Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига
Рассмотрены пленки золота, которые наносили методом термического испарения в вакууме на полированные кварцевые подложки и подвергали термическому отжигу на воздухе в течение 30 мин в интервале температур 80–300 °С. Кристаллическую структуру полученных образцов исследовали методом дифракции рентгенов...
Saved in:
| Published in: | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2013
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116735 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига / Е.В. Костюкевич, С.А. Костюкевич, П.Е. Шепелявый // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2013. — Вип. 48. — С. 121-129. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862672092598632448 |
|---|---|
| author | Костюкевич, Е.В. Костюкевич, С.А. Шепелявый, П.Е. |
| author_facet | Костюкевич, Е.В. Костюкевич, С.А. Шепелявый, П.Е. |
| citation_txt | Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига / Е.В. Костюкевич, С.А. Костюкевич, П.Е. Шепелявый // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2013. — Вип. 48. — С. 121-129. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
| description | Рассмотрены пленки золота, которые наносили методом термического испарения в вакууме на полированные кварцевые подложки и подвергали термическому отжигу на воздухе в течение 30 мин в интервале температур 80–300 °С. Кристаллическую структуру полученных образцов исследовали методом дифракции рентгеновского характеристического излучения меди.
Gold films of the thickness 40 5 nm were deposited using the method of thermal evaporation in vacuum onto polished silica substrates and undergone to thermal annealing in air for 30 min within the temperature range 80-300 °C. The crystalline structure of these samples was studied using X-ray diffraction of the characteristic Cu K -line.
|
| first_indexed | 2025-12-07T15:35:20Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-116735 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0233-7577 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T15:35:20Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Костюкевич, Е.В. Костюкевич, С.А. Шепелявый, П.Е. 2017-05-14T14:48:55Z 2017-05-14T14:48:55Z 2013 Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига / Е.В. Костюкевич, С.А. Костюкевич, П.Е. Шепелявый // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2013. — Вип. 48. — С. 121-129. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 0233-7577 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116735 539.23, 539.25 Рассмотрены пленки золота, которые наносили методом термического испарения в вакууме на полированные кварцевые подложки и подвергали термическому отжигу на воздухе в течение 30 мин в интервале температур 80–300 °С. Кристаллическую структуру полученных образцов исследовали методом дифракции рентгеновского характеристического излучения меди. Gold films of the thickness 40 5 nm were deposited using the method of thermal evaporation in vacuum onto polished silica substrates and undergone to thermal annealing in air for 30 min within the temperature range 80-300 °C. The crystalline structure of these samples was studied using X-ray diffraction of the characteristic Cu K -line. Авторы благодарны П.М. Литвин, О.С. Литвин и С.И. Лысенко за помощь в проведении измерений и плодотворные дискуссии. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Оптоэлектроника и полупроводниковая техника Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига Surface reconstruction of polycrystalline gold films under the influence of thermal annealing Article published earlier |
| spellingShingle | Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига Костюкевич, Е.В. Костюкевич, С.А. Шепелявый, П.Е. |
| title | Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига |
| title_alt | Surface reconstruction of polycrystalline gold films under the influence of thermal annealing |
| title_full | Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига |
| title_fullStr | Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига |
| title_full_unstemmed | Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига |
| title_short | Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига |
| title_sort | реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116735 |
| work_keys_str_mv | AT kostûkevičev rekonstrukciâpoverhnostipolikristalličeskihplenokzolotapodvliâniemtemperaturnogootžiga AT kostûkevičsa rekonstrukciâpoverhnostipolikristalličeskihplenokzolotapodvliâniemtemperaturnogootžiga AT šepelâvyipe rekonstrukciâpoverhnostipolikristalličeskihplenokzolotapodvliâniemtemperaturnogootžiga AT kostûkevičev surfacereconstructionofpolycrystallinegoldfilmsundertheinfluenceofthermalannealing AT kostûkevičsa surfacereconstructionofpolycrystallinegoldfilmsundertheinfluenceofthermalannealing AT šepelâvyipe surfacereconstructionofpolycrystallinegoldfilmsundertheinfluenceofthermalannealing |