Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением

• Published in: Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
• Date: 2012
• Main Authors: Ушенин, Ю.В., Христосенко, Р.В., Самойлов, А.В., Дорожинский, Г.В., Каганович, Э.Б., Манойлов, Э.Г., Снопок, Б.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2012
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116713
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением / Ю.В. Ушенин, Р.В. Христосенко, А.В. Самойлов, Г.В. Дорожинский, Э.Б. Каганович, Э.Г. Манойлов, Б.А. Снопок // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2012. — Вип. 47. — С. 40-45. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Рассмотрены пленки пористого оксида алюминия (por-Al₂O₃), сформированные на поверхности золота методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО) из обратного потока частиц эрозионного факела в атмосфере аргона. Методом спектроскопии полного внутреннего отражения с угловым разрешением установлено изменение оптических параметров таких структур при их экспозиции в парах воды, ацетона, этанола и гексана. Наблюдали корреляцию между смещением угла резонанса и показателем преломления аналитов. Анализ кинетических зависимостей при смене аналитов указывает на стабильность пленок и обратимость процессов сорбции. Большие значения относительного изменения эффективного коэффициента преломления, достигающие 10⁻², обусловлены большой внутренней поверхностью пленок por-Al₂O₃. Films of porous alumina (por-Al2O3) were formed on gold films by pulsed laser deposition (PLD) from the reverse flow of the erosion torch particles in an argon atmosphere. Measurements by method of total internal reflection spectroscopy with an angular resolution has shown changes in the optical parameters of such structures in their exposure to the vapors of water, acetone, ethanol and hexane. The correlation between the shift of the resonance angle and the refractive index of analytes were observed. Kinetic characteristics of the resonance angle position in case of analytes changing indicate the stability of the films and the reversibility of sorption processes. The large values of the relative change in the effective refractive index, reaching values to 10⁻², are caused by large internal surface of the por-Al₂O₃ film.