Usenko, A., & Carr, W. (1999). Silicon-on-insulator technology for microelectromechanical applications. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Chicago Style (17th ed.) CitationUsenko, A.Y, and W.N Carr. Silicon-on-insulator Technology for Microelectromechanical Applications. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 1999.
MLA (8th ed.) CitationUsenko, A.Y, and W.N Carr. Silicon-on-insulator Technology for Microelectromechanical Applications. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 1999.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.