Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии
В модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона получена формула для внутренних напряжений в покрытии, осаждаемом из наклонного пучка ионов в режимах постоянного и импульсного потенциала смещения. Предполагается, что деформация при ионной бомбардировке определяется плотностью дефе...
Saved in:
| Published in: | Журнал физики и инженерии поверхности |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2016
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117055 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии / А.И. Калиниченко, С.С. Перепёлкин, В.Е. Стрельницкий // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 4. — С. 338-345. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |