Використання поруватих плівок SiOx у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу
Наведено результати досліджень використання поруватих шарів SiOx, отриманих за допомогою термічного осадження у вакуумі під ковзним кутом, у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу (ППР). Характеристики таких плівок вивчено за допомогою оптичних та електронно-мікроскопічних методів, прод...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
|---|---|
| Datum: | 2013 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2013
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116731 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Використання поруватих плівок SiOx у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу / Т.Є. Вакарюк, Ю.С. Громовой, В.А. Данько, Г.В. Дорожинський, С.А. Зиньо, І.З. Індутний, А.В. Самойлов, Ю.В. Ушенін, Р.В. Христосенко, П.Є. Шепелявий // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2013. — Вип. 48. — С. 89-95. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-116731 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Вакарюк, Т.Є. Громовой, Ю.С. Данько, В.А. Дорожинський, Г.В. Зиньо, С.А. Індутний, І.З. Самойлов, А.В. Ушенін, Ю.В. Христосенко, Р.В. Шепелявий, П.Є. 2017-05-14T14:48:32Z 2017-05-14T14:48:32Z 2013 Використання поруватих плівок SiOx у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу / Т.Є. Вакарюк, Ю.С. Громовой, В.А. Данько, Г.В. Дорожинський, С.А. Зиньо, І.З. Індутний, А.В. Самойлов, Ю.В. Ушенін, Р.В. Христосенко, П.Є. Шепелявий // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2013. — Вип. 48. — С. 89-95. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. 0233-7577 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116731 535.394 Наведено результати досліджень використання поруватих шарів SiOx, отриманих за допомогою термічного осадження у вакуумі під ковзним кутом, у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу (ППР). Характеристики таких плівок вивчено за допомогою оптичних та електронно-мікроскопічних методів, продемонстровано їх високу адсорбційну здатність, що дає змогу використовувати такі плівки як адсорбувальний шар в оптичних сенсорах. З’ясовано, що використання поруватих плівок SiOx забезпечує більший відгук на зміну середовища чим ППР-сенсори, порівняно з сенсорами, де використовують лише золоті плівки оптимальної товщини для певної довжини хвилі збуджувального ППР електромагнітного випромінювання. Показано шляхи подальшої оптимізації параметрів ППР-сенсорів для збільшення їх чутливості та селективності та, відповідно, розширення можливостей застосування. The use of porous SiOx layers, obtained by a vacuum thermal oblique deposition in the sensor based on surface plasmon resonance (SPR) was investigated. Characteristics of such films were studied by optical and electron microscopy techniques, it was demonstrated their high adsorption capacity, which allowed its use as an absorbent layer in optical sensors. It was found that the use of porous SiOx films provide greater response to changes in the environment over SPR sensor, compared with sensors, which use only the gold film with optimum thickness for a given wavelength of exciting SPR electromagnetic radiation. The ways of further optimization of the parameters of SPR sensors for increased sensitivity and selectivity, and, consequently, wider application, have been shown. uk Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Оптоэлектроника и полупроводниковая техника Використання поруватих плівок SiOx у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу The use of porous SiOx films in sensors based on surface plasmon resonance Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Використання поруватих плівок SiOx у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу |
| spellingShingle |
Використання поруватих плівок SiOx у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу Вакарюк, Т.Є. Громовой, Ю.С. Данько, В.А. Дорожинський, Г.В. Зиньо, С.А. Індутний, І.З. Самойлов, А.В. Ушенін, Ю.В. Христосенко, Р.В. Шепелявий, П.Є. |
| title_short |
Використання поруватих плівок SiOx у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу |
| title_full |
Використання поруватих плівок SiOx у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу |
| title_fullStr |
Використання поруватих плівок SiOx у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу |
| title_full_unstemmed |
Використання поруватих плівок SiOx у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу |
| title_sort |
використання поруватих плівок siox у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу |
| author |
Вакарюк, Т.Є. Громовой, Ю.С. Данько, В.А. Дорожинський, Г.В. Зиньо, С.А. Індутний, І.З. Самойлов, А.В. Ушенін, Ю.В. Христосенко, Р.В. Шепелявий, П.Є. |
| author_facet |
Вакарюк, Т.Є. Громовой, Ю.С. Данько, В.А. Дорожинський, Г.В. Зиньо, С.А. Індутний, І.З. Самойлов, А.В. Ушенін, Ю.В. Христосенко, Р.В. Шепелявий, П.Є. |
| publishDate |
2013 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
The use of porous SiOx films in sensors based on surface plasmon resonance |
| description |
Наведено результати досліджень використання поруватих шарів SiOx, отриманих за допомогою термічного осадження у вакуумі під ковзним кутом, у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу (ППР). Характеристики таких плівок вивчено за допомогою оптичних та електронно-мікроскопічних методів, продемонстровано їх високу адсорбційну здатність, що дає змогу використовувати такі плівки як адсорбувальний шар в оптичних сенсорах. З’ясовано, що використання поруватих плівок SiOx забезпечує більший відгук на зміну середовища чим ППР-сенсори, порівняно з сенсорами, де використовують лише золоті плівки оптимальної товщини для певної довжини хвилі збуджувального ППР електромагнітного випромінювання. Показано шляхи подальшої оптимізації параметрів ППР-сенсорів для збільшення їх чутливості та селективності та, відповідно, розширення можливостей застосування.
The use of porous SiOx layers, obtained by a vacuum thermal oblique deposition in the sensor based on surface plasmon resonance (SPR) was investigated. Characteristics of such films were studied by optical and electron microscopy techniques, it was demonstrated their high adsorption capacity, which allowed its use as an absorbent layer in optical sensors. It was found that the use of porous SiOx films provide greater response to changes in the environment over SPR sensor, compared with sensors, which use only the gold film with optimum thickness for a given wavelength of exciting SPR electromagnetic radiation. The ways of further optimization of the parameters of SPR sensors for increased sensitivity and selectivity, and, consequently, wider application, have been shown.
|
| issn |
0233-7577 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116731 |
| citation_txt |
Використання поруватих плівок SiOx у сенсорах на базі поверхневого плазмонного резонансу / Т.Є. Вакарюк, Ю.С. Громовой, В.А. Данько, Г.В. Дорожинський, С.А. Зиньо, І.З. Індутний, А.В. Самойлов, Ю.В. Ушенін, Р.В. Христосенко, П.Є. Шепелявий // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2013. — Вип. 48. — С. 89-95. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT vakarûktê vikoristannâporuvatihplívoksioxusensorahnabazípoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT gromovoiûs vikoristannâporuvatihplívoksioxusensorahnabazípoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT danʹkova vikoristannâporuvatihplívoksioxusensorahnabazípoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT dorožinsʹkiigv vikoristannâporuvatihplívoksioxusensorahnabazípoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT zinʹosa vikoristannâporuvatihplívoksioxusensorahnabazípoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT índutniiíz vikoristannâporuvatihplívoksioxusensorahnabazípoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT samoilovav vikoristannâporuvatihplívoksioxusensorahnabazípoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT ušenínûv vikoristannâporuvatihplívoksioxusensorahnabazípoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT hristosenkorv vikoristannâporuvatihplívoksioxusensorahnabazípoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT šepelâviipê vikoristannâporuvatihplívoksioxusensorahnabazípoverhnevogoplazmonnogorezonansu AT vakarûktê theuseofporoussioxfilmsinsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT gromovoiûs theuseofporoussioxfilmsinsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT danʹkova theuseofporoussioxfilmsinsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT dorožinsʹkiigv theuseofporoussioxfilmsinsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT zinʹosa theuseofporoussioxfilmsinsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT índutniiíz theuseofporoussioxfilmsinsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT samoilovav theuseofporoussioxfilmsinsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT ušenínûv theuseofporoussioxfilmsinsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT hristosenkorv theuseofporoussioxfilmsinsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance AT šepelâviipê theuseofporoussioxfilmsinsensorsbasedonsurfaceplasmonresonance |
| first_indexed |
2025-12-07T19:43:39Z |
| last_indexed |
2025-12-07T19:43:39Z |
| _version_ |
1850879895956094976 |