Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд)

Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд)

Описано розроблені фотолітографічні процеси на базі реверсивних та перехідних фотоструктурних змін у відпалених плівках халькогенідних скловидних напівпровідників (ХСН). Показано, що негативні протравлювачі на основі амінів розчиняють експоновані ділянки відпалених халькогенідних плівок, тобто діють...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
Datum:2015
Hauptverfasser: Данько, В.А., Індутний, І.З., Луканюк, М.В., Минько, В.І., Пономарьов, С.С., Шепелявий, П.Є., Юхимчук, В.О.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2015
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116750
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд) / В.А. Данько, І.З. Індутний, М.В. Луканюк, В.І. Минько, С.С. Пономарьов, П.Є. Шепелявий, В.О. Юхимчук // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2015. — Вип. 50. — С. 44-57. — Бібліогр.: 42 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-116750
record_format dspace
spelling Данько, В.А.
Індутний, І.З.
Луканюк, М.В.
Минько, В.І.
Пономарьов, С.С.
Шепелявий, П.Є.
Юхимчук, В.О.
2017-05-14T20:27:59Z
2017-05-14T20:27:59Z
2015
Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд) / В.А. Данько, І.З. Індутний, М.В. Луканюк, В.І. Минько, С.С. Пономарьов, П.Є. Шепелявий, В.О. Юхимчук // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2015. — Вип. 50. — С. 44-57. — Бібліогр.: 42 назв. — укр.
0233-7577
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116750
535.421;621.793/.794
Описано розроблені фотолітографічні процеси на базі реверсивних та перехідних фотоструктурних змін у відпалених плівках халькогенідних скловидних напівпровідників (ХСН). Показано, що негативні протравлювачі на основі амінів розчиняють експоновані ділянки відпалених халькогенідних плівок, тобто діють як позитивні протравлювачі. Представлено переваги нових процесів над традиційними. Наведено приклади різноманітних мікрорельєфних структур, виготовлених з використанням нових технологій, та можливості їх застосування. Розглянуто фізичні механізми фотостимульованих структурних перетворень, що приводять до зміни розчинності плівок ХСН у селективних протравлювачах.
The developed photolithographic processes based on reversible and transient photostimulated structural changes in annealed chalcogenide glass (ChG) layers have been presented. It has been shown that negativeaction etchants containing amines dissolve illuminated portions of annealed chalcogenide films, i.e., act as positive etchants. Advantages of the new processes over the traditional ones and examples of various microrelief structures produced using these new technologies as well as possibilities of their application have been shown. Physical mechanisms of photostimulated structural changes leading to changes in solubility of ChG films in selective etching solutions have been considered.
uk
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд)
Photolithography on photostimulated reversible and transient structural changes in CHG
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд)
spellingShingle Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд)
Данько, В.А.
Індутний, І.З.
Луканюк, М.В.
Минько, В.І.
Пономарьов, С.С.
Шепелявий, П.Є.
Юхимчук, В.О.
title_short Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд)
title_full Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд)
title_fullStr Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд)
title_full_unstemmed Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд)
title_sort фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у хсн (огляд)
author Данько, В.А.
Індутний, І.З.
Луканюк, М.В.
Минько, В.І.
Пономарьов, С.С.
Шепелявий, П.Є.
Юхимчук, В.О.
author_facet Данько, В.А.
Індутний, І.З.
Луканюк, М.В.
Минько, В.І.
Пономарьов, С.С.
Шепелявий, П.Є.
Юхимчук, В.О.
publishDate 2015
language Ukrainian
container_title Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Photolithography on photostimulated reversible and transient structural changes in CHG
description Описано розроблені фотолітографічні процеси на базі реверсивних та перехідних фотоструктурних змін у відпалених плівках халькогенідних скловидних напівпровідників (ХСН). Показано, що негативні протравлювачі на основі амінів розчиняють експоновані ділянки відпалених халькогенідних плівок, тобто діють як позитивні протравлювачі. Представлено переваги нових процесів над традиційними. Наведено приклади різноманітних мікрорельєфних структур, виготовлених з використанням нових технологій, та можливості їх застосування. Розглянуто фізичні механізми фотостимульованих структурних перетворень, що приводять до зміни розчинності плівок ХСН у селективних протравлювачах. The developed photolithographic processes based on reversible and transient photostimulated structural changes in annealed chalcogenide glass (ChG) layers have been presented. It has been shown that negativeaction etchants containing amines dissolve illuminated portions of annealed chalcogenide films, i.e., act as positive etchants. Advantages of the new processes over the traditional ones and examples of various microrelief structures produced using these new technologies as well as possibilities of their application have been shown. Physical mechanisms of photostimulated structural changes leading to changes in solubility of ChG films in selective etching solutions have been considered.
issn 0233-7577
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116750
citation_txt Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд) / В.А. Данько, І.З. Індутний, М.В. Луканюк, В.І. Минько, С.С. Пономарьов, П.Є. Шепелявий, В.О. Юхимчук // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2015. — Вип. 50. — С. 44-57. — Бібліогр.: 42 назв. — укр.
work_keys_str_mv AT danʹkova fotolítografíânareversivnihtaperehídnihfotostimulʹovanihstrukturnihperetvorennâhuhsnoglâd
AT índutniiíz fotolítografíânareversivnihtaperehídnihfotostimulʹovanihstrukturnihperetvorennâhuhsnoglâd
AT lukanûkmv fotolítografíânareversivnihtaperehídnihfotostimulʹovanihstrukturnihperetvorennâhuhsnoglâd
AT minʹkoví fotolítografíânareversivnihtaperehídnihfotostimulʹovanihstrukturnihperetvorennâhuhsnoglâd
AT ponomarʹovss fotolítografíânareversivnihtaperehídnihfotostimulʹovanihstrukturnihperetvorennâhuhsnoglâd
AT šepelâviipê fotolítografíânareversivnihtaperehídnihfotostimulʹovanihstrukturnihperetvorennâhuhsnoglâd
AT ûhimčukvo fotolítografíânareversivnihtaperehídnihfotostimulʹovanihstrukturnihperetvorennâhuhsnoglâd
AT danʹkova photolithographyonphotostimulatedreversibleandtransientstructuralchangesinchg
AT índutniiíz photolithographyonphotostimulatedreversibleandtransientstructuralchangesinchg
AT lukanûkmv photolithographyonphotostimulatedreversibleandtransientstructuralchangesinchg
AT minʹkoví photolithographyonphotostimulatedreversibleandtransientstructuralchangesinchg
AT ponomarʹovss photolithographyonphotostimulatedreversibleandtransientstructuralchangesinchg
AT šepelâviipê photolithographyonphotostimulatedreversibleandtransientstructuralchangesinchg
AT ûhimčukvo photolithographyonphotostimulatedreversibleandtransientstructuralchangesinchg
first_indexed 2025-12-07T18:22:17Z
last_indexed 2025-12-07T18:22:17Z
_version_ 1850874776501878784

Ähnliche Einträge