Usenko, A., & Carr, W. (1999). Silicon-on-insulator technology for microelectromechanical applications. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Usenko, A.Y, und W.N Carr. Silicon-on-insulator Technology for Microelectromechanical Applications. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 1999.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Usenko, A.Y, und W.N Carr. Silicon-on-insulator Technology for Microelectromechanical Applications. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 1999.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.