Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями
Исследован процесс химико-механического полирования (ХМП) поверхности полупроводниковых кристаллов Ві₂Te₃ и твердых растворов n-(Bi₂Te₃)₀,₉ (Sb₂Te₃)₀,₀₅(Sb₂Se₃)₀,₀₅ и p-(Bi₂Te₃)₀,₂₅(Sb₂Te₃)₀,₇₂(Sb₂Se₃)₀,₀₃ бромвыделяющими травителями. Изучены зависимости скоростей ХМП от разбавления базового полирую...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | Павлович, И.И., Томашик, В.Н., Томашик, З.Ф., Стратийчук, И.Б., Копыл, А.И. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2011
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116699 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Химико-механическое полирование кристаллов твердых растворов на основе теллуридов висмута и сурьмы бромвыделяющими композициями / И.И. Павлович, В.Н. Томашик, З.Ф. Томашик, И.Б. Стратийчук, А.И. Копыл // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2011. — Вип. 46. — С. 68-73. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Химическое травление поверхности кристаллов ZnSe растворами H₂O₂–HBr–уксусная кислота
за авторством: Станецкая, А.С., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Станецкая, А.С., та інші
Опубліковано: (2014)
Формирование полированной поверхности халькогенидов Bi и Sb в травильных композициях K₂Cr₂O₇–HBr
за авторством: Павлович, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Павлович, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)
Химическое травление монокристаллов PbTe и Pb1–xSnxTe растворами H₂O₂–HBr с использованием разной исходной концентрации HBr
за авторством: Маланич, Г.П., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Маланич, Г.П., та інші
Опубліковано: (2015)
Кинетика релаксации неравновесных квазичастичных возбуждений в микроконтактах сурьмы
за авторством: Балкашин, О.П., та інші
Опубліковано: (1995)
за авторством: Балкашин, О.П., та інші
Опубліковано: (1995)
Ингибирование биокоррозии стали композициями на основе растительного сырья
за авторством: Бондарь, Е.С., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Бондарь, Е.С., та інші
Опубліковано: (2012)
Термоэлектрические свойства, эффект Шубникова–де Гааза и подвижности носителей заряда в теллуридах и селенидах висмута–сурьмы и нанокомпозитах на их основе
за авторством: Кульбачинский, В.А., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Кульбачинский, В.А., та інші
Опубліковано: (2017)
Химическая связь сурьмы. Технологические аспекты
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Химическая связь сурьмы. Технологические аспекты
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Полирование прецизионных поверхностей сапфировых элементов оптоэлектроники
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2015)
Структурно-механическое моделирование универсальной сверхпластичности
за авторством: Васин, Р.А., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Васин, Р.А., та інші
Опубліковано: (2000)
Особенности активированной вакуумной химико-термической обработки материалов
за авторством: Змий, В.И., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Змий, В.И., та інші
Опубліковано: (2011)
Адгезионно-механическое соединение оксидных материалов с металлами
за авторством: Габ, И.И., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Габ, И.И., та інші
Опубліковано: (2015)
Алмазное полирование кристаллических материалов для оптоэлектроники
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2017)
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2017)
Физико-механическое обоснование параметров разгрузочных скважин
за авторством: Стариков, Г.П., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Стариков, Г.П., та інші
Опубліковано: (2005)
Исследование характеристик ослабления нейтронного и гамма-излучения композициями на основе гидрида титана
за авторством: Ястребинский, Р.Н., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Ястребинский, Р.Н., та інші
Опубліковано: (2015)
Оценка остаточного ресурса химико- технологического оборудования Одесского припортового завода
за авторством: Кирилов, К.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Кирилов, К.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2015)
Гальваномагнитные свойства тонких пленок висмута, легированного теллуром
за авторством: Орлова, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Орлова, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
Низкотемпературная теплоемкость монокристаллов оксигалогенидов висмута
за авторством: Бунда, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Бунда, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Спин-орбитальное взаимодействие в пленках висмута малой толщины
за авторством: Комник, Ю.Ф., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Комник, Ю.Ф., та інші
Опубліковано: (2005)
Прототропная таутомерия 9-метилгуанина: квантово-механическое исследование
за авторством: Глушенков, А.Н., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Глушенков, А.Н., та інші
Опубліковано: (2014)
Механическое воздействие газового потока на поверхность стенок канала проплавления при газолазерной резке
за авторством: Шуба, И.В.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Шуба, И.В.
Опубліковано: (2009)
Влияние введения модификатора вязкости в растворы H₂O₂–HBr–этиленгликоль на химическое травление монокристаллов PbTe и твёрдых растворов Pb₁₋ₓSnₓTe
за авторством: Маланич, Г.П., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Маланич, Г.П., та інші
Опубліковано: (2017)
Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния
за авторством: Гайшун, В.Е., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Гайшун, В.Е., та інші
Опубліковано: (2008)
Переохлаждение при кристаллизации пленок висмута на германиевой подложке
за авторством: Колендовский, М.М., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Колендовский, М.М., та інші
Опубліковано: (2007)
Плавление поликристаллических плёнок свинца и висмута на аморфных углеродных положках
за авторством: Сухов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Сухов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2012)
"Высокотемпературные" осцилляции магнитосопротивления висмута: возможный вариант объяснения
за авторством: Комник, Ю.Ф.
Опубліковано: (2003)
за авторством: Комник, Ю.Ф.
Опубліковано: (2003)
"Высокотемпературные" осцилляции проводимости висмута в ультраквантовом пределе
за авторством: Красовицкий, Вит.Б., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Красовицкий, Вит.Б., та інші
Опубліковано: (1999)
Анализ влияния повторной деформации на механическое поведение образцов титана, продеформированных методом винтовой экструзии
за авторством: Подрезов, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Подрезов, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2009)
Механическое поведение интерметаллида Ti₃Sn с разным содержанием олова
за авторством: Буланова, М.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Буланова, М.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Особенности изготовления Cd1-xZnxTe-детектора ионизирующего излучения
за авторством: Томашик, З.Ф., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Томашик, З.Ф., та інші
Опубліковано: (2013)
Вплив стабілізаторів на закономірності формування нанокристалів CdTe в колоїдних розчинах
за авторством: Капуш, О.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Капуш, О.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Филатов, Ю.Д.
Опубліковано: (2008)
Алмазное полирование плоских поверхностей деталей оптических систем и электронной техники из кварца
за авторством: Филатов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Филатов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2013)
Твердотельное превращение оксида висмута под действием электронного облучения
за авторством: Приходько, К.Е.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Приходько, К.Е.
Опубліковано: (2002)
Влияние атмосферного кислорода на состав и кинетические свойства тонких плёнок висмута
за авторством: Добротворская, М.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Добротворская, М.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Физико-геометрические характеристики гиперпространства. IV. Солитон Хасимото. Механическое движение целлы
за авторством: Терехов, С.В.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Терехов, С.В.
Опубліковано: (2016)
Исследование влияния температуры на механическое поведение квазикристаллов системы Al—Cu—Fe методом индентирования
за авторством: Мильман, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Мильман, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Переохлаждение при кристаллизации висмута в многослойных плёнках Cu-Bi-Cu и C-Bi-C
за авторством: Дукаров, С.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Дукаров, С.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Аномальный размерный эффект в проводимости пленок висмута малой толщины
за авторством: Анопченко, А.С., та інші
Опубліковано: (1995)
за авторством: Анопченко, А.С., та інші
Опубліковано: (1995)
Схожі ресурси
-
Химическое травление поверхности кристаллов ZnSe растворами H₂O₂–HBr–уксусная кислота
за авторством: Станецкая, А.С., та інші
Опубліковано: (2014) -
Формирование полированной поверхности халькогенидов Bi и Sb в травильных композициях K₂Cr₂O₇–HBr
за авторством: Павлович, И.И., та інші
Опубліковано: (2011) -
Химическое травление монокристаллов PbTe и Pb1–xSnxTe растворами H₂O₂–HBr с использованием разной исходной концентрации HBr
за авторством: Маланич, Г.П., та інші
Опубліковано: (2015) -
Кинетика релаксации неравновесных квазичастичных возбуждений в микроконтактах сурьмы
за авторством: Балкашин, О.П., та інші
Опубліковано: (1995) -
Ингибирование биокоррозии стали композициями на основе растительного сырья
за авторством: Бондарь, Е.С., та інші
Опубліковано: (2012)