Взаимодействие твердых растворов ZnxCd1-xTe и Cd₀,₂Hg₀,₈Te с травителями системы NaNО₂–НІ–молочная кислота

• Опубліковано в: : Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
• Дата: 2016
• Автори: Денисюк, Р.А., Томашик, В.Н., Денисюк, Т.Н.
• Формат: Стаття
• Мова: Російська
• Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2016
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116787
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Взаимодействие твердых растворов ZnxCd1-xTe и Cd₀,₂Hg₀,₈Te с травителями системы NaNО₂–НІ–молочная кислота / Р.А. Денисюк, В.Н. Томашик, Т.Н. Денисюк // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2016. — Вип. 51. — С. 119-122. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Исследованы процессы химического растворения монокристаллов CdTe, твердых растворов ZnxCd1-xTe (х = 0,04; 0,1) и Cd₀,₂Hg₀,₈Te в травителях системы NaNO₂–HI–молочная кислота. Построены концентрационные и кинетические зависимости скоростей травления и показано, что с увеличением содержания цинка и ртути в составе твердых растворов улучшается качество обрабатываемой поверхности йодвыделяющими травителями. Оптимизированы составы травителей и режимы химико-динамического полирования поверхности исследуемых монокристаллов. The chemical dissolution of CdTe and ZnxCd1-xTe (х = 0,04; 0,1) and Cd₀,₂Hg₀,₈Te solid solutions single crystals in the NaNO₂–HI–lactic acid etchant compositions has been investigated. Concentration and kinetic dependences of the etching rates have been constructed. It was shown that the quality of the treatment by iodine emerging etchants improved at the increasing of zinc and mercury contents in the solid solutions. The etchant compositions and modes of the chemical dynamic polishing of the mention above single crystals have been optimized.