Зображення обкладинки

Формування субмікронних періодичних плазмонних структур великої площі методом інтерференційної літографії з використанням вакуумних фоторезистів

У даній роботі наведено можливості використання інтерференційної літографії з фоторезистами на основі халькогенідних скловидних напівпровідників у комплексі з термічною обробкою для формування однорідних плазмонних структур з необхідними характеристиками на підкладках великої площі. У результаті дос...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
Дата:	2015
Автори:	Данько, В.А., Дмитрук, М.Л., Індутний, І.З., Мамикін, С.В., Минько, В.І., Литвин, П.М., Луканюк, М.В., Шепелявий, П.Є.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2015
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116757
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Формування субмікронних періодичних плазмонних структур великої площі методом інтерференційної літографії з використанням вакуумних фоторезистів / В.А. Данько, М.Л. Дмитрук, І.З. Індутний, С.В. Мамикін, В.І. Минько, П.М. Литвин, М.В. Луканюк, П.Є. Шепелявий // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2015. — Вип. 50. — С. 109-116. — Бібліогр.: 24 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Формування фотонних наноструктур за допомогою інтерференційної літографії та осадження у вакуумі під ковзним кутом
за авторством: Індутний, І.З., та інші
Опубліковано: (2011)

Фотостимульовані реверсивні перетворення у плівках Ge-Se як основа резистивного процесу
за авторством: Бабійчук, І.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Інтерференційна фотолітографія на основі ефекту фототравлення в тонких шарах халькогенідних стекол
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Фотолітографія на реверсивних та перехідних фотостимульованих структурних перетвореннях у ХСН (огляд)
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Фотолюмінесценція поруватих nc-Si—SiOx наноструктур, оброблених парами HF
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Розробка технології виготовлення сенсорних чипів з підвищеною чутливістю та покращеними фізико-механічними характеристиками для оптичних сенсорів на основі поверхневого плазмонного резонансу
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2017)

Метод моделювання поверхневих плазмонних хвиль на тривимірних поверхнях довільної форми
за авторством: Денисюк, М.С.
Опубліковано: (2009)

ВИКОРИСТАННЯ ЛАЗЕРНОЇ ІНТЕРФЕРЕНЦІЙНОЇ МІКРОСКОПІЇ (ЛІМ) У ГІДРОБІОЛОГІЇ
за авторством: Юсипович, А. I., та інші
Опубліковано: (2023)

Реверсивне фотопотемніння в композитних наноструктурах As₂S₃/SiOx
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Формування металевої електропровідності у плівках вакуумних конденсатів металів
за авторством: Бігун, Р.І., та інші
Опубліковано: (2014)

Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС
за авторством: Новосядлий, С.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Структурні перетворення оксидів церію і празеодиму у вакуумних конденсатах
за авторством: Слободяник, М.С., та інші
Опубліковано: (2009)

Плівкоутворюючі матеріали та багатошарові покриття інтерференційної оптики технологічних ІЧ-лазерів
за авторством: Зінченко, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)

Синтез та дослідження фаз високого тиску в оксидних вакуумних конденсатах
за авторством: Заславський, О.М.
Опубліковано: (2007)

Золотоносність Могилів-Подільської площі (Середнє Придністров'я)
за авторством: Павлюк, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)

НАФТОГАЗОНОСНІСТЬ ЮЛІЇВСЬКО-КАРАВАНІВСЬКОЇ ПЛОЩІ
за авторством: Ivanyshyn, V., та інші
Опубліковано: (2013)

МОДЕРНІЗОВАНА УСТАНОВКА ВУ 700 ДЛЯ НАПИЛЕННЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ВАКУУМНИХ ПОКРИТТІВ
за авторством: Клименко, Сергій, та інші
Опубліковано: (2025)

Розробка і властивості халькогенідних матеріалів для інтерференційної оптики, що функціонує в екстремальних умовах
за авторством: Зінченко, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2012)

З історії української метрології: міри площі
за авторством: Герасименко, Н.О.
Опубліковано: (2016)

Формування структури при реакційному спіканні субмікронних і нанорозмірних порошків кубічного нітриду бору з алюмінієм на стадії просочення під високим тиском
за авторством: Беженар, М.П., та інші
Опубліковано: (2008)

Формування металевого характеру електропровідности у вакуумних конденсатах міді, нанесених на поверхню підшару кремнію субатомової товщини
за авторством: Бігун, Р.І., та інші
Опубліковано: (2013)

Синтез суміщеного автомата зі зменшенням площі нано-ПЛМ
за авторством: Баркалов, О.О., та інші
Опубліковано: (2020)

Археологічне вивчення Контрактової площі та суміжних територій
Опубліковано: (2017)

Прогнозно-геохімічні роботи масштабу 1:200 000 Східно-Приазовської площі УЩ
за авторством: Казьміна, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2011)

Перспективи відкрить нових покладів вуглеводнів на Східно-Долинській площі Передкарпатського прогину
за авторством: Бодлак, П., та інші
Опубліковано: (2007)

Застосування середньомасштабного геохімічного картування в процесі проведення ГДП-200 Східно-Приазовської площі
за авторством: Кузьміна, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

РОЗРОБКА ТЕХНОЛОГІЇ ЧИЩЕННЯ ВАКУУМНИХ ПОВЕРХОНЬ ПЛАЗМОЮ ВИСОКОЧАСТОТНОГО РОЗРЯДУ В КОМБІНАЦІЇ З РОЗРЯДОМ ПОСТІЙНОГО СТРУМУ
за авторством: Kovtun, Yurii, та інші
Опубліковано: (2021)

Розрахунок площі пошкоджень протикорозійного покриття відрізка трубопроводу за даними електрометричних вимірювань
за авторством: Лукович, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Про геологічний розвиток Юліївсько-Караванівської площі в Дніпровсько-Донецькій западині (ДДЗ)
за авторством: Іванишин, В.А.
Опубліковано: (2009)

ІНДЕКС ПЛОЩІ ЛИСТКОВОЇ ПОВЕРХНІ РОБІНІЄВИХ ДЕРЕВОСТАНІВ ПІВНІЧНОГО СТЕПУ УКРАЇНИ
за авторством: Sytnyk, S. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Прояви самородної міді в осадовому чохлі і корах вивітрювання кристалічного фундаменту Хмільницької площі (Бердичівське підняття)
за авторством: Довгань, Р.М., та інші
Опубліковано: (2007)

Генезис метану і геолого-геохімічні критерії пошуків його родовищ на площі Львівського палеозойського прогину
за авторством: Павлюк, М.І., та інші
Опубліковано: (2012)

ДИНАМІКА ПЛОЩІ ВСИХАННЯ ЛІСІВ, СПРИЧИНЕНОГО ВЕРХІВКОВИМ КОРОЇДОМ, У ДП «ТЕТЕРІВСЬКЕ ЛГ»
за авторством: Meshkova, V. L., та інші
Опубліковано: (2018)

Інформація про виконання інноваційного проекту “Розроблення і впровадження кріогенно-вакуумних технологій обробки неметалевих композиційних матеріалів для підвищення їх фізико-механічних властивостей”
за авторством: Похил, Ю.О., та інші
Опубліковано: (2010)

Постдіагенетичні зміни порід карбону Ольховатської площі Донбасу як індикатор геодинамічних умов епохи рудоутворення
за авторством: Александров, О.Л., та інші
Опубліковано: (2012)

Результати прогнозування скупчень вуглеводнів на Наріжнянській площі Дніпровсько-Донецької западини за даними електророзвідувальних робіт методом точкових електромагнітних зондувань
за авторством: Фінчук, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)

ЛІТОСТРАТИГРАФІЧНЕ РОЗЧЛЕНУВАННЯ ВІДКЛАДІВ НОВОПЕТРІВСЬКОЇ СВІТИ НА ПЛОЩІ КРАСНОКУТСЬКОГО РОДОВИЩА ТИТАНО-ЦИРКОНІЄВИХ РУД
за авторством: Kravchenko, O.A.
Опубліковано: (2015)

НОВІ ТЕХНІЧНІ РІШЕННЯ З ПІДВИЩЕННЯ ПЛОЩІ АКТИВНОГО ПЕРЕТИНУ КОЛОСНИКОВИХ ГРАТ АГЛОМЕРАЦІЙНОЇ МАШИНИ
за авторством: SIGAREV, Е., та інші
Опубліковано: (2024)

Складні фториди та сульфіди металів як перспективні матеріали для інтерференційної оптики (за матеріалами наукового повідомлення на засіданні Президії НАН України 26 грудня 2012 р.)
за авторством: Тімухін, Є.В.
Опубліковано: (2013)

Про перспективи нафтогазоносності південного борту ДДЗ за геофізичними методами (на прикладі досліджень на Східномагдалинівській площі)
за авторством: Слободянюк, С.О., та інші
Опубліковано: (2011)