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Using ion beams for creation of nanostructures on the surface of high-stable materials

Main ion-beam etching techniques for creation of nanostructures on the surface of high-stable materials have been considered. Methods of information recording in the form of nanostructure on the metallic substrate surface have been analyzed. Application of glass substrate...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Datum:	2007
Hauptverfasser:	Gorbov, I.V., Petrov, V.V., Kryuchyn, A.A.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117660
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Using ion beams for creation of nanostructures on the surface of high-stable materials / I.V. Gorbov, V.V. Petrov, A.A. Kryuchyn // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2007. — Т. 10, № 1. — С. 27-29. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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