Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии

• Published in: Журнал физики и инженерии поверхности
• Date: 2016
• Main Authors: Калиниченко, А.И., Перепёлкин, С.С., Стрельницкий, В.Е.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2016
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117055
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние угла падения пучка ионов на внутренние напряжения в осаждаемом покрытии / А.И. Калиниченко, С.С. Перепёлкин, В.Е. Стрельницкий // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 4. — С. 338-345. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

В модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона получена формула для внутренних напряжений в покрытии, осаждаемом из наклонного пучка ионов в режимах постоянного и импульсного потенциала смещения. Предполагается, что деформация при ионной бомбардировке определяется плотностью дефе...