Хіміко-механічне полірування монокристалів CdTe бромвиділяючими розчинами H₂O₂—HBr—етиленгліколь
Досліджено процес хіміко-механічного полірування напівпровідникових монокристалів CdTe бромвиділяючими травильними композиціями на основі водних розчинів H₂O₂–HBr–етиленгліколь. З’ясовано вплив природи в’язкого органічного компоненту на швидкість травлення і якість полірування поверхні кристалів. Оп...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
|---|---|
| Datum: | 2011 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2011
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116708 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Хіміко-механічне полірування монокристалів CdTe бромвиділяючими розчинами H₂O₂—HBr—етиленгліколь / І.Б. Стратійчук // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2011. — Вип. 46. — С. 134-139. — Бібліогр.: 10 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860204662406250496 |
|---|---|
| author | Стратійчук, І.Б. |
| author_facet | Стратійчук, І.Б. |
| citation_txt | Хіміко-механічне полірування монокристалів CdTe бромвиділяючими розчинами H₂O₂—HBr—етиленгліколь / І.Б. Стратійчук // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2011. — Вип. 46. — С. 134-139. — Бібліогр.: 10 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
| description | Досліджено процес хіміко-механічного полірування напівпровідникових монокристалів CdTe бромвиділяючими травильними композиціями на основі водних розчинів H₂O₂–HBr–етиленгліколь. З’ясовано вплив природи в’язкого органічного компоненту на швидкість травлення і якість полірування поверхні кристалів. Оптимізовано склади полірувальних травильних композицій та розроблено режими хіміко-механічного полірування кадмій телуриду. За допомогою профілографічного та металографічного аналізів досліджено стан полірованої поверхні та визначено її шорсткість.
Chemical-mechanical polishing of the CdTe semiconductor single crystals by the bromine-releasing etchant compositions based on the H₂O₂–HBr–ethylene glycol aqueous solutions has been investigated. The influence of the viscous organic component on the etching rate and surface crystals polishing quality has been determined. The compositions of polishing etchants have been optimized and the conditions of the CdTe chemical mechanic polishing have been developed. The polishing surfaces and their roughness have been investigated using surface profilogram and metallography.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:11:46Z |
| format | Article |
| fulltext |
134 ISSN 0233-7577. Oïòîýëåêòðîíèêà è ïîëóïðîâîäíèêîâàÿ òåõíèêà, 2011, âûï. 46
ÏÁÇ 510-683-3 9 435-37.13
�� ����
�� ��
���&�G�7�H
��
�+�� �2�� �w�+�%�U�w
ÁçéäĆÝßÞæç èĐçîÞé íĆåĆãç±åÞíÙæĆïæçÜç èçäĆĐëÛÙææõ æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãç±
Ûáí åçæçãĐáéêÙäĆÛ BcSd ÚĐçåÛáÝĆäõĒïáåá êĐÙÛáäôæáåá ãçåèçàáîĆõåá æÙ çéæçÛĆ
ÛçÝæáí ĐçàïáæĆÛ G1N1¥GAq¥ÞêáäÞæÜäĆãçäô- Ä õéçÛÙæç ÛèäáÛ èĐáĐçÝá Û õàãçÜç çĐÜÙ±
æĆïæçÜç ãçåèçæÞæêë æÙ ðÛáÝãĆéêô êĐÙÛäÞææõ Ć õãĆéêô èçäĆĐëÛÙææõ èçÛÞĐíæĆ ãĐáéêÙäĆÛ- Ëè±
êáåĆàçÛÙæç éãäÙÝá èçäĆĐëÛÙäôæáí êĐÙÛáäôæáí ãçåèçàáîĆâ êÙ ĐçàĐçÚäÞæç ĐÞßáåá
íĆåĆãç±åÞíÙæĆïæçÜç èçäĆĐëÛÙææõ ãÙÝåĆâ êÞäëĐáÝë- ÄÙ ÝçèçåçÜçĒ èĐçìĆäçÜĐÙìĆïæçÜç
êÙ åÞêÙäçÜĐÙìĆïæçÜç ÙæÙäĆàĆÛ ÝçéäĆÝßÞæç éêÙæ èçäĆĐçÛÙæç¼ èçÛÞĐíæĆ êÙ ÛáàæÙïÞæç ¼¼
ðçĐéêãĆéêô-
Êëþ÷îâ³ ñëîâà9 íĆåĆïæÞ ĐçàïáæÞææõ, êĐÙÛäÞææõ, ÛàÙºåçÝĆõ, èçäĆĐëÛÙææõ, ÚĐçåÛá±
ÝĆäõĒïĆ Đçàïáæá, êĐÙÛáäôæĆ ãçåèçàáîĆ¼, èçÛÞĐíæõ, ãÙÝåĆâ êÞäëĐáÝ-
Ï ĐÙàĆ ÛáãçĐáéêÙææõ æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãçÛáí åÙêÞĐĆÙäĆÛ Ýäõ äÙ±
ÚçĐÙêçĐæáí ÝçéäĆÝßÞæô Ć ÛáÜçêçÛäÞææõ ĐçÚçïáí ÞäÞåÞæêĆÛ èĐáäÙÝĆÛ èäÙé±
êáæá èĆéäõ åÞíÙæĆïæç¼ çÚĐçÚãá èĆÝäõÜÙĒêô æáàîĆ ÝçÝÙêãçÛáí çÚĐçÚçã, ïƱ
äôæÞ åĆéîÞ éÞĐÞÝ õãáí àÙâåÙº íĆåĆïæÞ êĐÙÛäÞææõ- ÄÙäÞßæç ÛĆÝ êÞíæçäçÜĆï±
æáí àÙÝÙï (ÛáÝÙäÞææõ èçĐëðÞæçÜç ðÙĐë, ãçæêĐçäôçÛÙæÞ èçêçæðÞææõ èäÙ±
éêáæ Ýç àÙÝÙæç¼ êçÛñáæá, àæõêêõ êçæãáí ðÙĐĆÛ, çÝÞĐßÙææõ æÞçÚíĆÝæçÜç
ĐÞäôºìë, çïáéêãÙ ÛĆÝ çãéáÝæç¼ èäĆÛãá â Ćæðáí àÙÚĐëÝæÞæô, éÞäÞãêáÛæÞ
êĐÙÛäÞææõ êçñç) àÙéêçéçÛëĒêô ĐĆàæĆ åÞêçÝá íĆåĆïæçÜç êĐÙÛäÞææõ êÙ èĆÝÚá±
ĐÙĒêô éãäÙÝá êĐÙÛáäôæáí ãçåèçàáîĆâ à æÞçÚíĆÝæáåá ÛäÙéêáÛçéêõåá-
ËéãĆäôãá Ýç õãçéêĆ èçÛÞĐíæĆ æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãĆÛ ÛáéëÛÙĒêôéõ ÛáéçãĆ ÛáåçÜá,
ÝëßÞ ÛÙßäáÛç, ñçÚ èĆÝ ïÙé ¼¼ êÞíæçäçÜĆïæç¼ çÚĐçÚãá àÙéêçéçÛëÛÙäçéõ õãç±
åçÜÙ åÞæðÞ ĐĆàæáí ĐÞÙãêáÛĆÛ, õãĆ åçßëêô Ûæçéáêá ÝçÝÙêãçÛĆ àÙÚĐëÝæÞææõ-
ÎÙãáå ïáæçå, ëéĆ èĐçîÞéá, ñç éêçéëĒêôéõ ÞêÙèë íĆåĆïæçÜç êĐÙÛäÞææõ à
åÞêçĒ ìçĐåëÛÙææõ èçäĆĐçÛÙæç¼ èçÛÞĐíæĆ æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãĆÛ, ÚÙßÙæç àÝĆâé±
æĒÛÙêá êĐÙÛáäôæáåá ĐçàïáæÙåá, õãĆ åĆéêõêô çÝæĆ â êĆ éÙåĆ ãçåèçæÞæêá,
ÙäÞ Û ĐĆàæçåë éèĆÛÛĆÝæçðÞææĆ- ¿ÙĐĆĒÛÙææõ ¼í éãäÙÝë ÝÙº àåçÜë éêÛçĐĒÛÙêá
êĐÙÛáäôæĆ ãçåèçàáîĆ¼ à ðáĐçãáå éèÞãêĐçå ðÛáÝãçéêÞâ êĐÙÛäÞææõ, ñç
àæÙïæç àåÞæðëº ïÙé çÚĐçÚãá àÙ ĐÙíëæçã àåÞæðÞææõ ãĆäôãçéêĆ êÞíæçäçÜĆï±
æáí çèÞĐÙîĆâ Ć èĆéäõçèÞĐÙîĆâæáí ÛĆÝåáÛçã-
¿ÙßäáÛáå èÙĐÙåÞêĐçå èĐá ÛáÜçêçÛäÞææĆ ĐĆàæçåÙæĆêæáí èĐáéêĐç¼Û æÙ
çéæçÛĆ æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãçÛáí éèçäëã, àçãĐÞåÙ BcSd, º õãĆéêô èĆÝÜçêçÛäÞæç¼
èçÛÞĐíæĆ åçæçãĐáéêÙäĆïæáí àĐÙàãĆÛ Z0\- ½ÛêçĐÙåá èĐÙîĆ Z1\ ÛáõÛäÞæç, ñç
ë ĐÙàĆ ÝçÝÙÛÙææõ äÙãêÙêæç¼ ãáéäçêá Ýç éêÙæÝÙĐêæçÜç ÚĐçååÞêÙæçäôæçÜç
êĐÙÛáäôæçÜç Đçàïáæë ÛäÙéêáÛçéêĆ ÝÞêÞãêçĐĆÛ ĐÞæêÜÞæĆÛéôãçÜç êÙ ±ÛáèĐç±
åĆæĒÛÙææõ èçäĆèðëĒêôéõ-
Áäõ íĆåĆãç±åÞíÙæĆïæçÜç èçäĆĐëÛÙææõ (ÑÉÌ) åçæçãĐáéêÙäĆïæáí èäÙé±
êáæ BcSd, Bc/,1Gf/,7Sd, Gf/,8Lm/,0Sd ë èĐÙîĆ Z2\ ÛáãçĐáéêçÛëÛÙäá Đçàïáæá
H1 Û ÊH- ÌĐçîÞé ÑÉÌ àÝĆâéæĒÛÙäá Đçàïáæçå à åÙéçÛçĒ ïÙéêãçĒ H1 1¥4 %
Û 04¥43%±æĆâ ÊH àÙ ÛĆÝæçéæç¼ ðÛáÝãçéêĆ èÞĐÞåĆñÞææõ èäÙéêáæ èç êãÙ±
æçåë èçäĆĐëÛÙäôæáãë 0/¥3/ å.íÛ êÙ êáéãë 07/¥14/ ÌÙ- ÓÛáÝãĆéêô ÛáÝÙäÞæ±
æõ æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãçÛçÜç åÙêÞĐĆÙäë èĐá îôçåë éêÙæçÛáäÙ 1/¥2/ åãå.íÛ, Ù
ë ĐÙàĆ ÛáãçĐáéêÙææõ ĐçàïáæĆÛ à åÙéçÛçĒ ïÙéêãçĒ H1 åÞæðÞ æĆß 1 % ÛçæÙ
èçåĆêæç àåÞæðëÛÙäÙéõ (Ýç 1¥2 åãå.íÛ) Ć çÝæçïÙéæç èçÜĆĐðëÛÙäÙéô
õãĆéêô èçäĆĐçÛÙæç¼ èçÛÞĐíæĆ (¼¼ ðçĐéêãĆéêô àĐçéêÙäÙ Ýç /,01 åãå)- ¿ĆÝçåç,
ą-¾- ÍêĐÙêĆâïëã, 1/00
135
ñç èçäĆĐëÛÙäôæÙ ÝĆõ êĐÙÛáäôæçÜç Đçàïáæë, õã èĐÙÛáäç, èçéáäĒºêôéõ ë ĐÙàĆ
àÚĆäôðÞææõ Û õàãçéêĆ éÞĐÞÝçÛáñÙ- Ä åÞêçĒ çêĐáåÙææõ õãĆéæç¼ èçäĆĐçÛÙ±
æç¼ èçÛÞĐíæĆ êÛÞĐÝáí ĐçàïáæĆÛ Bc�ZGf0±�ZSd ë èĐÙîĆ Z3\ Ýç éãäÙÝë èçäĆĐëÛÙ±
äôæáí ĐçàïáæĆÛ àÙèĐçèçæçÛÙæç ÝçÝÙÛÙêá ÞêáäÞæÜäĆãçäô (ÂÀ)- ÌçãÙàÙæç,
ñç ÛçÝæáâ Đçàïáæ H1¥ÇH Ćà ÝçÝÙÛÙææõå ÂÀ åçßæÙ àÙéêçéçÛëÛÙêá Ýäõ
ÑÉÌ Bc�ZGf0±�ZSd à çÝÞĐßÙææõå õãĆéæç¼ èçÛÞĐíæĆ-
Áäõ ÑÉÌ èçÛÞĐíæĆ êÛÞĐÝáí ĐçàïáæĆÛ Bc0±�ZYm�ZSd ÛáãçĐáéêçÛëĒêôéõ
êÙãçß ÚĐçåÛåĆéæĆ êĐÙÛáäôæĆ ãçåèçàáîĆ¼- ÎÙã, ë èĐÙîĆ Z4\ èçèÞĐÞÝæôç
ðäĆìçÛÙæĆ èäÙéêáæá Ym�ZBc0±�ZSd íĆåĆãç±åÞíÙæĆïæç èçäĆĐëÛÙäá êĐÙÛáäôæáå
Đçàïáæçå Aq1¥ÊAq¥ÂÀ, Ù Û Z5\ íĆåĆïæÞ êĐÙÛäÞææõ îôçÜç åÙêÞĐĆÙäë Ûáãç±
æëÛÙäá Đçàïáæçå à çÚ ºåæçĒ ïÙéêãçĒ Aq1 Û ÍÊ2ËÊ /,4 %-
ÄÙäÞßæĆéêô àåÞæðÞææõ êçÛñáæá æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãçÛáí èäÙéêáæ Bc�ZGf0�s�ZSd
ÛĆÝ ãçæîÞæêĐÙîĆ¼ ÚĐçååÞêÙæçäôæçÜç êĐÙÛáäôæçÜç Đçàïáæë êÙ ðÛáÝãçéêĆ
âçÜç èçÝÙïĆ ÝçéäĆÝßÞæç Û èĐÙîĆ Z6\- Áäõ àĐÙàãĆÛ êçÛñáæçĒ 0/ åå àÙéêçéëÛÙ±
äá ãçåÚĆæçÛÙæë çÚĐçÚãë (åÞíÙæĆïæë êÙ íĆåĆïæë), íĆåĆãç±åÞíÙæĆïæÞ àåÞæ±
ðÞææõ êçÛñáæá êÙ ðäĆìëÛÙææõ, õãÞ æÙàáÛÙºêôéõ êĐÙÛäÞææõå æÙ êÞãéêáäô±
æçåë åÙêÞĐĆÙäĆ- ÍèçéêÞĐÞßÞææõ íçÝë àÙäÞßæçéêĆ ÜäáÚáæá æÞĐĆÛæçéêÞâ ÛĆÝ
ãçæîÞæêĐÙîĆ¼ êĐÙÛáäôæçÜç Đçàïáæë ÝÙº åçßäáÛĆéêô àæÙâêá çèêáåÙäôæĆ
ëåçÛá çÚĐçÚãá- ÎÙãáåá º èçïÙêãçÛÙ çÚĐçÚãÙ àĐÙàãĆÛ Bc�ZGf0�s�ZSd ë ĐçàïáæĆ
à ÛáéçãçĒ ãçæîÞæêĐÙîĆºĒ êĐÙÛáäôæçÜç Đçàïáæë (æÙèĐáãäÙÝ, 1,4%±æáâ
Đçàïáæ Aq1 Û BG2NG), êÙ ¼í ãĆæîÞÛÙ çÚĐçÚãÙ àÙ æáàôãáí ãçæîÞæêĐÙîĆâ çãá±
éæáãÙ (/,4%±æáâ ÚĐçååÞêÙæçäôæáâ Đçàïáæ)- Ï îôçåë ĐÙàĆ ÙÛêçĐÙåá æÞ
à õéçÛÙæç ÛèäáÛ ðÛáÝãçéêĆ èçÝÙïĆ êĐÙÛáäôæçÜç Đçàïáæë æÙ èÙĐÙåÞêĐá
ðçĐéêãçéêĆ èçÛÞĐíæĆ èäÙéêáæá-
ÊÙâãĐÙñĆ ĐÞàëäôêÙêá çêĐáåÙæç èĐá èçÝÙïĆ êĐÙÛáäôæçÜç Đçàïáæë Ćà
ðÛáÝãĆéêĒ 2,4 åä.íÛ, èĐáïçåë æÙéêëèæÞ àÚĆäôðÞææõ ðÛáÝãçéêĆ èçÝÙïĆ
éëêêºÛç æÞ ÛèäáÛÙº æÙ õãĆéêô èçÛÞĐíæĆ (ðÛáÝãĆéêô ĐçàïáæÞææõ æÞ èÞĐÞ±
ÛáñëÛÙäÙ 1/ åãå.íÛ àÙ êçÛñáæá àĐÙàãÙ èĐáÚäáàæç 0// åãå)- Ï èĐÙîĆ Z7\
ÙæÙäĆà èçÛÞĐíæĆ Bc/,1Gf/,7Sd ÛáãçæÙæç åÞêçÝçå ČÐÍ èĆéäõ ¼¼ çÚĐçÚãá àÙ
ÝçèçåçÜçĒ ÑÉÌ Û ĐçàïáæÙí à çÚ ºåæçĒ ïÙéêãçĒ Aq1 Û BG2NG /,//0¥
0/ %- ÉĆæĆåÙäôæÙ ãçæîÞæêĐÙîĆõ Đçàïáæë (çÚ ºåæÙ ïÙéêãÙ Aq1 Û BG2NG
/,//0 %) àÙÚÞàèÞïëÛÙäÙ ðÛáÝãĆéêô êĐÙÛäÞææõ /,0 æå.é- ¿éêÙæçÛäÞæç, ñç
ÑÉÌ Bc/,1Gf/,7Sd êÙãáåá êĐÙÛáäôæáãÙåá ÝÙº àåçÜë çêĐáåÙêá ÝàÞĐãÙäôæë
èçÛÞĐíæĒ, èĐáïçåë íĆåĆïæáâ éãäÙÝ èçÛÞĐíæĆ æÙÚäáßÙºêôéõ Ýç íĆåĆïæçÜç
éãäÙÝë çÚ ºåë èäÙéêáæ-
ÄÙëÛÙßáåç, ñç ðÛáÝãĆéêô àæõêêõ åÙêÞĐĆÙäë åÞêçÝçå ÑÉÌ àĐçéêÙº Û
ÝÞãĆäôãÙ ĐÙàĆÛ èçĐĆÛæõæç à íĆåĆãç±ÝáæÙåĆïæáå èçäĆĐëÛÙææõå (ÑÁÌ), Ù
õãĆéêô çêĐáåÙæç¼ èçÛÞĐíæĆ, ÜÞçåÞêĐáïæĆ èÙĐÙåÞêĐá èĆÝãäÙÝçã êÙ ÜäáÚáæÙ
éêĐëãêëĐæáí èçĐëðÞæô àæÙïæçĒ åĆĐçĒ àÙäÞßÙêô ÛĆÝ ëåçÛ èçäĆĐëÛÙææõ- ÌĆÝ
ïÙé èĐçÛÞÝÞææõ ÞãéèÞĐáåÞæêë èçêĐĆÚæç êÙãçß ÛĐÙíçÛëÛÙêá, ñç ÑÉÌ àÝĆâ±
éæĒºêôéõ àÙ ÝçèçåçÜçĒ õã íĆåĆïæçÜç ĐçàïáæÞææõ, ñç ÛĆÝÚëÛÙºêôéõ ë ĐÙàĆ
ÛàÙºåçÝĆ¼ èçÛÞĐíæĆ ãĐáéêÙäÙ à êĐÙÛáäôæçĒ éáéêÞåçĒ, êÙã Ć åÞíÙæĆïæç¼ ÛàÙº±
åçÝĆ¼ îĆº¼ èçÛÞĐíæĆ à èçäĆĐëÛÙäôæáãçå, èĆéäõ õãç¼ êÙãçß ÛĆÝÚëÛÙºêôéõ Ûá±
ÝÙäÞææõ ðÙĐĆÛ æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãÙ- ÊÙâÚĆäôðë èĐÙãêáïæë îĆææĆéêô åÙĒêô
Đçàïáæá, õãĆ åçßëêô ÛáÝÙäõêá êçæãĆ ðÙĐá /,0 åãå à èçÛÞĐíæĆ èäÙéêáæ,
æÞ èçĐëðëĒïá èĐá îôçåë éêĐëãêëĐë- ÎÙãĆ ãçåèçàáîĆ¼ æÙâïÙéêĆðÞ ÛáãçĐá±
éêçÛëĒêôéõ èĆÝ ïÙé ÛáÝÙäÞææõ êçæãáí èäĆÛçã à èçÛÞĐíæĆ æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãç±
Ûáí ãĐáéêÙäĆÛ- ÌĐçÙæÙäĆàëÛÙÛðá äĆêÞĐÙêëĐæĆ ÝßÞĐÞäÙ ñçÝç åÞíÙæĆïæç¼ êÙ
íĆåĆãç±åÞíÙæĆïæç¼ çÚĐçÚãá èçÛÞĐíæĆ éèçäëã êáèë ½HH¿HU Z0¥8\, åá æÞ Ûá±
õÛáäá èĐÙîĆ Ćà àÙéêçéëÛÙææõ ÚĐçåÛáÝĆäõĒïáí êĐÙÛáäôæáí ĐçàïáæĆÛ æÙ çé±
æçÛĆ G1N1 Ýäõ íĆåĆãç±åÞíÙæĆïæç¼ çÚĐçÚãá åçæçãĐáéêÙäĆÛ ãÙÝåĆâ êÞäëĐáÝë-
ËéãĆäôãá êÙãáâ êáè íĆåĆïæç¼ çÚĐçÚãá º ÝëßÞ ÛÙßäáÛáå ÞêÙèçå ë
èĆÝÜçêçÛîĆ èçÛÞĐíæĆ ĐçÚçïáí ÞäÞåÞæêĆÛ æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãçÛáí èĐáäÙÝĆÛ Ć
ÝÙº àåçÜë àÙÚÞàèÞïáêá çÝæçĐĆÝæĆéêô êÙ ÜäÙÝãĆéêô èçÛÞĐíæĆ, Ù êÙãçß ëæáã±
æëêá ¼¼ àÙÚĐëÝæÞæô, æÙåá ÝçéäĆÝßÞæç èĐçîÞé ÑÉÌ BcSd êĐÙÛáäôæáåá
éëåĆðÙåá æÙ çéæçÛĆ ĐçàïáæĆÛ éáéêÞåá G1N1¥GAq¥ÂÀ- ÌĆÝ ïÙé èĐçÛÞ±
136
ÝÞææõ èçèÞĐÞÝæĆí ÝçéäĆÝßÞæô à õéçÛÙæç, ñç Đçàïáæá à çÚ ºåæáåá ïÙéê±
ãÙåá G1N1 Û GAq ÛĆÝ 1 Ýç 0/ % ìçĐåëĒêô èçäĆĐçÛÙæë èçÛÞĐíæĒ, Ù àÚĆäô±
ðÞææõ ¼¼ ãĆäôãçéêĆ Û éëåĆðĆ Ýç 4/ % èĐáàÛçÝáêô Ýç ëêÛçĐÞææõ æÞèçäĆĐë±
ÛÙäôæáí ĐçàïáæĆÛ- ¿ÛÞÝÞææõ ÂÀ Û êĐÙÛáäôæĆ ãçåèçàáîĆ¼ G1N1¥GAq éèĐá±
ïáæĒº àåÞæðÞææõ ðÛáÝãçéêĆ êĐÙÛäÞææõ (Ýç /,4 åãå.íÛ) êÙ àÚĆäôðÞææõ
ãĆäôãçéêĆ èçäĆĐëÛÙäôæáí ĐçàïáæĆÛ Z0/\-
ÉÞêÙ æÙðç¼ èĐÙîĆ ¥ ÝçéäĆÝßÞææõ ÛèäáÛë ÝçÝÙêãçÛçÜç ÛÛÞÝÞææõ
Û õàãáí ãçåèçæÞæêĆÛ ÞêáäÞæÜäĆãçäĒ êÙ ÜäĆîÞĐáæë Û êĐÙÛáäôæĆ Đçàïáæá
G1N1¥GAq¥ÂÀ æÙ èĐçîÞé íĆåĆãç±åÞíÙæĆïæçÜç èçäĆĐëÛÙææõ èçÛÞĐíæĆ åç±
æçãĐáéêÙäĆÛ BcSd-
Áäõ ÝçéäĆÝßÞæô åçæçãĐáéêÙäĆïæĆ àäáÛãá BcSd ĐçàĐĆàÙäá æÙ èäÙéêáæá
æÞçÚíĆÝæç¼ êçÛñáæá àÙ ÝçèçåçÜçĒ éêĐëææç¼ ĐĆàãá à ÙäåÙàæáå æÙèáäÞæ±
æõå, õãÙ àåçïëÛÙäÙéô ÝáéêáäôçÛÙæçĒ ÛçÝçĒ- ÀÞçåÞêĐáïæĆ ĐçàåĆĐá àĐÙàãĆÛ
éêÙæçÛáäá èĐáÚäáàæç 4 6 0,4 åå, Ù ¼í èçÛÞĐíæõ ÚëäÙ æÞĐĆÛæçĒ Ć åÙäÙ àæÙï±
æáâ ÝÞìçĐåçÛÙæáâ ðÙĐ, çéãĆäôãá ĐĆàãÙ åçæçãĐáéêÙäĆÛ ÙÚĐÙàáÛæáå Ćæ±
éêĐëåÞæêçå éëèĐçÛçÝßëºêôéõ ĆæêÞæéáÛæáå åÞíÙæĆïæáå ÛèäáÛçå æÙ èçÛÞĐí±
æĒ, ñç èĐáàÛçÝáêô Ýç ëêÛçĐÞææõ æÙ æĆâ èçĐëðÞæçÜç ðÙĐë- Áäõ èçÝÙäôðç¼
çÚĐçÚãá ÛáãçĐáéêçÛëÛÙäá åÞíÙæĆïæÞ ðäĆìëÛÙææõ ÛçÝæáåá éëéèÞæàĆõåá
ÙÚĐÙàáÛæáí èçĐçðãĆÛ É±0/, ɱ4 ê٠ɱ0 ë èçĐõÝãë àåÞæðÞææõ àÞĐæáéêç±
éêĆ- ÓäĆìëÛÙææõ èĐçÛçÝáäá æÙ éãäõæçåë ðäĆìëÛÙäôæáãë, èçïÞĐÜçÛç çÚ±
ĐçÚäõĒïá èäÙéêáæá à çÚçí ÚçãĆÛ èĐçêõÜçå 2 íÛ, èĆéäõ ïçÜç ¼í ĐÞêÞäôæç
èĐçåáÛÙäá êÞèäçĒ ÝáéêáäôçÛÙæçĒ ÛçÝçĒ Ćà ÝçÝÙÛÙææõå æÞÛÞäáãç¼ ãĆäôãçé±
êĆ èçÛÞĐíæÞÛç±ÙãêáÛæáí ĐÞïçÛáæ, èçêĆå ÝÞãĆäôãÙ ĐÙàĆÛ ÝáéêáäôçÛÙæçĒ Ûç±
ÝçĒ, ĆàçèĐçèĆäçÛáå éèáĐêçå êÙ ÛáéëðëÛÙäá æÙ èçÛĆêĐĆ- ËêĐáåÙæáâ ëæÙéäĆÝçã
åÞíÙæĆïæçÜç èçäĆĐëÛÙææõ èçĐëðÞæáâ ðÙĐ (0//¥04/ åãå) ÛáÝÙäõäá àÙ Ýç±
èçåçÜçĒ ĐçàĐçÚäÞæçÜç æÙåá ëæĆÛÞĐéÙäôæçÜç ÚĐçåÛáÝĆäõĒïçÜç èçäĆĐëÛÙäô±
æçÜç êĐÙÛáäôæçÜç Đçàïáæë àĆ ðÛáÝãĆéêĒ êĐÙÛäÞææõ 24 åãå.íÛ- ÓÛáÝãĆéêô
êĐÙÛäÞææõ ÛáàæÙïÙäá àÙ àåÞæðÞææõå êçÛñáæá èäÙéêáæ Ýç Ć èĆéäõ êĐÙÛäÞæ±
æõ àÙ ÝçèçåçÜçĒ ÜçÝáææáãçÛçÜç ĆæÝáãÙêçĐÙ 0ÉÅÀÌ à êçïæĆéêĒ µ /,4 åãå-
ÌĐçîÞé ÑÉÌ èĐçÛçÝáäá æÙ éãäõæçåë èçäĆĐëÛÙäôæáãë, çÚêõÜæëêçåë
éáæêÞêáïæçĒ êãÙæáæçĒ, éêĆâãçĒ Ýç èçäĆĐëÛÙäôæáí éëéèÞæàĆâ, åÞíÙæĆï±
æçÜç àæçðëÛÙææõ Ć àéëÛë èĐá èçäĆĐëÛÙææĆ, ñç íÙĐÙãêÞĐáàëºêôéõ çÝæçĐĆݱ
æáåá ÛäÙéêáÛçéêõåá êÙ çÝæÙãçÛçĒ êçÛñáæçĒ èç ÛéĆâ ĐçÚçïĆâ àçæĆ èçäƱ
ĐëÛÙäôæáãÙ- ÌĐáÜçêçÛÙæáâ êĐÙÛáäôæáâ Đçàïáæ èçÝÙÛÙäá æÙ èçäĆĐëÛÙ±
äôæáã àĆ ðÛáÝãĆéêĒ 2/ ãĐÙèÞäô àÙ 0 íÛ- Áäõ èĐçÛÞÝÞææõ ÞãéèÞĐáåÞæêë à
ÝçéäĆÝßÞæçÜç ĆæêÞĐÛÙäë éáéêÞåá G1N1¥GAq¥ÂÀ ÛáÚĐÙæç ÝÛÙ ÚÙàçÛáí
èçäĆĐëÛÙäôæáí Đçàïáæá9 ¾0 àĆ ðÛáÝãĆéêĒ ÑÁÌ èçÛÞĐíæĆ åçæçãĐáéêÙäĆÛ
ãÙÝåĆâ êÞäëĐáÝë �X������/,4 åãå.íÛ êÙ ¾1 ¥ �X������2,72 åãå.íÛ- ËéãĆäôãá ë ĐÙàĆ
ÛáãçĐáéêÙææõ êÙãáí ĐçàïáæĆÛ Ýäõ ÑÉÌ æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãçÛáí åÙêÞĐĆÙäĆÛ
ðÛáÝãĆéêô êĐÙÛäÞææõ àĐçéêÙº Û ÝÞãĆäôãÙ ĐÙàĆÛ, Ýäõ àåÞæðÞææõ ðÛáÝãçéêĆ
ĐçàïáæÞææõ BcSd Ć èçäĆèðÞææõ íÙĐÙãêÞĐáéêáã èçÛÞĐíæĆ Ýç éãäÙÝë îáí
ÚÙàçÛáí ĐçàïáæĆÛ ÝçÝÙêãçÛç ÛÛçÝáäá èÞÛæë ãĆäôãĆéêô Û õàãçÜç ãçåèçæÞæ±
êë9 Û Đçàïáæ ¾0 ¥ ÞêáäÞæÜäĆãçäô, Ù Û ¾1 ¥ ÜäĆîÞĐáæ- Øã æÙéäĆÝçã, çêĐáåÙæç
æáàãë êĐÙÛáäôæáí ĐçàïáæĆÛ, éãäÙÝ õãáí æÙÛÞÝÞæç Û êÙÚäáîĆ- ½æÙäĆàëĒïá
Çàëåæí³ñòü øâèäêîñò³ ÕÌÏ ïîâåðõí³ ìîíîêðèñòàë³÷íèõ ïëàñòèí CdTe â³ä âì³ñòó â�ÿçêèõ
îðãàí³÷íèõ êîìïîíåíò³â â ñêëàä³ áàçîâîãî ïîë³ðóâàëüíîãî òðàâèëüíîãî ðîç÷èíó
ËÚ ºåæĆ éèĆÛÛĆÝæçðÞææõ
¾0 9 ÂÀ
�X, åãå.íÛ ËÚ ºåæĆ éèĆÛÛĆÝæçðÞææõ
¾1 9 ÜäĆîÞĐáæ
�X, åãå.íÛ
0 ¾0 9 / ÂÀ 05 0 ¾1 9 0 ÜäĆîÞĐáæ 10
0 ¾0 9 0 ÂÀ 7,4 0 ¾1 9 1 ÜäĆîÞĐáæ 8
0 ¾0 9 2 ÂÀ 3,2 0 ¾1 9 2 ÜäĆîÞĐáæ 5,4
0 ¾0 9 5 ÂÀ 1,7 0 ¾1 9 3 ÜäĆîÞĐáæ 2,/
0 ¾0 9 8 ÂÀ 0,56 0 ¾1 9 4 ÜäĆîÞĐáæ /,64
0 ¾0 9 01 ÂÀ /,5
137
Čáé- 0- ÄÙäÞßæĆéêô ðÛáÝãçéêĆ íĆåĆãç±åÞ±
íÙæĆïæçÜç èçäĆĐëÛÙææõ BcSd ÛĆÝ éèĆÛÛĆݱ
æçðÞææõ ÚÙàçÛçÜç êĐÙÛáäôæçÜç Đçàïáæë
(¾0) Ć ÞêáäÞæÜäĆãçäĒ
îĆ ÝÙæĆ, àÛÞĐêÙºåç ëÛÙÜë æÙ êçâ ìÙãê,
ñç ë ĐÙàĆ àÚĆäôðÞææõ ãĆäôãçéêĆ ÛÛÞ±
ÝÞæçÜç ÂÀ Û ÚÙàçÛáâ êĐÙÛáäôæáâ
Đçàïáæ ¾0 èĐçèçĐîĆâæç àåÞæðëºêô±
éõ ðÛáÝãĆéêô ÑÉÌ ãÙÝåĆâ êÞäëĐáÝë
(Đáé- 0)- ËêßÞ, àÙ æÙÛÞÝÞæçĒ æÙ Đá±
éëæãë àÙäÞßæĆéêĒ åçßæÙ çÚáĐÙêá
æÞçÚíĆÝæë ðÛáÝãĆéêô ÑÉÌ Û åÞßÙí
/,5¥05 åãå.íÛ, àåĆæĒĒïá éèĆÛÛĆݱ
æçðÞææõ ÚÙàçÛçÜç êĐÙÛáäôæçÜç Đçàïáæë ¾0 êÙ ÂÀ- ÌĆéäõ ÑÉÌ àĐÙàãá
èĐçåáÛÙäá éèçïÙêãë /,/0 É Đçàïáæçå M`1R1N2, èçêĆå êĐá ĐÙàá Ýáéêáäôç±
ÛÙæçĒ ÛçÝçĒ, ĆàçèĐçèĆäçÛáå éèáĐêçå Ć ÛáéëðëÛÙäá Û èçêçîĆ éëíçÜç èçÛĆêĐõ-
Áç èÞĐÞÛÙÜ ÛáãçĐáéêÙææõ ĐçàĐçÚäÞæáí êĐÙÛáäôæáí ĐçàïáæĆÛ Ýäõ çÚ±
ĐçÚãá èçÛÞĐíæĆ BcSd åçßæÙ êÙãçß ÛĆÝæÞéêá êÞ, ñç Ýäõ æáí ĐÊ�� ��5, êçÚ±
êç Ûçæá åÙâßÞ æÞâêĐÙäôæĆ, Ć îÞ ÝÙº àåçÜë ëæáãæëêá íĆåĆïæç¼ ÛàÙºåçÝĆ¼
êĐÙÛáäôæçÜç Đçàïáæë à èçÛÞĐíæÞĒ èçäĆĐëÛÙäôæáãÙ- ÎÙãáâ ïáææáã åÙº
ÝëßÞ ÛÙßäáÛÞ àæÙïÞææõ, çéãĆäôãá Û ÚÙÜÙêôçí ÛáèÙÝãÙí êĐÙÛáäôæáâ Đçà±
ïáæ ëæÙéäĆÝçã éÛ纼 ãáéäç¼ ÙÚç äëßæç¼ ĐÞÙãîĆ¼ åçßÞ éèĐáïáæĒÛÙêá ãçĐç±
àĆĒ åÙêÞĐĆÙäë èçäĆĐëÛÙäôæáãÙ, èĐá îôçåë Ûæçéõïá ÝçÝÙêãçÛĆ àÙÚĐëÝæÞææõ
æÙ èçÛÞĐíæĒ æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãçÛáí èäÙéêáæ-
ÍëåĆðĆ Ýäõ ÑÉÌ ãÙÝåĆâ êÞäëĐáÝë æÙ çéæçÛĆ ÚÙàçÛçÜç êĐÙÛáäôæçÜç
Đçàïáæë ¾1 à ĐĆàæçĒ ãĆäôãĆéêĒ ÜäĆîÞĐáæë (ÝáÛ- êÙÚäáîĒ) íÙĐÙãêÞĐáàë±
Ēêôéõ ÝÞñç Ûáñáåá ðÛáÝãçéêõåá (/,64¥10 åãå.íÛ) ÛáÝÙäÞææõ åÙêÞĐĆÙ±
äë, Ûçæá ÚĆäôð Û õàãĆ Ć Ýäõ æáí ĐÊ 3-
Čáé- 1- ÉĆãĐçéêĐëãêëĐÙ Ć ðçĐéêãĆéêô èçÛÞĐíæĆ BcSd èĆéäõ êĐÙÛäÞææõ Û èçäĆĐëÛÙäôæçåë
ĐçàïáæĆ êĐÙÛáäôæç¼ éëåĆðĆ G1N1¥GAq¥ÂÀ
138
ÉĆãĐçĐÞäôºì èçÛÞĐíæĆ BcSd ÝçéäĆÝßëÛÙäá àÙ ÝçèçåçÜçĒ èĐçìĆäç±
ÜĐÙìÙ Mnms`bs 2C Rtqe`bd Oqnehkdq MdvUhdv 4/11R, õãáâ ÝÙº àåçÜë êçïæç
ÛáåĆĐĒÛÙêá ÛÞĐêáãÙäôæĆ ÛĆÝíáäÞææõ ÛĆÝ éÞĐÞÝæôç¼ äĆæĆ¼ ¥ åĆãĐçæÞĐĆÛæçé±
êĆ, ñç àæÙíçÝõêôéõ ë åÞßÙí ĐçàãáÝë èç ÛáéçêĆ ÛĆÝ /,0 æå Ýç 4/// åãå
(êçïæĆéêô ÛáåĆĐĒÛÙææõ éêÙæçÛáêô 0 %)- ÊÙ Đáé- 1 àÙ 53/±ãĐÙêæçÜç àÚĆäô±
ðÞææõ æÙÛÞÝÞæç åĆãĐçéêĐëãêëĐë èçÛÞĐíæĆ æçåĆæÙäôæç æÞäÞÜçÛÙæçÜç BcSd
èĆéäõ ÑÉÌ çÝæáå Ćà èçäĆĐëÛÙäôæáí êĐÙÛáäôæáí ĐçàïáæĆÛ G1N1¥GAq¥
ÂÀ- Øã ÚÙïáåç, Ýäõ BcSd êÙãÙ çÚĐçÚãÙ èĐáàÛçÝáêô Ýç ìçĐåëÛÙææõ åĆãĐç±
ĐÞäôºìë, Ýäõ õãçÜç ðçĐéêãĆéêô èçÛÞĐíæĆ àæÙíçÝáêôéõ Û åÞßÙí, íÙĐÙãêÞб
æáí Ýäõ èçäĆĐçÛÙæç¼ èçÛÞĐíæĆ, Ù ÛĆÝèçÛĆÝæĆ ¼¼ èÙĐÙåÞêĐá éêÙæçÛäõêô9 �4�› <
< 0/,2 æå, �4�\ < 13,/ æå, �T�O�U < 01,5 æå-
ËêßÞ, ÙæÙäĆà çêĐáåÙæáí ÞãéèÞĐáåÞæêÙäôæáí ĐÞàëäôêÙêĆÛ éÛĆÝïáêô èĐç
êÞ, ñç àÙèĐçèçæçÛÙæĆ ÚĐçåÛáÝĆäõĒïĆ êĐÙÛáäôæĆ ãçåèçàáîĆ¼ æÙ çéæçÛĆ Đçà±
ïáæĆÛ éáéêÞåá G1N1¥GAq¥ÂÀ ÛÙĐêĆ çéçÚäáÛç¼ ëÛÙÜá ë ÛáèÙÝãë ÑÉÌ èç±
ÛÞĐíæĆ ãÙÝåĆâ êÞäëĐáÝë, çéãĆäôãá Ûçæá íÙĐÙãêÞĐáàëĒêôéõ åÙäáåá ðÛáݱ
ãçéêõåá êĐÙÛäÞææõ (/,5¥10 åãå.íÛ) êÙ ÛáéçãçĒ èçäĆĐëÛÙäôæçĒ àÝÙêæĆé±
êĒ (�4�\ æÞ èÞĐÞÛáñëº 14 æå) Ć åçßëêô ÛáãçĐáéêçÛëÛÙêáéõ Ýäõ ãçæêĐçäôç±
ÛÙæçÜç àæõêêõ êçæãáí ðÙĐĆÛ æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãĆÛ êÙ ¼í ìĆæĆðæç¼ çÚĐçÚãá, Ù
êÙãçß Úëêá çéæçÛçĒ Ýäõ ĐçàĐçÚãá êĐÙÛáäôæáí ãçåèçàáîĆâ, ñç ÛáãçĐáé±
êçÛëĒêôéõ Û êÞíæçäçÜĆ¼ ÑÉÌ æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãçÛáí ãĐáéêÙäĆÛ Ć èäĆÛçã-
ČçàĐçÚäÞæç êĐÙÛáäôæĆ éëåĆðĆ êÙ åÞêçÝáãá ãçæêĐçäôçÛÙæçÜç
àæõêêõ êçæãáí ðÙĐĆÛ êÙ èäĆÛçã à èçÛÞĐíæĆ åçæçãĐáéêÙäĆÛ BcSd åÞêçÝçå
íĆåĆãç±åÞíÙæĆïæçÜç èçäĆĐëÛÙææõ ÚĐçåÛáÝĆäõĒïáåá êĐÙÛáäôæáåá ãçåèç±
àáîĆõåá æÙ çéæçÛĆ ÛçÝæáí ĐçàïáæĆÛ G1N1¥GAq¥ÂÀ- ¿éêÙæçÛäÞæç, ñç ðäõ±
íçå ÛÛÞÝÞææõ Ýç éãäÙÝë êĐÙÛáäôæáí ĐçàïáæĆÛ ÝçÝÙêãçÛáí ãĆäôãçéêÞâ Þêá±
äÞæÜäĆãçäĒ åçßæÙ àåĆæĒÛÙêá ðÛáÝãĆéêô ÑÉÌ åçæçãĐáéêÙäĆÛ BcSd Û åÞßÙí
ÛĆÝ /,5 Ýç 05 åãå.íÛ, Ù ë ĐÙàĆ ÝçÝÙÛÙææõ ÜäĆîÞĐáæë ¥ ÛĆÝ /,7 Ýç 10 åãå.íÛ
àĆ àÚÞĐÞßÞææõå èçäĆĐëÛÙäôæáí ÛäÙéêáÛçéêÞâ ĐçàïáæĆÛ-
�,���%�����6�W�U�D�W�L�\�F�K�X�N
�&�+�(�0�,�&�$�/���0�(�&�+�$�1�,�&�$�/���3�2�/�,�6�+�,�1�*
�2�)���&�G�7�H���6�,�1�*�/�(���&�5�<�6�7�$�/�6���%�<
�%�5�2�0�,�1�(���5�(�/�(�$�6�,�1�*���6�2�/�8�7�,�2�1�6
�+�� �2�� �w�+�%�U�w�(�7�+�<�/�(�1�(���*�/�<�&�2�/
Bgdlhb`k±ldbg`mhb`k onkhrghmf ne sgd BcSd rdlhbnmctbsnq rhmfkd bqxrs`kr
ax sgd aqnlhmd±qdkd`rhmf dsbg`ms bnlonrhshnmr a`rdc nm sgd G1N1¥GAq¥dsgxkdmd fkxbnk
`ptdntr rnktshnmr g`r addm hmudrshf`sdc- Sgd hmektdmbd ne sgd uhrbntr nqf`mhb bnlonmdms nm
sgd dsbghmf q`sd `mc rtqe`bd bqxrs`kr onkhrghmf pt`khsx g`r addm cdsdqlhmdc- Sgd bnlonrhshnmr
ne onkhrghmf dsbg`msr g`ud addm noshlhydc `mc sgd bnmchshnmr ne sgd BcSd bgdlhb`k ldbg`mhb
onkhrghmf g`ud addm cdudknodc- Sgd onkhrghmf rtqe`bdr `mc sgdhq qntfgmdrr g`ud addm hm±
udrshf`sdc trhmf rtqe`bd oqnehknfq`l `mc lds`kknfq`ogx-
Keywords: bgdlhb`k chrrnktshnm, dsbghmf, hmsdq`bshnm, onkhrghmf, aqnlhmd dldqfhmf
rnktshnmr, dsbg`ms bnlonrhshnmr, rtqe`bd, b`clhtl sdkktqhcd-
0- �.�W�Q���;������ �5�N�C�V�G�T���&���#������ �.�G�T�[���/������ �1�U�I�Q�Q�F���,�T���4���/�� Bgdlhb`k oqdo`q`shnm ne BcSd (0//) `mc
(00/) rtqe`bd trhmf `snlhb gxcqnfdm .. @ook- Rtqe- Rbh- ¥ 0885- ¥ 104/105- ¥ O- 38¥
45-
1- �;�Q�Q�P�� �*������ �8�C�P�5�E�[�Q�E�� �,���/������ �)�Q�Q�T�U�M�[�� �/���5�� Hmudrshf`shnm ne sgd deedbsr ne onkhrghmf `mc
dbsghmf nm sgd pt`khsx ne Bc0¤�ZYm�ZSd trhmf ro`sh`k l`oohmf sdbgmhptdr .. I- Dkdbsqnm-
L`sdq- ¥ 0886- ¥ 26, M 5- ¥ O- 418¥422-
2- �•���•���������������������•�•�•�Î - ÍèçéçÚ çÚĐÙÚçêãá êÞääëĐéçÝÞĐßÙñáí åÙêÞĐáÙäçÛ . Ì-Ð- ¿Þæ±
ÜÞäô, ¿-Ê- ÎçåÙðáã, ½-¿- Ðçåáæ á ÝĐ-
3- �2�C�V���� ���������������� �7�5�#- Bnbgq`m Ldsgnc enq onkhrghmf cdsdbsnq l`sdqh`k . @-I- Etrbn,
A-B- Bnbg`q`m-
139
4- �€� �¦�©�ž�©�Ò�©�¯�©�•���•���‡�� Ç ÛçèĐçéë ç èçÜäçñÞæáá áæìĐÙãĐÙéæçÜç áàäëïÞæáõ éÛçÚçÝæóåá
æçéáêÞäõåá àÙĐõÝÙ Û �R±Bc0±�ZYm�ZSd . ½-Å- ¾ÞäçÜçĐçíçÛ, È-Å- ¾ÞäçÜçĐçíçÛÙ,
½-À- ¾ÞäçÛ á ÝĐ- .. ÐÎÌ- ¥ 0888- ¥ 33, Ĉ 4- ¥ Í- 438¥441-
5- �4�G�K�P�Q�U�Q�� �,���,����Jhmdshb khlhs`shnmr nm hmbnqonq`shnm ne Ym hm Bc0±�ZYm�ZSd . I-I- Qdhmnrn,
D-H- Jn, O-I- Rhcdr .. I- Bqxrs- Fqnvsg- ¥ 0886- ¥ 174- ¥ O- 602¥607-
6- �0�G�W�O�C�P�P�� �'������ �&�K�V�V�O�C�T�� �)������ �-�Q�U�V�M�C�� �+������ �2�N�V�P�G�T�� �/����L`sdqh`krbgnmdmcdr udqe`gqdl ytq
ad`qadhstmf unm j`clhtl¥ptdbjrhkadq¥sdkktqhc .. Dwo- Sdbgmhj cdq Ogxrhj- ¥ 0873- ¥
32, M 1- ¥ O- 010¥015-
7- �%�J�C�P�I���9���*�������.�G�G���6�������.�C�W���9���/�� @m �:±q`x ognsndkdbsqnm rodbsqnrbnohb rstcx ne bgdlhb`k
dsbghmf `mc bgdlnldbg`mhb`k onkhrghmf ne GfBcSd .. I- @ook- Ogxr- ¥ 088/- ¥ 68,
M 8- ¥ O- 3705¥3708-
8- �•�©�§�›�²�£�¥�� �•���Œ������ �•�©�§�›�²�£�¥�� �†���’�� ÉÞíÙæáïÞéãÙõ á íáåáãç±åÞíÙæáïÞéãÙõ çÚĐÙÚçêãÙ
èçäëèĐçÛçÝæáãçÛóí éçÞÝáæÞæáâ êáèÙ ½HH¿HU .. ÊÞçĐÜÙæ- åÙêÞĐáÙäó- ¥ 0883- ¥ 30,
Ĉ 01- ¥ Í- 0387¥04/2-
0/- �•�©�§�›�²�£�¥�� �†���’������ �•�¬�Ò�›�¬�£�¤�±��¥�� �‡���€������ �•�©�§�›�²�£�¥�� �•���Œ���� �£�� �Ÿ�Ò����ÑáåáïÞéãçÞ êĐÙÛäÞæáÞ æÞ±
äÞÜáĐçÛÙææçÜç á äÞÜáĐçÛÙææçÜç BcSd Û ÚĐçåÛóÝÞäõĒñáí êĐÙÛáäôæóí ãçåèçàáîá±
õí éáéêÞåó G1N1¥GAq¥đêáäÞæÜäáãçäô .. ÎÙå ßÞ- ¥ 1//4- ¥ 41, Ĉ 6- ¥ Í- 664¥
670-
ąæéêáêëê ìĆàáãá æÙèĆÛèĐçÛĆÝæáãĆÛ ËêĐáåÙæç 14-/1-1/00
Ćå- ¿-®- ÈÙðãÙĐôçÛÙ
Ê½Ê ÏãĐÙ¼æá
ÌĐçéèÞãê ÊÙëãá, 30
/2/17 Çá¼Û
d±l`hk9 Rsq`shxbgtj?tjq-mds
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-116708 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0233-7577 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:11:46Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Стратійчук, І.Б. 2017-05-13T20:41:31Z 2017-05-13T20:41:31Z 2011 Хіміко-механічне полірування монокристалів CdTe бромвиділяючими розчинами H₂O₂—HBr—етиленгліколь / І.Б. Стратійчук // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2011. — Вип. 46. — С. 134-139. — Бібліогр.: 10 назв. — укр. 0233-7577 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116708 621.794.4 : 546.48/24 Досліджено процес хіміко-механічного полірування напівпровідникових монокристалів CdTe бромвиділяючими травильними композиціями на основі водних розчинів H₂O₂–HBr–етиленгліколь. З’ясовано вплив природи в’язкого органічного компоненту на швидкість травлення і якість полірування поверхні кристалів. Оптимізовано склади полірувальних травильних композицій та розроблено режими хіміко-механічного полірування кадмій телуриду. За допомогою профілографічного та металографічного аналізів досліджено стан полірованої поверхні та визначено її шорсткість. Chemical-mechanical polishing of the CdTe semiconductor single crystals by the bromine-releasing etchant compositions based on the H₂O₂–HBr–ethylene glycol aqueous solutions has been investigated. The influence of the viscous organic component on the etching rate and surface crystals polishing quality has been determined. The compositions of polishing etchants have been optimized and the conditions of the CdTe chemical mechanic polishing have been developed. The polishing surfaces and their roughness have been investigated using surface profilogram and metallography. uk Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Оптоэлектроника и полупроводниковая техника Хіміко-механічне полірування монокристалів CdTe бромвиділяючими розчинами H₂O₂—HBr—етиленгліколь Chemical-mechanical polishing of CdTe single crystals by bromine emerging solutions H₂O₂—HBr—ethylene glycol Article published earlier |
| spellingShingle | Хіміко-механічне полірування монокристалів CdTe бромвиділяючими розчинами H₂O₂—HBr—етиленгліколь Стратійчук, І.Б. |
| title | Хіміко-механічне полірування монокристалів CdTe бромвиділяючими розчинами H₂O₂—HBr—етиленгліколь |
| title_alt | Chemical-mechanical polishing of CdTe single crystals by bromine emerging solutions H₂O₂—HBr—ethylene glycol |
| title_full | Хіміко-механічне полірування монокристалів CdTe бромвиділяючими розчинами H₂O₂—HBr—етиленгліколь |
| title_fullStr | Хіміко-механічне полірування монокристалів CdTe бромвиділяючими розчинами H₂O₂—HBr—етиленгліколь |
| title_full_unstemmed | Хіміко-механічне полірування монокристалів CdTe бромвиділяючими розчинами H₂O₂—HBr—етиленгліколь |
| title_short | Хіміко-механічне полірування монокристалів CdTe бромвиділяючими розчинами H₂O₂—HBr—етиленгліколь |
| title_sort | хіміко-механічне полірування монокристалів cdte бромвиділяючими розчинами h₂o₂—hbr—етиленгліколь |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116708 |
| work_keys_str_mv | AT stratíičukíb hímíkomehaníčnepolíruvannâmonokristalívcdtebromvidílâûčimirozčinamih2o2hbretilenglíkolʹ AT stratíičukíb chemicalmechanicalpolishingofcdtesinglecrystalsbybromineemergingsolutionsh2o2hbrethyleneglycol |