Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением
Рассмотрены пленки пористого оксида алюминия (por-Al₂O₃), сформированные на поверхности золота методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО) из обратного потока частиц эрозионного факела в атмосфере аргона. Методом спектроскопии полного внутреннего отражения с угловым разрешением установлено изменен...
Saved in:
| Published in: | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
|---|---|
| Date: | 2012 |
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2012
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116713 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением / Ю.В. Ушенин, Р.В. Христосенко, А.В. Самойлов, Г.В. Дорожинский, Э.Б. Каганович, Э.Г. Манойлов, Б.А. Снопок // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2012. — Вип. 47. — С. 40-45. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862660813672677376 |
|---|---|
| author | Ушенин, Ю.В. Христосенко, Р.В. Самойлов, А.В. Дорожинский, Г.В. Каганович, Э.Б. Манойлов, Э.Г. Снопок, Б.А. |
| author_facet | Ушенин, Ю.В. Христосенко, Р.В. Самойлов, А.В. Дорожинский, Г.В. Каганович, Э.Б. Манойлов, Э.Г. Снопок, Б.А. |
| citation_txt | Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением / Ю.В. Ушенин, Р.В. Христосенко, А.В. Самойлов, Г.В. Дорожинский, Э.Б. Каганович, Э.Г. Манойлов, Б.А. Снопок // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2012. — Вип. 47. — С. 40-45. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
| description | Рассмотрены пленки пористого оксида алюминия (por-Al₂O₃), сформированные на поверхности золота методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО) из обратного потока частиц эрозионного факела в атмосфере аргона. Методом спектроскопии полного внутреннего отражения с угловым разрешением установлено изменение оптических параметров таких структур при их экспозиции в парах воды, ацетона, этанола и гексана. Наблюдали корреляцию между смещением угла резонанса и показателем преломления аналитов. Анализ кинетических зависимостей при смене аналитов указывает на стабильность пленок и обратимость процессов сорбции. Большие значения относительного изменения эффективного коэффициента преломления, достигающие 10⁻², обусловлены большой внутренней поверхностью пленок por-Al₂O₃.
Films of porous alumina (por-Al2O3) were formed on gold films by pulsed laser deposition (PLD) from the reverse flow of the erosion torch particles in an argon atmosphere. Measurements by method of total internal reflection spectroscopy with an angular resolution has shown changes in the optical parameters of such structures in their exposure to the vapors of water, acetone, ethanol and hexane. The correlation between the shift of the resonance angle and the refractive index of analytes were observed. Kinetic characteristics of the resonance angle position in case of analytes changing indicate the stability of the films and the reversibility of sorption processes. The large values of the relative change in the effective refractive index, reaching values to 10⁻², are caused by large internal surface of the por-Al₂O₃ film.
|
| first_indexed | 2025-12-02T11:32:36Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-116713 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0233-7577 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-02T11:32:36Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Ушенин, Ю.В. Христосенко, Р.В. Самойлов, А.В. Дорожинский, Г.В. Каганович, Э.Б. Манойлов, Э.Г. Снопок, Б.А. 2017-05-14T12:14:50Z 2017-05-14T12:14:50Z 2012 Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением / Ю.В. Ушенин, Р.В. Христосенко, А.В. Самойлов, Г.В. Дорожинский, Э.Б. Каганович, Э.Г. Манойлов, Б.А. Снопок // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2012. — Вип. 47. — С. 40-45. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 0233-7577 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116713 535.394 Рассмотрены пленки пористого оксида алюминия (por-Al₂O₃), сформированные на поверхности золота методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО) из обратного потока частиц эрозионного факела в атмосфере аргона. Методом спектроскопии полного внутреннего отражения с угловым разрешением установлено изменение оптических параметров таких структур при их экспозиции в парах воды, ацетона, этанола и гексана. Наблюдали корреляцию между смещением угла резонанса и показателем преломления аналитов. Анализ кинетических зависимостей при смене аналитов указывает на стабильность пленок и обратимость процессов сорбции. Большие значения относительного изменения эффективного коэффициента преломления, достигающие 10⁻², обусловлены большой внутренней поверхностью пленок por-Al₂O₃. Films of porous alumina (por-Al2O3) were formed on gold films by pulsed laser deposition (PLD) from the reverse flow of the erosion torch particles in an argon atmosphere. Measurements by method of total internal reflection spectroscopy with an angular resolution has shown changes in the optical parameters of such structures in their exposure to the vapors of water, acetone, ethanol and hexane. The correlation between the shift of the resonance angle and the refractive index of analytes were observed. Kinetic characteristics of the resonance angle position in case of analytes changing indicate the stability of the films and the reversibility of sorption processes. The large values of the relative change in the effective refractive index, reaching values to 10⁻², are caused by large internal surface of the por-Al₂O₃ film. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Оптоэлектроника и полупроводниковая техника Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением Optoelektronic sensor structure based on porous alumina films formed by pulsed laser deposition Article published earlier |
| spellingShingle | Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением Ушенин, Ю.В. Христосенко, Р.В. Самойлов, А.В. Дорожинский, Г.В. Каганович, Э.Б. Манойлов, Э.Г. Снопок, Б.А. |
| title | Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением |
| title_alt | Optoelektronic sensor structure based on porous alumina films formed by pulsed laser deposition |
| title_full | Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением |
| title_fullStr | Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением |
| title_full_unstemmed | Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением |
| title_short | Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением |
| title_sort | оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116713 |
| work_keys_str_mv | AT ušeninûv optoélektronnyesensornyestrukturynaosnoveplenokporistogooksidaalûminiâpolučennyhimpulʹsnymlazernymosaždeniem AT hristosenkorv optoélektronnyesensornyestrukturynaosnoveplenokporistogooksidaalûminiâpolučennyhimpulʹsnymlazernymosaždeniem AT samoilovav optoélektronnyesensornyestrukturynaosnoveplenokporistogooksidaalûminiâpolučennyhimpulʹsnymlazernymosaždeniem AT dorožinskiigv optoélektronnyesensornyestrukturynaosnoveplenokporistogooksidaalûminiâpolučennyhimpulʹsnymlazernymosaždeniem AT kaganovičéb optoélektronnyesensornyestrukturynaosnoveplenokporistogooksidaalûminiâpolučennyhimpulʹsnymlazernymosaždeniem AT manoilovég optoélektronnyesensornyestrukturynaosnoveplenokporistogooksidaalûminiâpolučennyhimpulʹsnymlazernymosaždeniem AT snopokba optoélektronnyesensornyestrukturynaosnoveplenokporistogooksidaalûminiâpolučennyhimpulʹsnymlazernymosaždeniem AT ušeninûv optoelektronicsensorstructurebasedonporousaluminafilmsformedbypulsedlaserdeposition AT hristosenkorv optoelektronicsensorstructurebasedonporousaluminafilmsformedbypulsedlaserdeposition AT samoilovav optoelektronicsensorstructurebasedonporousaluminafilmsformedbypulsedlaserdeposition AT dorožinskiigv optoelektronicsensorstructurebasedonporousaluminafilmsformedbypulsedlaserdeposition AT kaganovičéb optoelektronicsensorstructurebasedonporousaluminafilmsformedbypulsedlaserdeposition AT manoilovég optoelektronicsensorstructurebasedonporousaluminafilmsformedbypulsedlaserdeposition AT snopokba optoelektronicsensorstructurebasedonporousaluminafilmsformedbypulsedlaserdeposition |