Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением

• Published in: Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
• Date: 2012
• Main Authors: Ушенин, Ю.В., Христосенко, Р.В., Самойлов, А.В., Дорожинский, Г.В., Каганович, Э.Б., Манойлов, Э.Г., Снопок, Б.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2012
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116713
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением / Ю.В. Ушенин, Р.В. Христосенко, А.В. Самойлов, Г.В. Дорожинский, Э.Б. Каганович, Э.Г. Манойлов, Б.А. Снопок // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2012. — Вип. 47. — С. 40-45. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Рассмотрены пленки пористого оксида алюминия (por-Al₂O₃), сформированные на поверхности золота методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО) из обратного потока частиц эрозионного факела в атмосфере аргона. Методом спектроскопии полного внутреннего отражения с угловым разрешением установлено изменен...