Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением

Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением

Рассмотрены пленки пористого оксида алюминия (por-Al₂O₃), сформированные на поверхности золота методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО) из обратного потока частиц эрозионного факела в атмосфере аргона. Методом спектроскопии полного внутреннего отражения с угловым разрешением установлено изменен...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
Дата:2012
Автори: Ушенин, Ю.В., Христосенко, Р.В., Самойлов, А.В., Дорожинский, Г.В., Каганович, Э.Б., Манойлов, Э.Г., Снопок, Б.А.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2012
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116713
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением / Ю.В. Ушенин, Р.В. Христосенко, А.В. Самойлов, Г.В. Дорожинский, Э.Б. Каганович, Э.Г. Манойлов, Б.А. Снопок // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2012. — Вип. 47. — С. 40-45. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-116713
record_format dspace
spelling Ушенин, Ю.В.
Христосенко, Р.В.
Самойлов, А.В.
Дорожинский, Г.В.
Каганович, Э.Б.
Манойлов, Э.Г.
Снопок, Б.А.
2017-05-14T12:14:50Z
2017-05-14T12:14:50Z
2012
Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением / Ю.В. Ушенин, Р.В. Христосенко, А.В. Самойлов, Г.В. Дорожинский, Э.Б. Каганович, Э.Г. Манойлов, Б.А. Снопок // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2012. — Вип. 47. — С. 40-45. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
0233-7577
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116713
535.394
Рассмотрены пленки пористого оксида алюминия (por-Al₂O₃), сформированные на поверхности золота методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО) из обратного потока частиц эрозионного факела в атмосфере аргона. Методом спектроскопии полного внутреннего отражения с угловым разрешением установлено изменение оптических параметров таких структур при их экспозиции в парах воды, ацетона, этанола и гексана. Наблюдали корреляцию между смещением угла резонанса и показателем преломления аналитов. Анализ кинетических зависимостей при смене аналитов указывает на стабильность пленок и обратимость процессов сорбции. Большие значения относительного изменения эффективного коэффициента преломления, достигающие 10⁻², обусловлены большой внутренней поверхностью пленок por-Al₂O₃.
Films of porous alumina (por-Al2O3) were formed on gold films by pulsed laser deposition (PLD) from the reverse flow of the erosion torch particles in an argon atmosphere. Measurements by method of total internal reflection spectroscopy with an angular resolution has shown changes in the optical parameters of such structures in their exposure to the vapors of water, acetone, ethanol and hexane. The correlation between the shift of the resonance angle and the refractive index of analytes were observed. Kinetic characteristics of the resonance angle position in case of analytes changing indicate the stability of the films and the reversibility of sorption processes. The large values of the relative change in the effective refractive index, reaching values to 10⁻², are caused by large internal surface of the por-Al₂O₃ film.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением
Optoelektronic sensor structure based on porous alumina films formed by pulsed laser deposition
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением
spellingShingle Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением
Ушенин, Ю.В.
Христосенко, Р.В.
Самойлов, А.В.
Дорожинский, Г.В.
Каганович, Э.Б.
Манойлов, Э.Г.
Снопок, Б.А.
title_short Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением
title_full Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением
title_fullStr Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением
title_full_unstemmed Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением
title_sort оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением
author Ушенин, Ю.В.
Христосенко, Р.В.
Самойлов, А.В.
Дорожинский, Г.В.
Каганович, Э.Б.
Манойлов, Э.Г.
Снопок, Б.А.
author_facet Ушенин, Ю.В.
Христосенко, Р.В.
Самойлов, А.В.
Дорожинский, Г.В.
Каганович, Э.Б.
Манойлов, Э.Г.
Снопок, Б.А.
publishDate 2012
language Russian
container_title Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Optoelektronic sensor structure based on porous alumina films formed by pulsed laser deposition
description Рассмотрены пленки пористого оксида алюминия (por-Al₂O₃), сформированные на поверхности золота методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО) из обратного потока частиц эрозионного факела в атмосфере аргона. Методом спектроскопии полного внутреннего отражения с угловым разрешением установлено изменение оптических параметров таких структур при их экспозиции в парах воды, ацетона, этанола и гексана. Наблюдали корреляцию между смещением угла резонанса и показателем преломления аналитов. Анализ кинетических зависимостей при смене аналитов указывает на стабильность пленок и обратимость процессов сорбции. Большие значения относительного изменения эффективного коэффициента преломления, достигающие 10⁻², обусловлены большой внутренней поверхностью пленок por-Al₂O₃. Films of porous alumina (por-Al2O3) were formed on gold films by pulsed laser deposition (PLD) from the reverse flow of the erosion torch particles in an argon atmosphere. Measurements by method of total internal reflection spectroscopy with an angular resolution has shown changes in the optical parameters of such structures in their exposure to the vapors of water, acetone, ethanol and hexane. The correlation between the shift of the resonance angle and the refractive index of analytes were observed. Kinetic characteristics of the resonance angle position in case of analytes changing indicate the stability of the films and the reversibility of sorption processes. The large values of the relative change in the effective refractive index, reaching values to 10⁻², are caused by large internal surface of the por-Al₂O₃ film.
issn 0233-7577
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116713
citation_txt Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением / Ю.В. Ушенин, Р.В. Христосенко, А.В. Самойлов, Г.В. Дорожинский, Э.Б. Каганович, Э.Г. Манойлов, Б.А. Снопок // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2012. — Вип. 47. — С. 40-45. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT ušeninûv optoélektronnyesensornyestrukturynaosnoveplenokporistogooksidaalûminiâpolučennyhimpulʹsnymlazernymosaždeniem
AT hristosenkorv optoélektronnyesensornyestrukturynaosnoveplenokporistogooksidaalûminiâpolučennyhimpulʹsnymlazernymosaždeniem
AT samoilovav optoélektronnyesensornyestrukturynaosnoveplenokporistogooksidaalûminiâpolučennyhimpulʹsnymlazernymosaždeniem
AT dorožinskiigv optoélektronnyesensornyestrukturynaosnoveplenokporistogooksidaalûminiâpolučennyhimpulʹsnymlazernymosaždeniem
AT kaganovičéb optoélektronnyesensornyestrukturynaosnoveplenokporistogooksidaalûminiâpolučennyhimpulʹsnymlazernymosaždeniem
AT manoilovég optoélektronnyesensornyestrukturynaosnoveplenokporistogooksidaalûminiâpolučennyhimpulʹsnymlazernymosaždeniem
AT snopokba optoélektronnyesensornyestrukturynaosnoveplenokporistogooksidaalûminiâpolučennyhimpulʹsnymlazernymosaždeniem
AT ušeninûv optoelektronicsensorstructurebasedonporousaluminafilmsformedbypulsedlaserdeposition
AT hristosenkorv optoelektronicsensorstructurebasedonporousaluminafilmsformedbypulsedlaserdeposition
AT samoilovav optoelektronicsensorstructurebasedonporousaluminafilmsformedbypulsedlaserdeposition
AT dorožinskiigv optoelektronicsensorstructurebasedonporousaluminafilmsformedbypulsedlaserdeposition
AT kaganovičéb optoelektronicsensorstructurebasedonporousaluminafilmsformedbypulsedlaserdeposition
AT manoilovég optoelektronicsensorstructurebasedonporousaluminafilmsformedbypulsedlaserdeposition
AT snopokba optoelektronicsensorstructurebasedonporousaluminafilmsformedbypulsedlaserdeposition
first_indexed 2025-12-02T11:32:36Z
last_indexed 2025-12-02T11:32:36Z
_version_ 1850862332126691328

Схожі ресурси