Влияние буферного слоя пористого карбида кремния на формирование границы раздела с оксидным слоем (обзор)
Систематизированы литературные данные по свойствам por-SiC, рассмотрены особенности формирования структуры SiC/por-SiC/TiO₂, где пористый карбид используется в качестве буферного слоя между оксидной пленкой TiO₂ и подложкой карбида кремния. Рассмотрены также особенности морфологии, элементного соста...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| Автор: | Охрименко, О.Б. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2012
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116712 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние буферного слоя пористого карбида кремния на формирование границы раздела с оксидным слоем (обзор) / О.Б. Охрименко // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2012. — Вип. 47. — С. 24-39. — Бібліогр.: 59 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Получение и свойства пористого карбида кремния
за авторством: Светличная, Л.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Светличная, Л.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Газоанализаторы на основе пористого карбида кремния
за авторством: Moskovchenko, N. N., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Moskovchenko, N. N., та інші
Опубліковано: (2006)
Формирование высокоплотной структуры самосвязанного карбида кремния
за авторством: Майстренко, А.Л., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Майстренко, А.Л., та інші
Опубліковано: (2009)
Оценка автоэмиссионных свойств наноструктур на основе карбида кремния и графена
за авторством: Охрименко, О.Б., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Охрименко, О.Б., та інші
Опубліковано: (2012)
Сварка давлением дисперсно-упрочненных композиционных материалов, содержащих частицы карбида кремния (Обзор)
за авторством: Черепивская, Е.В., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Черепивская, Е.В., та інші
Опубліковано: (2001)
Магнитное упорядочение вблизи ступенчатой границы раздела ферро/антиферромагнетик
за авторством: Дудко, О.К., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Дудко, О.К., та інші
Опубліковано: (1999)
Формирование покрытий методом лазерной наплавки порошков титана и карбида кремния на поверхность малоуглеродистой стали
за авторством: Тарасова, Т.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Тарасова, Т.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Устойчивость к окислению и модифицирование винилсиланами пористого кремния
за авторством: Барабаш, Р.Н., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Барабаш, Р.Н., та інші
Опубліковано: (2006)
Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2013)
Химическое модифицирование поверхности пористого кремния группами полиоксиэтилированных спиртов
за авторством: Суворова, А.О., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Суворова, А.О., та інші
Опубліковано: (2011)
Получение ультрадисперсного кристаллического карбида кремния методом плазмодинамического синтеза
за авторством: Сивков, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Сивков, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Задачи рассеяния на возмущении границы слоя
за авторством: Барковский, В. В.
Опубліковано: (1999)
за авторством: Барковский, В. В.
Опубліковано: (1999)
Формирование пористого каркаса порошковых антифрикционных материалов
за авторством: Санин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Санин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)
Использование карбида кремния при внепечной обработке чугуна порошковыми проволоками
за авторством: Кисиленко, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Кисиленко, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2015)
О модели пластической зоны предразрушения в угловой точке границы раздела сред
за авторством: Каминский, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Каминский, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние скорости нагружения на прочность керамических материалов на основе самосвязанного карбида кремния
за авторством: Степанов, Г.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Степанов, Г.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Отражение волн от границы раздела жидкости и пористо-упругого насыщенного жидкостью полупространства
за авторством: Городецкая, Н.С., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Городецкая, Н.С., та інші
Опубліковано: (2008)
О напряженном состоянии вблизи маломасштабной трещины в угловой точке границы раздела сред
за авторством: Каминский, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Каминский, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Яцунский, И.Р.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Яцунский, И.Р.
Опубліковано: (2013)
Исследование влияния пропитки кремнием на структуру и свойства горячепрессованного карбида кремния
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Об упругом равновесии кусочно-однородной плоскости с трещиной в угловой точке границы раздела
за авторством: Каминский, А.А., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Каминский, А.А., та інші
Опубліковано: (2017)
Математическое моделирование динамики процесса обезвоживания слоя диспергированного коллоидного капиллярно-пористого материала
за авторством: Никитенко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Никитенко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2006)
Масс-спектрометрическое определение компонентов желчи методом DIOS с использованием модифицированного пористого кремния
за авторством: Севериновская, О.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Севериновская, О.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Насыщение капиллярных пор брикетов карбида кремния жидкофазными углеродосодержащими растворами перед реакционным спеканием
за авторством: Кулич, В.Г., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Кулич, В.Г., та інші
Опубліковано: (2016)
Прохождение квазичастичных возбуждений через границу раздела двух сред (Обзор)
за авторством: Косевич, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Косевич, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2016)
Об интенсивности напряжений в концах межфазных сдвиговых трещин в угловой точке границы раздела сред
за авторством: Назаренко, В.М., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Назаренко, В.М., та інші
Опубліковано: (2015)
Оптические параметры нанокомпозитных плёнок пористого оксида алюминия c квантовыми точками кремния или германия
за авторством: Ушенин, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Ушенин, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2013)
О страгивании межфазных трещин в угловой точке границы раздела сред при полном гладком контакте берегов
за авторством: Каминский, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Каминский, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
НЛТР-формирование солнечного спектра кремния. Содержание кремния в одномерных моделях атмосферы Солнца
за авторством: Сухоруков, А.В., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Сухоруков, А.В., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Получение и свойства горячепрессованных материалов на основе карбида кремния с добавками карбидов бора и титана
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
НЛТР-формирование солнечного спектра кремния. Содержание кремния в трехмерной гидродинамической модели атмосферы Солнца
за авторством: Щукина, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Щукина, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2013)
Нанесение алмазоподобных покрытий на поверхности колец из карбида кремния сухих газовых уплотнений для компрессоров высокого давления
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)
Исследование и разработка материалов на основе карбида кремния для фильерного питателя установки по производству базальтовых волокон
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Масс-спектрометрическое изучение адсорбции гистамина и аргинина на различных видах поверхности пористого кремния методом лазерной десорбционной ионизации
за авторством: Шмыголь, И.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Шмыголь, И.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме
за авторством: Седов, В.С., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Седов, В.С., та інші
Опубліковано: (2012)
Схожі ресурси
-
Получение и свойства пористого карбида кремния
за авторством: Светличная, Л.А., та інші
Опубліковано: (2005) -
Газоанализаторы на основе пористого карбида кремния
за авторством: Moskovchenko, N. N., та інші
Опубліковано: (2006) -
Формирование высокоплотной структуры самосвязанного карбида кремния
за авторством: Майстренко, А.Л., та інші
Опубліковано: (2009) -
Оценка автоэмиссионных свойств наноструктур на основе карбида кремния и графена
за авторством: Охрименко, О.Б., та інші
Опубліковано: (2012) -
Сварка давлением дисперсно-упрочненных композиционных материалов, содержащих частицы карбида кремния (Обзор)
за авторством: Черепивская, Е.В., та інші
Опубліковано: (2001)