Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu

• Published in: Журнал физики и инженерии поверхности
• Date: 2016
• Main Authors: Погребняк, А.Д., Аид Куссей Джаруллах
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2016
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116864
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Структурно-фазовое состояние поверхности при высокодозной ионной имплантации титана в монокристаллы Cu / А.Д. Погребняк, Аид Куссей Джаруллах // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 57-61. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Приведены результаты экспериментальных исследований профилей раздела концентрации внедренных ионов и попутных примесей по глубине поверхности монокристаллов меди в результате высокодозной имплантации ионами титана. Установлено, что в результате воздействия ионами титана вблизи поверхности формируютс...