Формування субмікронних періодичних плазмонних структур великої площі методом інтерференційної літографії з використанням вакуумних фоторезистів

• Published in: Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
• Date: 2015
• Main Authors: Данько, В.А., Дмитрук, М.Л., Індутний, І.З., Мамикін, С.В., Минько, В.І., Литвин, П.М., Луканюк, М.В., Шепелявий, П.Є.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2015
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116757
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Формування субмікронних періодичних плазмонних структур великої площі методом інтерференційної літографії з використанням вакуумних фоторезистів / В.А. Данько, М.Л. Дмитрук, І.З. Індутний, С.В. Мамикін, В.І. Минько, П.М. Литвин, М.В. Луканюк, П.Є. Шепелявий // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2015. — Вип. 50. — С. 109-116. — Бібліогр.: 24 назв. — укр.

У даній роботі наведено можливості використання інтерференційної літографії з фоторезистами на основі халькогенідних скловидних напівпровідників у комплексі з термічною обробкою для формування однорідних плазмонних структур з необхідними характеристиками на підкладках великої площі. У результаті дос...