Structural properties of nanocomposite SiO₂(Si) films obtained by ion-plasma sputtering and thermal annealing
The nanocomposite SiO₂(Si) films containing Si nanoclusters inside insulating SiO₂matrix are promising for many nanoelectronics applications. The ion-plasma sputtering of Si in O₂ containing gas mixture and following thermal annealing have been used to form nanocomposite SiO₂(Si) films. The structur...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2011
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117723 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Structural properties of nanocomposite SiO₂(Si) films obtained by ion-plasma sputtering and thermal annealing / O.L. Bratus, A.A. Evtukh, O.S. Lytvyn, M.V. Voitovych, V.О. Yukhymchuk // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2011. — Т. 14, № 2. — С. 247-255. — Бібліогр.: 24 назв. — англ. |