Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния TIN покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в газовой смеси N₂ и Ar
Приведены результаты исследований структуры и напряженного состояния TiN покрытий, осажденных методом PIII & D из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в условиях подачи на подложку высоковольтного импульсного потенциала смещения с амплитудой 1 кВ. Методом рентгеноструктурного анализа изучен...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Журнал физики и инженерии поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2016 |
| Автори: | Васильев, В.В., Лучанинов, А.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2016
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117061 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния TIN покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в газовой смеси N₂ и Ar / В.В. Васильев, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 4. — С. 387-397. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Структура и свойства нитридных покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы с использованием порошкового катода Cr₀,₅Al₀,₅
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние расположения подложки относительно потока фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы на структуру и свойства покрытий TіN
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)
Особенности морфологии поверхностей покрытий, наносимых из фильтрованной вакуумно-дуговой катодной плазмы на ферромагнитные подложки
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)
Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2010)
Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)
Магнитоуправляемый вакуумно-дуговой источник плазмы
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2009)
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде
за авторством: Выровец, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Выровец, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002)
Сегрегационные явления в вакуумно-осаждённых нанокомпозитах Fe—W
за авторством: Бармин, А.Е., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Бармин, А.Е., та інші
Опубліковано: (2012)
Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок
за авторством: Кузьмин, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Кузьмин, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)
Об эффективности вакуумно-дуговых источников сепарированной плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)
Аномальное разделение газовой смеси в стационарных условиях
за авторством: Поярков, И.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Поярков, И.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы
за авторством: Стрельницкий, В.Е.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Стрельницкий, В.Е.
Опубліковано: (2002)
Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)
Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2011)
Errata: Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Рентгенографическое изучение процесса окисления NiNb
за авторством: Чуприна, В.Г.
Опубліковано: (1983)
за авторством: Чуприна, В.Г.
Опубліковано: (1983)
Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu
за авторством: Лунёв, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Лунёв, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)
Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Исследование характеристик покрытий, синтезированных с помощью источника газовой плазмы
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
О давлении плазмы при вакуумно-дуговом разряде на металлах
за авторством: Павлов, В.С.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Павлов, В.С.
Опубліковано: (2009)
Характеристики неравновесной дуговой плазмы в канале сопла плазмотрона
за авторством: Игнатов, А.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Игнатов, А.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Рентгенографическое изучение процесса формирования титановых покрытий на алмазе
за авторством: Чуприна, В.Г., та інші
Опубліковано: (1983)
за авторством: Чуприна, В.Г., та інші
Опубліковано: (1983)
Оптимизация тепловой работы тигля при вакуумно-дуговой гарнисажной плавке
за авторством: Жадкевич, М.Л., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Жадкевич, М.Л., та інші
Опубліковано: (2005)
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
за авторством: Сысоев, Ю.А.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Сысоев, Ю.А.
Опубліковано: (2013)
Исследование состава газовой при плазменно-дуговой плавке титана из прессованной заготовки
за авторством: Жадкевич, М.Л., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Жадкевич, М.Л., та інші
Опубліковано: (2004)
Математическая модель дуговой плазмы, генерируемой плазмотроном с проволокой-анодом
за авторством: Харламов, М.Ю., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Харламов, М.Ю., та інші
Опубліковано: (2007)
Характеристики импульсного потока плазмы в плазменно-детонационном генераторе при различных расходах горючей смеси
за авторством: Жадкевич, М.Л., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Жадкевич, М.Л., та інші
Опубліковано: (2006)
Схожі ресурси
-
Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008) -
Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009) -
Структура и свойства нитридных покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы с использованием порошкового катода Cr₀,₅Al₀,₅
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016) -
Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009) -
Влияние расположения подложки относительно потока фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы на структуру и свойства покрытий TіN
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)