Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд)
Описано розроблені фотолітографічні процеси на базі реверсивних та перехідних фотоструктурних змін у відпалених плівках халькогенідних скловидних напівпровідників (ХСН). Показано, що негативні протравлювачі на основі амінів розчиняють експоновані ділянки відпалених халькогенідних плівок, тобто діють...
Saved in:
| Published in: | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
|---|---|
| Date: | 2015 |
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2015
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116750 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд) / В.А. Данько, І.З. Індутний, М.В. Луканюк, В.І. Минько, С.С. Пономарьов, П.Є. Шепелявий, В.О. Юхимчук // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2015. — Вип. 50. — С. 44-57. — Бібліогр.: 42 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862719906607267840 |
|---|---|
| author | Данько, В.А. Індутний, І.З. Луканюк, М.В. Минько, В.І. Пономарьов, С.С. Шепелявий, П.Є. Юхимчук, В.О. |
| author_facet | Данько, В.А. Індутний, І.З. Луканюк, М.В. Минько, В.І. Пономарьов, С.С. Шепелявий, П.Є. Юхимчук, В.О. |
| citation_txt | Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд) / В.А. Данько, І.З. Індутний, М.В. Луканюк, В.І. Минько, С.С. Пономарьов, П.Є. Шепелявий, В.О. Юхимчук // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2015. — Вип. 50. — С. 44-57. — Бібліогр.: 42 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
| description | Описано розроблені фотолітографічні процеси на базі реверсивних та перехідних фотоструктурних змін у відпалених плівках халькогенідних скловидних напівпровідників (ХСН). Показано, що негативні протравлювачі на основі амінів розчиняють експоновані ділянки відпалених халькогенідних плівок, тобто діють як позитивні протравлювачі. Представлено переваги нових процесів над традиційними. Наведено приклади різноманітних мікрорельєфних структур, виготовлених з використанням нових технологій, та можливості їх застосування. Розглянуто фізичні механізми фотостимульованих структурних перетворень, що приводять до зміни розчинності плівок ХСН у селективних протравлювачах.
The developed photolithographic processes based on reversible and transient photostimulated structural changes in annealed chalcogenide glass (ChG) layers have been presented. It has been shown that negativeaction etchants containing amines dissolve illuminated portions of annealed chalcogenide films, i.e., act as positive etchants. Advantages of the new processes over the traditional ones and examples of various microrelief structures produced using these new technologies as well as possibilities of their application have been shown. Physical mechanisms of photostimulated structural changes leading to changes in solubility of ChG films in selective etching solutions have been considered.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:22:17Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-116750 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0233-7577 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:22:17Z |
| publishDate | 2015 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Данько, В.А. Індутний, І.З. Луканюк, М.В. Минько, В.І. Пономарьов, С.С. Шепелявий, П.Є. Юхимчук, В.О. 2017-05-14T20:27:59Z 2017-05-14T20:27:59Z 2015 Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд) / В.А. Данько, І.З. Індутний, М.В. Луканюк, В.І. Минько, С.С. Пономарьов, П.Є. Шепелявий, В.О. Юхимчук // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2015. — Вип. 50. — С. 44-57. — Бібліогр.: 42 назв. — укр. 0233-7577 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116750 535.421;621.793/.794 Описано розроблені фотолітографічні процеси на базі реверсивних та перехідних фотоструктурних змін у відпалених плівках халькогенідних скловидних напівпровідників (ХСН). Показано, що негативні протравлювачі на основі амінів розчиняють експоновані ділянки відпалених халькогенідних плівок, тобто діють як позитивні протравлювачі. Представлено переваги нових процесів над традиційними. Наведено приклади різноманітних мікрорельєфних структур, виготовлених з використанням нових технологій, та можливості їх застосування. Розглянуто фізичні механізми фотостимульованих структурних перетворень, що приводять до зміни розчинності плівок ХСН у селективних протравлювачах. The developed photolithographic processes based on reversible and transient photostimulated structural changes in annealed chalcogenide glass (ChG) layers have been presented. It has been shown that negativeaction etchants containing amines dissolve illuminated portions of annealed chalcogenide films, i.e., act as positive etchants. Advantages of the new processes over the traditional ones and examples of various microrelief structures produced using these new technologies as well as possibilities of their application have been shown. Physical mechanisms of photostimulated structural changes leading to changes in solubility of ChG films in selective etching solutions have been considered. uk Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Оптоэлектроника и полупроводниковая техника Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд) Photolithography on photostimulated reversible and transient structural changes in CHG Article published earlier |
| spellingShingle | Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд) Данько, В.А. Індутний, І.З. Луканюк, М.В. Минько, В.І. Пономарьов, С.С. Шепелявий, П.Є. Юхимчук, В.О. |
| title | Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд) |
| title_alt | Photolithography on photostimulated reversible and transient structural changes in CHG |
| title_full | Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд) |
| title_fullStr | Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд) |
| title_full_unstemmed | Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд) |
| title_short | Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд) |
| title_sort | фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у хсн (огляд) |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116750 |
| work_keys_str_mv | AT danʹkova fotolítografíânareversivnihtaperehídnihfotostimulʹovanihstrukturnihperetvorennâhuhsnoglâd AT índutniiíz fotolítografíânareversivnihtaperehídnihfotostimulʹovanihstrukturnihperetvorennâhuhsnoglâd AT lukanûkmv fotolítografíânareversivnihtaperehídnihfotostimulʹovanihstrukturnihperetvorennâhuhsnoglâd AT minʹkoví fotolítografíânareversivnihtaperehídnihfotostimulʹovanihstrukturnihperetvorennâhuhsnoglâd AT ponomarʹovss fotolítografíânareversivnihtaperehídnihfotostimulʹovanihstrukturnihperetvorennâhuhsnoglâd AT šepelâviipê fotolítografíânareversivnihtaperehídnihfotostimulʹovanihstrukturnihperetvorennâhuhsnoglâd AT ûhimčukvo fotolítografíânareversivnihtaperehídnihfotostimulʹovanihstrukturnihperetvorennâhuhsnoglâd AT danʹkova photolithographyonphotostimulatedreversibleandtransientstructuralchangesinchg AT índutniiíz photolithographyonphotostimulatedreversibleandtransientstructuralchangesinchg AT lukanûkmv photolithographyonphotostimulatedreversibleandtransientstructuralchangesinchg AT minʹkoví photolithographyonphotostimulatedreversibleandtransientstructuralchangesinchg AT ponomarʹovss photolithographyonphotostimulatedreversibleandtransientstructuralchangesinchg AT šepelâviipê photolithographyonphotostimulatedreversibleandtransientstructuralchangesinchg AT ûhimčukvo photolithographyonphotostimulatedreversibleandtransientstructuralchangesinchg |