APA (7th ed.) Citation

Min’ko, V., Shepeliavyi, P., Indutnyy, I., & Litvin, O. (2007). Fabrication of silicon grating structures using interference lithography and chalcogenide inorganic photoresist. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Min’ko, V.I, P.E Shepeliavyi, I.Z Indutnyy, and O.S Litvin. Fabrication of Silicon Grating Structures Using Interference Lithography and Chalcogenide Inorganic Photoresist. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2007.

MLA (8th ed.) Citation

Min’ko, V.I, et al. Fabrication of Silicon Grating Structures Using Interference Lithography and Chalcogenide Inorganic Photoresist. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2007.