЖЕННЯ ПРОЦЕСУ ЕЛЕКТРОХІМІЧНОГО ОСАДЖЕННЯ ХРОМУ В ПРИСУТНОСТІ КОМПОЗИЦІЙНОГО АЛМАЗОВМІЩУЮЧОГО СКЛАДУ
за авторством: Долматов, В. Ю., та інші
Опубліковано: (2020)

Получение ксероформ наноструктур
за авторством: Долинский, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Особливості формування зносотривких покривів з карбіду титану методом електрофоретичного осадження
за авторством: Баглюк, Г.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Змочування у вакуумі кераміки на основі SiO₂ кремнійвміщуючими сплавами
за авторством: Полуянська, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Часороздільні методи для фемтофотоніки наноструктур
за авторством: Блонський, І.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Парофазні методи одержання наноструктур
за авторством: Шпак, А.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Нанохимические особенности наноструктур, нанофаз и наночастиц
за авторством: Харламов, А.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Синтез наноструктур методами физико-неорганической химии
за авторством: Огенко, В.М., та інші
Опубліковано: (2005)

Синтез складних оксидних сполук методом лазерного випаровування у вакуумі
за авторством: Заславський, О.М.
Опубліковано: (2006)

Аперіодичний процес в нелінійному колі з електролізером осадження металу постійним струмом
за авторством: Бондар, О.І.
Опубліковано: (2003)

Плівки CdS на поруватих підкладках Si, одержані методом хімічного поверхневого осадження
за авторством: Dyadenchuk, A. F., та інші
Опубліковано: (2018)