Про акустостимульовану самоорганізацію дефектно-домішкових структур напівпровідника в процесі йонної мплантації
Коротко проаналізовано основні механізми дії акустичної хвилі (АХ) при іонній імплантації на перерозподіл домішок і дефектну структуру напівпровідникового кристала. На експериментальних прикладах показано, що здебільшого дія АХ не виявляється в процесі імплантації, а є відкладеною. Роль АХ в окремих...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| Автор: | Оліх, Я.М. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2013
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116734 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Про акустостимульовану самоорганізацію дефектно-домішкових структур напівпровідника в процесі йонної мплантації / Я.М. Оліх // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2013. — Вип. 48. — С. 113-120. — Бібліогр.: 15 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Вплив металу на поверхневі характеристики напівпровідника
за авторством: Ільченко, Л.Г., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ільченко, Л.Г., та інші
Опубліковано: (2011)
ІЧ спектральний прояв домішкових центрів олова у діоксиді титану
за авторством: Smirnova, O. V., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Smirnova, O. V., та інші
Опубліковано: (2021)
Дефектно-примесный состав монокристаллов алмаза типа Ib кубического габитуса
за авторством: Супрун, Е.М., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Супрун, Е.М., та інші
Опубліковано: (2016)
Моделювання процесів дифузії домішкових частинок у півпросторі з експонеціальним розподілом включень
за авторством: Чапля, Є.Я., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Чапля, Є.Я., та інші
Опубліковано: (2011)
Наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag⁺
за авторством: Удовицька, Р.С.
Опубліковано: (2015)
за авторством: Удовицька, Р.С.
Опубліковано: (2015)
Антрацен між шарами неорганічного напівпровідника: відгук на електричне поле і освітлення
за авторством: Григорчак, І.І, та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Григорчак, І.І, та інші
Опубліковано: (2017)
Вплив пластичного деформування на дефектно-домішковий стан та магнетні властивості кремнію (Cz-Si)
за авторством: Макара, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Макара, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Моделювання глибини розплавленого шару на поверхні напівпровідника за допомогою крос-платформного додатку JAVA
за авторством: Галочкін, О.В., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Галочкін, О.В., та інші
Опубліковано: (2022)
Особенности дефектно-примесного состава монокристаллов алмаза, выращенных в раствор-расплавных системах Fe–Co–Mg–С в присутствии водорода
за авторством: Лысаковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Лысаковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Динаміка коефіцієнта фільтрації засолених ґрунтів в процесі вилуговування
за авторством: Семчук, Я.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Семчук, Я.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Хемічний склад і морфологія поверхні йонотронних наноструктур, сформованих на основі 2D-шаруватих кристалів InSe і йонної солі RbNO₃
за авторством: Бахтінов, А.П., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Бахтінов, А.П., та інші
Опубліковано: (2017)
Мінливість та характер успадковування каріометричних ознак клітин генеративних структур в процесі мікроспорогенезу деяких злаків
за авторством: Трочинська, Т.Г.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Трочинська, Т.Г.
Опубліковано: (2008)
Ольґерд Бочковський про роль релігії у народотворчому процесі
за авторством: Кондратик, Л.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Кондратик, Л.
Опубліковано: (2002)
Про уразливість складних мережевих структур та систем
за авторством: Поліщук, О.Д.
Опубліковано: (2020)
за авторством: Поліщук, О.Д.
Опубліковано: (2020)
Про випереджаючу роль розвитку фізичного типу людини в процесі становлення палеолітичного виробництва
за авторством: Гладилін, В.М.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Гладилін, В.М.
Опубліковано: (2008)
Про напружений стан та стійкість пористої ортотропної пластини в процесі осушення
за авторством: Гайвась, Б.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Гайвась, Б.
Опубліковано: (2006)
Про формальний опис типів і структур даних різнорідних програм
за авторством: Стеняшин, А.Ю.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Стеняшин, А.Ю.
Опубліковано: (2011)
Суверенна держава у процесі глобалізації
за авторством: Співак, В.М.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Співак, В.М.
Опубліковано: (2009)
Використання інформації про вартість тестів та серйозність помилок у процесі пріоритезації тестів
за авторством: Malishevsky, A. G.
Опубліковано: (2017)
за авторством: Malishevsky, A. G.
Опубліковано: (2017)
Концепція поглядів мислителів Давнього Сходу на інформацію про слово-символ як носія певного змісту у процесі комунікації
за авторством: Мороз, В.Я.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Мороз, В.Я.
Опубліковано: (2010)
Трансформація складових біосфери в процесі природокористування
за авторством: Удод, В.М.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Удод, В.М.
Опубліковано: (2009)
Місце рабовласницької формації в історичному процесі
за авторством: Брайчевський, М.Ю.
Опубліковано: (1990)
за авторством: Брайчевський, М.Ю.
Опубліковано: (1990)
Україна у світовому цивілізаційному процесі
за авторством: Павленко, Ю.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Павленко, Ю.
Опубліковано: (2002)
В’ячеслав Липинський про особливості творення нації і роль релігії в цьому процесі
за авторством: Швед, З.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Швед, З.
Опубліковано: (2002)
Математичне моделювання двовимірного в’язкопружного стану деревини у процесі сушіння
за авторством: Соколовський, Я., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Соколовський, Я., та інші
Опубліковано: (2008)
Электрофизические характеристики структур Si—X—Ge₃₃As₁₂Se₅₅ (X: Sb, Bi, In, Pb) с различными контактами
за авторством: Кондрат, А.Б., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Кондрат, А.Б., та інші
Опубліковано: (2001)
Про один підхід до знаходження наближених розв'язків задачі Коші для нелінійних диференціальних рівнянь
за авторством: Пелех, Я.М.
Опубліковано: (1992)
за авторством: Пелех, Я.М.
Опубліковано: (1992)
СУКЦЕСІЇ МІКРООРГАНІЗМІВ У ПРОЦЕСІ КОМПОСТУВАННЯ КУРЯЧОГО ПОСЛІДУ
за авторством: М’ягка, М. В., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: М’ягка, М. В., та інші
Опубліковано: (2014)
СТРАТЕГІЯ ІНТЕГРАЦІЙНОГО РОЗВИТКУ ПІДПРИЄМНИЦЬКИХ СТРУКТУР АГРОПРОМИСЛОВОГО СЕКТОРУ
за авторством: Шацька, З. Я., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Шацька, З. Я., та інші
Опубліковано: (2023)
Проблема Львова в процесі польсько–українського примирення
за авторством: Геник, М.А.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Геник, М.А.
Опубліковано: (2009)
Судове рішення у цивільному процесі: спірні питання
за авторством: Самолюк, Ю.М.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Самолюк, Ю.М.
Опубліковано: (2009)
Стратегічні комунікації в науково-інформаційному процесі сучасності
за авторством: Горовий, В.М.
Опубліковано: (2021)
за авторством: Горовий, В.М.
Опубліковано: (2021)
Ізотопний обмін тритію в процесі вегетації верби
за авторством: Бобков, В.М., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Бобков, В.М., та інші
Опубліковано: (2016)
МІСЦЕ ПОДАТКОВОГО КОНТРОЛЮ В ПОДАТКОВОМУ ПРОЦЕСІ
за авторством: Kostenko, Y.O.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Kostenko, Y.O.
Опубліковано: (2010)
Страховий захист індивідуума у процесі рекреації
за авторством: Охріменко, О.О.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Охріменко, О.О.
Опубліковано: (2006)
Прогнозування в процесі прийняття політичних рішень
за авторством: Дерега, В.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Дерега, В.
Опубліковано: (2009)
Урахування конкурентоспроможності продукції в процесі ціноутворення
за авторством: Корінєв, В. Л.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Корінєв, В. Л.
Опубліковано: (2008)
Роль самореалізації в процесі формування особистості
за авторством: Герасимець, Н.В.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Герасимець, Н.В.
Опубліковано: (2008)
Розмежування українського суспільства в процесі демократизації
за авторством: Кіндратець, О.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Кіндратець, О.
Опубліковано: (2005)
Застосування регіонального бенчмаркінгу в процесі смартпріоритизації
за авторством: Шевцова, Г.З., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Шевцова, Г.З., та інші
Опубліковано: (2021)
Схожі ресурси
-
Вплив металу на поверхневі характеристики напівпровідника
за авторством: Ільченко, Л.Г., та інші
Опубліковано: (2011) -
ІЧ спектральний прояв домішкових центрів олова у діоксиді титану
за авторством: Smirnova, O. V., та інші
Опубліковано: (2021) -
Дефектно-примесный состав монокристаллов алмаза типа Ib кубического габитуса
за авторством: Супрун, Е.М., та інші
Опубліковано: (2016) -
Моделювання процесів дифузії домішкових частинок у півпросторі з експонеціальним розподілом включень
за авторством: Чапля, Є.Я., та інші
Опубліковано: (2011) -
Наноструктурування поверхні гетероепітаксіальної плівки CdHgTe методом йонної імплантації Ag⁺
за авторством: Удовицька, Р.С.
Опубліковано: (2015)