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InSb фотодіоди (Огляд. Частина II)

Проаналізовано найбільш важливі технологічні операції виготовлення дифузійних InSb фотодіодів – хіміко-механічне та хіміко-динамічне полірування поверхні підкладок, пасивацію активної області фотодіодів та способи її реалізації, дифузію акцепторної домішки кадмію. Детально описано способи виготовлен...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
Datum:	2016
Hauptverfasser:	Сукач, А.В., Тетьоркін, В.В., Матіюк, І.М., Ткачук, А.І.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2016
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116783
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	InSb фотодіоди (Огляд. Частина II) / А.В. Сукач, В.В. Тетьоркін, І.М. Матіюк, А.І. Ткачук // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2016. — Вип. 51. — С. 69-90. — Бібліогр.: 82 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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