Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu
Приведены результаты экспериментальных исследований профилей раздела концентрации внедренных ионов и попутных примесей по глубине поверхности монокристаллов меди в результате высокодозной имплантации ионами титана. Установлено, что в результате воздействия ионами титана вблизи поверхности формируютс...
Saved in:
| Published in: | Журнал физики и инженерии поверхности |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2016
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116864 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu / А.Д. Погребняк, Аид Куссей Джаруллах // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 57-61. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862690518024060928 |
|---|---|
| author | Погребняк, А.Д. Аид Куссей Джаруллах |
| author_facet | Погребняк, А.Д. Аид Куссей Джаруллах |
| citation_txt | Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu / А.Д. Погребняк, Аид Куссей Джаруллах // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 57-61. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Журнал физики и инженерии поверхности |
| description | Приведены результаты экспериментальных исследований профилей раздела концентрации внедренных ионов и попутных примесей по глубине поверхности монокристаллов меди в результате высокодозной имплантации ионами титана. Установлено, что в результате воздействия ионами титана вблизи поверхности формируются тонкие аморфные углеродные и окисленные пленки, а также карбид титана.
Наведені результати експериментальних досліджень профілів розділу концентрації впроваджених іонів і попутних домішок за глибиною поверхні монокристалів міді в результаті високодозної імплантації іонами титану. Встановлено, що в результаті впливу іонами титану поблизу поверхні формуються тонкі аморфні вуглецеві і окислені плівки, а також карбід титану.
The results of experimental research of the concentration interface profiles of the implanted ions and the co product impurities over the depth of the surface of copper single crystals as a result of high-dose implantation of titanium ions are shown. It is found that thin amorphous carbon and oxidized films and titanium carbide are formed close to the surface as a result of titanium ions impact.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:13:43Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-116864 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2519-2485 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:13:43Z |
| publishDate | 2016 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Погребняк, А.Д. Аид Куссей Джаруллах 2017-05-17T05:04:49Z 2017-05-17T05:04:49Z 2016 Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu / А.Д. Погребняк, Аид Куссей Джаруллах // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 57-61. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2519-2485 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116864 539.121.8.04 Приведены результаты экспериментальных исследований профилей раздела концентрации внедренных ионов и попутных примесей по глубине поверхности монокристаллов меди в результате высокодозной имплантации ионами титана. Установлено, что в результате воздействия ионами титана вблизи поверхности формируются тонкие аморфные углеродные и окисленные пленки, а также карбид титана. Наведені результати експериментальних досліджень профілів розділу концентрації впроваджених іонів і попутних домішок за глибиною поверхні монокристалів міді в результаті високодозної імплантації іонами титану. Встановлено, що в результаті впливу іонами титану поблизу поверхні формуються тонкі аморфні вуглецеві і окислені плівки, а також карбід титану. The results of experimental research of the concentration interface profiles of the implanted ions and the co product impurities over the depth of the surface of copper single crystals as a result of high-dose implantation of titanium ions are shown. It is found that thin amorphous carbon and oxidized films and titanium carbide are formed close to the surface as a result of titanium ions impact. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Журнал физики и инженерии поверхности Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu Структурно-фазовий стан поверхні при високодозній іонній імплантації титану в монокристали Cu Structural and phase surface state at high ion implantation of Ti in Cu single crystals Article published earlier |
| spellingShingle | Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu Погребняк, А.Д. Аид Куссей Джаруллах |
| title | Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu |
| title_alt | Структурно-фазовий стан поверхні при високодозній іонній імплантації титану в монокристали Cu Structural and phase surface state at high ion implantation of Ti in Cu single crystals |
| title_full | Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu |
| title_fullStr | Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu |
| title_full_unstemmed | Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu |
| title_short | Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu |
| title_sort | структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы cu |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116864 |
| work_keys_str_mv | AT pogrebnâkad strukturnofazovoesostoâniepoverhnostiprivysokodoznoiionnoiimplantaciititanavmonokristallycu AT aidkusseidžarullah strukturnofazovoesostoâniepoverhnostiprivysokodoznoiionnoiimplantaciititanavmonokristallycu AT pogrebnâkad strukturnofazoviistanpoverhníprivisokodozníiíonníiímplantacíítitanuvmonokristalicu AT aidkusseidžarullah strukturnofazoviistanpoverhníprivisokodozníiíonníiímplantacíítitanuvmonokristalicu AT pogrebnâkad structuralandphasesurfacestateathighionimplantationoftiincusinglecrystals AT aidkusseidžarullah structuralandphasesurfacestateathighionimplantationoftiincusinglecrystals |