Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига

Рассмотрены пленки золота, которые наносили методом термического испарения в вакууме на полированные кварцевые подложки и подвергали термическому отжигу на воздухе в течение 30 мин в интервале температур 80–300 °С. Кристаллическую структуру полученных образцов исследовали методом дифракции рентгенов...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
Datum:2013
Hauptverfasser: Костюкевич, Е.В., Костюкевич, С.А., Шепелявый, П.Е.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2013
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116735
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига / Е.В. Костюкевич, С.А. Костюкевич, П.Е. Шепелявый // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2013. — Вип. 48. — С. 121-129. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862672092598632448
author Костюкевич, Е.В.
Костюкевич, С.А.
Шепелявый, П.Е.
author_facet Костюкевич, Е.В.
Костюкевич, С.А.
Шепелявый, П.Е.
citation_txt Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига / Е.В. Костюкевич, С.А. Костюкевич, П.Е. Шепелявый // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2013. — Вип. 48. — С. 121-129. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
description Рассмотрены пленки золота, которые наносили методом термического испарения в вакууме на полированные кварцевые подложки и подвергали термическому отжигу на воздухе в течение 30 мин в интервале температур 80–300 °С. Кристаллическую структуру полученных образцов исследовали методом дифракции рентгеновского характеристического излучения меди. Gold films of the thickness 40 5 nm were deposited using the method of thermal evaporation in vacuum onto polished silica substrates and undergone to thermal annealing in air for 30 min within the temperature range 80-300 °C. The crystalline structure of these samples was studied using X-ray diffraction of the characteristic Cu K -line.
first_indexed 2025-12-07T15:35:20Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-116735
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 0233-7577
language Russian
last_indexed 2025-12-07T15:35:20Z
publishDate 2013
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Костюкевич, Е.В.
Костюкевич, С.А.
Шепелявый, П.Е.
2017-05-14T14:48:55Z
2017-05-14T14:48:55Z
2013
Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига / Е.В. Костюкевич, С.А. Костюкевич, П.Е. Шепелявый // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2013. — Вип. 48. — С. 121-129. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
0233-7577
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116735
539.23, 539.25
Рассмотрены пленки золота, которые наносили методом термического испарения в вакууме на полированные кварцевые подложки и подвергали термическому отжигу на воздухе в течение 30 мин в интервале температур 80–300 °С. Кристаллическую структуру полученных образцов исследовали методом дифракции рентгеновского характеристического излучения меди.
Gold films of the thickness 40 5 nm were deposited using the method of thermal evaporation in vacuum onto polished silica substrates and undergone to thermal annealing in air for 30 min within the temperature range 80-300 °C. The crystalline structure of these samples was studied using X-ray diffraction of the characteristic Cu K -line.
Авторы благодарны П.М. Литвин, О.С. Литвин и С.И. Лысенко за помощь в проведении измерений и плодотворные дискуссии.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига
Surface reconstruction of polycrystalline gold films under the influence of thermal annealing
Article
published earlier
spellingShingle Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига
Костюкевич, Е.В.
Костюкевич, С.А.
Шепелявый, П.Е.
title Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига
title_alt Surface reconstruction of polycrystalline gold films under the influence of thermal annealing
title_full Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига
title_fullStr Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига
title_full_unstemmed Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига
title_short Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига
title_sort реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116735
work_keys_str_mv AT kostûkevičev rekonstrukciâpoverhnostipolikristalličeskihplenokzolotapodvliâniemtemperaturnogootžiga
AT kostûkevičsa rekonstrukciâpoverhnostipolikristalličeskihplenokzolotapodvliâniemtemperaturnogootžiga
AT šepelâvyipe rekonstrukciâpoverhnostipolikristalličeskihplenokzolotapodvliâniemtemperaturnogootžiga
AT kostûkevičev surfacereconstructionofpolycrystallinegoldfilmsundertheinfluenceofthermalannealing
AT kostûkevičsa surfacereconstructionofpolycrystallinegoldfilmsundertheinfluenceofthermalannealing
AT šepelâvyipe surfacereconstructionofpolycrystallinegoldfilmsundertheinfluenceofthermalannealing