Зображення обкладинки

Інтерференційна фотолітографія на основі ефекту фототравлення в тонких шарах халькогенідних стекол

Виявлено ефект фотостимульованого підвищення розчинності відпалених плівок халькогенідних скловидних напівпровідників (ХСН) в селективних протравлювачах на основі амінів. Встановлено, що швидкість травлення підвищується при збільшенні інтенсивності опромінення, а її спектральна залежність корелює з...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
Дата:	2012
Автори:	Данько, В.А., Індутний, І.З., Минько, В.І., Шепелявий, П.Є., Литвин, О.С., Луканюк, М.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2012
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116715
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Інтерференційна фотолітографія на основі ефекту фототравлення в тонких шарах халькогенідних стекол / В.А. Данько, І.З. Індутний, В.І. Минько, П.Є. Шепелявий, О.С. Литвин, М.В. Луканюк // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2012. — Вип. 47. — С. 51-58. — Бібліогр.: 19 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд)
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Дослідження структурних властивостей халькогенідних стекол As₂S₃, легованих сріблом
за авторством: Ревуцька, Л.О., та інші
Опубліковано: (2016)

Технологія виробництва голограмних дифракційних граток на основі неорганічних вакуумних фоторезисторів
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Властивості і застосування халькогенідних стекол. Частина I (огляд)
за авторством: Стронський, О.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Прямий метод формування поверхневих рельєфних ґраток у плівках халькогенідних стекол
за авторством: Рубіш, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)

Фотостимульовані реверсивні перетворення у плівках Ge-Se як основа резистивного процесу
за авторством: Бабійчук, І.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Інтерференційна частина синхротронного випромінювання
за авторством: Яремко, Ю.
Опубліковано: (2011)

Формування субмікронних періодичних плазмонних структур великої площі методом інтерференційної літографії з використанням вакуумних фоторезистів
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Фотолюмінесценція поруватих nc-Si—SiOx наноструктур, оброблених парами HF
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Формування фотонних наноструктур за допомогою інтерференційної літографії та осадження у вакуумі під ковзним кутом
за авторством: Індутний, І.З., та інші
Опубліковано: (2011)

Розробка технології виготовлення сенсорних чипів з підвищеною чутливістю та покращеними фізико-механічними характеристиками для оптичних сенсорів на основі поверхневого плазмонного резонансу
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2017)

Реверсивне фотопотемніння в композитних наноструктурах As₂S₃/SiOx
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Особливості конвекції в атмосферних шарах сонячного факела
за авторством: Стоділка, М.І., та інші
Опубліковано: (2019)

Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників
за авторством: Петров, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення
за авторством: Орлов, А.К., та інші
Опубліковано: (2017)

АНАЛІЗ МІЖМОЛЕКУЛЯРНИХ ВЗАЄМОДІЙ В ЗМІШАНИХ АДСОРБЦІЙНИХ ШАРАХ ПОВЕРХНЕВО - АКТИВНИХ РЕЧОВИН
за авторством: Kochkodan, Olha, та інші
Опубліковано: (2019)

Математичне моделювання та прогнозування поширення радіоактивних забруднень у приповерхневих шарах насиченого ґрунту
за авторством: Чернуха, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2017)

Вплив імплантації іонами гелію на форму елементарної комірки у приповерхневих шарах монокристалів ҐҐҐ
за авторством: Яремій, І.П., та інші
Опубліковано: (2013)

Розробка і властивості халькогенідних матеріалів для інтерференційної оптики, що функціонує в екстремальних умовах
за авторством: Зінченко, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2012)

Дослідження аморфних халькогенідних матеріалів елементів пам’яті на основі фазових переходів
за авторством: Кириленко, В.К., та інші
Опубліковано: (2014)

Особливості одержання та структура халькогенідних склоподібних матеріалів для оптичного запису інформації
за авторством: Риган, М.Ю., та інші
Опубліковано: (2007)

Утворення аморфних фаз в поверхневих шарах гранітів в процесі фінішної обробки
за авторством: Лажевська, О.В.
Опубліковано: (2003)

Дослідження деяких вулканічних стекол грузинських родовищ
за авторством: Tsintskaladze, G. P., та інші
Опубліковано: (2020)

Взаимодействие силикатных расплавов стекол с корундом
за авторством: Кухаренко, С.А.
Опубліковано: (2013)

Відмінності анізотропних оптико-механічних ефектів у фоточутливих полімерах та аморфних халькогенідних матеріялах
за авторством: Іваницький, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)

ПРАКТИЧНІ ПІДХОДИ ЗАСТОСУВАННЯ MIMS – ЕФЕКТУ
за авторством: Цирульник, С. М., та інші
Опубліковано: (2014)

Про сутність вихрового ефекту Ранка–Хільша
за авторством: Molochko F.І.
Опубліковано: (2015)

Моделювання та діягностика деформацій у приповерхневих шарах монокристалів ґадоліній-ґалієвого ґранату, імплантованих йонами F⁺
за авторством: Коцюбинський, В.О., та інші
Опубліковано: (2014)

Властивості халькогенідних сцинтиляторів на основі сполук А2В6, легованих ізовалентними домішками
за авторством: Гриньов, Б.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Розроблення гнучких сцинтиляційних панелей на основі халькогенідних та оксидних люмінофорів для сучасних рентгенівських сканерів та томографів
за авторством: Галкін, С.М., та інші
Опубліковано: (2016)

Определение коэффициента эмиссии энергоэффективных стекол калориметрическим методом
за авторством: Бурова, З.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Кинетика ионообменного взаимодействия щелочносиликатных и свинцовых стекол
за авторством: Кухаренко, С.А., та інші
Опубліковано: (2016)

Кинетика ионообменного взаимодействия щелочносиликатных и свинцовых стекол
за авторством: Кухаренко, С.А., та інші
Опубліковано: (2015)

З приводу інтерпретації житлово-господарських комплексів в ранніх шарах античних міст Північного Причорномор'я
за авторством: Зубар, В.М.
Опубліковано: (1998)

Зменшення рекомбінаційних втрат у дифузійних приповерхневих емітерних шарах фоточутливих кремнієвих структур n+-p-p+
за авторством: Kostylyov, V.P., та інші
Опубліковано: (2023)

Вимірювання синергічного ефекту злиття та поглинання підприємств
за авторством: Тивончук, І.О., та інші
Опубліковано: (2008)

Оцінка ефекту від реалізації проектів спільного впровадження
за авторством: Александров, І.О., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние концентрационной зависимости подвижности на спинодальный распад стекол
за авторством: Стефанович, Л.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние диоксида титана на структуру силикатных многокомпонентных стекол
за авторством: Кухаренко, С.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Трещиностойкость технического и оптического стекол: скалывание кромок образцов
за авторством: Гогоци, Г.А., та інші
Опубліковано: (2010)