Usenko, A., & Carr, W. (1999). Silicon-on-insulator technology for microelectromechanical applications. Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Usenko, A.Y, und W.N Carr. "Silicon-on-insulator Technology for Microelectromechanical Applications." Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics 1999.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Usenko, A.Y, und W.N Carr. "Silicon-on-insulator Technology for Microelectromechanical Applications." Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics, 1999.
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