Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride
This paper reports the current and voltage oscilloscope waveforms of a pulsed discharge measured in a broad range of frequencies (from 20 to 300 kHz) and duty cycle from 0.15 to 0.85 for two values of oxygen and carbon tetrafluoride pressure values of 0.1 and 1 Torr. Current oscilloscope waveforms o...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Журнал физики и инженерии поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2016 |
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2016
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117057 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride / V.A. Lisovskiy, P.A. Ogloblina, S.V. Dudin, V.D. Yegorenkov, A.N. Dakhov, V.I. Farenik // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 4. — С. 351-360. — Бібліогр.: 26 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862541674613309440 |
|---|---|
| author | Lisovskiy, V.A. Ogloblina, P.A. Dudin, S.V. Yegorenkov, V.D. Dakhov, A.N. Farenik, V.I. |
| author_facet | Lisovskiy, V.A. Ogloblina, P.A. Dudin, S.V. Yegorenkov, V.D. Dakhov, A.N. Farenik, V.I. |
| citation_txt | Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride / V.A. Lisovskiy, P.A. Ogloblina, S.V. Dudin, V.D. Yegorenkov, A.N. Dakhov, V.I. Farenik // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 4. — С. 351-360. — Бібліогр.: 26 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Журнал физики и инженерии поверхности |
| description | This paper reports the current and voltage oscilloscope waveforms of a pulsed discharge measured in a broad range of frequencies (from 20 to 300 kHz) and duty cycle from 0.15 to 0.85 for two values of oxygen and carbon tetrafluoride pressure values of 0.1 and 1 Torr. Current oscilloscope waveforms of the glow pulsed discharge have been found to possess a plasma phase and an afterglow phase. The following stages of the plasma phase have been observed: 1. The capacitive current pulse of about 0.5–1 μs in duration; 2. The current growth stage the duration of which depends on the gas species, the plasma phase duration and the pressure; 3. The plateau (remarkably pronounced only for carbon tetrafluoride and absent for other gases); 4. The current decrease of tens microseconds in duration down to the level corresponding to that of the direct voltage discharge.
В данной работе были измерены осциллограммы тока и напряжения импульсного разряда в широком диапазоне частот (от 20 до 300 кГц), коэффициентов заполнения от 15 до 85 %, для двух значений давлений 0,1 и 1 Торр кислорода и C F₄. Было получено, что осциллограммы тока тлеющего импульсного разряда имеют плазменную фазу и фазу послесвечения. Наблюдались следующие этапы плазменной фазы: 1. Импульс емкостного тока длительностью примерно 0,5–1 мкс; 2. Этап роста тока, длительность которого зависела от сорта газа, длительности плазменной фазы и давления; 3. Плато (заметно выраженное лишь для CF₄ и отсутствующее в кислороде); 4. Уменьшение тока, длившееся десятки микросекунд, до уровня, соответствующего разряду с постоянным напряжением.
У цій роботі були виміряні осцилограми струму і напруги імпульсного розряду в широкому діапазоні частот (від 20 до 300 кГц), коефіцієнтів заповнення від 15 до 85 %, для двох значень тиску 0,1 і 1 Торр кисню і C F₄. Було отримано, що осцилограми струму тліючого імпульсного розряду мають плазмову фазу і фазу післясвітіння. Спостерігалися наступні етапи плазмової фази: 1. Імпульс ємнісного струму тривалістю приблизно 0,5–1 мкс; 2. Етап зростання струму, тривалість якого залежала від сорту газу, тривалості плазмової фази і тиску; 3. Плато (помітно виражене лише для CF₄ і відсутнє в кисні); 4. Зменшення струму, що тривало десятки мікросекунд, до рівня, відповідного розряду з постійною напругою.
|
| first_indexed | 2025-11-24T16:28:51Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-117057 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2519-2485 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-24T16:28:51Z |
| publishDate | 2016 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Lisovskiy, V.A. Ogloblina, P.A. Dudin, S.V. Yegorenkov, V.D. Dakhov, A.N. Farenik, V.I. 2017-05-19T12:52:28Z 2017-05-19T12:52:28Z 2016 Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride / V.A. Lisovskiy, P.A. Ogloblina, S.V. Dudin, V.D. Yegorenkov, A.N. Dakhov, V.I. Farenik // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 4. — С. 351-360. — Бібліогр.: 26 назв. — англ. 2519-2485 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117057 533.915 This paper reports the current and voltage oscilloscope waveforms of a pulsed discharge measured in a broad range of frequencies (from 20 to 300 kHz) and duty cycle from 0.15 to 0.85 for two values of oxygen and carbon tetrafluoride pressure values of 0.1 and 1 Torr. Current oscilloscope waveforms of the glow pulsed discharge have been found to possess a plasma phase and an afterglow phase. The following stages of the plasma phase have been observed: 1. The capacitive current pulse of about 0.5–1 μs in duration; 2. The current growth stage the duration of which depends on the gas species, the plasma phase duration and the pressure; 3. The plateau (remarkably pronounced only for carbon tetrafluoride and absent for other gases); 4. The current decrease of tens microseconds in duration down to the level corresponding to that of the direct voltage discharge. В данной работе были измерены осциллограммы тока и напряжения импульсного разряда в широком диапазоне частот (от 20 до 300 кГц), коэффициентов заполнения от 15 до 85 %, для двух значений давлений 0,1 и 1 Торр кислорода и C F₄. Было получено, что осциллограммы тока тлеющего импульсного разряда имеют плазменную фазу и фазу послесвечения. Наблюдались следующие этапы плазменной фазы: 1. Импульс емкостного тока длительностью примерно 0,5–1 мкс; 2. Этап роста тока, длительность которого зависела от сорта газа, длительности плазменной фазы и давления; 3. Плато (заметно выраженное лишь для CF₄ и отсутствующее в кислороде); 4. Уменьшение тока, длившееся десятки микросекунд, до уровня, соответствующего разряду с постоянным напряжением. У цій роботі були виміряні осцилограми струму і напруги імпульсного розряду в широкому діапазоні частот (від 20 до 300 кГц), коефіцієнтів заповнення від 15 до 85 %, для двох значень тиску 0,1 і 1 Торр кисню і C F₄. Було отримано, що осцилограми струму тліючого імпульсного розряду мають плазмову фазу і фазу післясвітіння. Спостерігалися наступні етапи плазмової фази: 1. Імпульс ємнісного струму тривалістю приблизно 0,5–1 мкс; 2. Етап зростання струму, тривалість якого залежала від сорту газу, тривалості плазмової фази і тиску; 3. Плато (помітно виражене лише для CF₄ і відсутнє в кисні); 4. Зменшення струму, що тривало десятки мікросекунд, до рівня, відповідного розряду з постійною напругою. The work was carried out with the financial support of the Ministry of Education and Science of Ukraine on the topics of research works 0115U000477 and 0115U003166. en Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Журнал физики и инженерии поверхности Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride Этапы формирования импульсного разряда в кислороде и CF₄ Етапи формування імпульсного розряду в кисні і CF₄ Article published earlier |
| spellingShingle | Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride Lisovskiy, V.A. Ogloblina, P.A. Dudin, S.V. Yegorenkov, V.D. Dakhov, A.N. Farenik, V.I. |
| title | Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride |
| title_alt | Этапы формирования импульсного разряда в кислороде и CF₄ Етапи формування імпульсного розряду в кисні і CF₄ |
| title_full | Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride |
| title_fullStr | Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride |
| title_full_unstemmed | Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride |
| title_short | Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride |
| title_sort | formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117057 |
| work_keys_str_mv | AT lisovskiyva formationstagesofpulseddischargeinoxygenandcarbontetrafluoride AT ogloblinapa formationstagesofpulseddischargeinoxygenandcarbontetrafluoride AT dudinsv formationstagesofpulseddischargeinoxygenandcarbontetrafluoride AT yegorenkovvd formationstagesofpulseddischargeinoxygenandcarbontetrafluoride AT dakhovan formationstagesofpulseddischargeinoxygenandcarbontetrafluoride AT farenikvi formationstagesofpulseddischargeinoxygenandcarbontetrafluoride AT lisovskiyva étapyformirovaniâimpulʹsnogorazrâdavkislorodeicf4 AT ogloblinapa étapyformirovaniâimpulʹsnogorazrâdavkislorodeicf4 AT dudinsv étapyformirovaniâimpulʹsnogorazrâdavkislorodeicf4 AT yegorenkovvd étapyformirovaniâimpulʹsnogorazrâdavkislorodeicf4 AT dakhovan étapyformirovaniâimpulʹsnogorazrâdavkislorodeicf4 AT farenikvi étapyformirovaniâimpulʹsnogorazrâdavkislorodeicf4 AT lisovskiyva etapiformuvannâímpulʹsnogorozrâduvkisníícf4 AT ogloblinapa etapiformuvannâímpulʹsnogorozrâduvkisníícf4 AT dudinsv etapiformuvannâímpulʹsnogorozrâduvkisníícf4 AT yegorenkovvd etapiformuvannâímpulʹsnogorozrâduvkisníícf4 AT dakhovan etapiformuvannâímpulʹsnogorozrâduvkisníícf4 AT farenikvi etapiformuvannâímpulʹsnogorozrâduvkisníícf4 |