Зображення обкладинки

Silicon-on-insulator technology for microelectromechanical applications

A purpose of the paper is to give a review of recent development (1998-1999) in microelectromechanical (MEMS) devices formed on silicon-on-insulator (SOI) substrates. Advantages of using SOI are summarised. Problems of CMOS-MEMS integration for smart sensors are listed. Examples of successful use of...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Дата:	1999
Автори:	Usenko, A.Y., Carr, W.N.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1999
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117927
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Silicon-on-insulator technology for microelectromechanical applications / A.Y. Usenko, W.N. Carr // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 1999. — Т. 2, № 1. — С. 93-97. — Бібліогр.: 19 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Microelectromechanical sistems in medicine
за авторством: V. N. Shoffa, та інші
Опубліковано: (2016)

Application of the Two-Sided Approximations Method to the Static Deflection Analysis of an Elastic Beam Under Various Boundary Conditions in a Microelectromechanical System Model
за авторством: Савченко, Антон, та інші
Опубліковано: (2025)

High-temperature characteristics of zone-melting recrystallized silicon-on-insulator MOSFETs
за авторством: Lysenko, V.S., та інші
Опубліковано: (1998)

The effect of SiO2 microparticle concentration on the electrical and thermal properties of silicone rubber for electrical insulation applications
за авторством: Ahmed, Z., та інші
Опубліковано: (2025)

The Application of the Method of Two-Sided Approximations to Solving the Dirichlet Problem for a Semilinear Equation with a Biharmonic Operator, which is a Mathematical Model of a Microelectromechanical System
за авторством: Савченко, Антон
Опубліковано: (2024)

Revision of interface coupling in ultra-thin body silicon-on-insulator MOSFETs
за авторством: T. Rudenko, та інші
Опубліковано: (2013)

ONLINE TECHNOLOGICAL MONITORING OF INSULATION DEFECTS IN ENAMELED WIRES
за авторством: Zolotaryov, V. M., та інші
Опубліковано: (2017)

IDENTIFICATION OF TECHNOLOGICAL DEFECTS IN HIGH-VOLTAGE SOLID INSULATION OF ELECTRICAL INSULATION STRUCTURES ON THE CHARACTERISTICS OF PARTIAL DISCHARGES
за авторством: Bezprozvannych, G. V., та інші
Опубліковано: (2019)

TECHNOLOGICAL PARAMETERS OF THE COOLING MODE OF POLYMER INSULATION OF POWER CABLES
за авторством: Bezprozvannych, G. V., та інші
Опубліковано: (2019)

Portable pulse X-ray apparatus with gas insulation
за авторством: Avilov, E.A., та інші
Опубліковано: (2001)

Silicon semiconductor: technologies and prospects
за авторством: A. M. Verkhovljuk, та інші
Опубліковано: (2017)

Construction, technology and research methods in ultrahigh temperature electrical insulation
за авторством: M. I. Falkovskyi, та інші
Опубліковано: (2014)

On the discovery of magnon sidebands in insulating antiferromagnets
за авторством: White, R.M., та інші
Опубліковано: (2005)

Оn possibility of external magnetic field application for electrical insulation of electrodes
за авторством: Shulika, O.N.
Опубліковано: (2018)

SUBSTANTIATION AND GUARANTEEING OF TECHNOLOGICAL PARAMETERS OF TRIBOELECTRICAL METHOD OF MONITORING OF CABLES WITH POLYMER INSULATION
за авторством: Bezprozvannych, G. V., та інші
Опубліковано: (2014)

Development and application of a silicon coordinate detectors
за авторством: Kulibaba, V.I., та інші
Опубліковано: (2003)

Toxicological-hygienic criteria for the safety of application of heat-insulating materials in construction and transport
за авторством: E. V. Tretjakova
Опубліковано: (2018)

Influence of technological dose of irradiation on mechanical and electrical characteristics of polymeric insulation of wires
за авторством: Bezprozvannych, G.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Manufacturing technology for contacts to silicon carbide
за авторством: Ja. Ja. Kudrik, та інші
Опубліковано: (2013)

INVESTIGATION OF LOSSES IN INSULATION OF HIGH-VOLTAGE POWER CABLES WITH XLPE INSULATION
за авторством: Shchebeniuk, L. A., та інші
Опубліковано: (2016)

PVC COMPOSITION PROPERTIES CONTROL WITH APPLICATION OF LEAD-FREE STABILIZERS FOR CABLE PRODUCT INSULATION
за авторством: Zolotaryov, V. M., та інші
Опубліковано: (2013)

EFFICIENCY OF APPLICATION OF SEMICONDUCTIVE COATINGS FOR REGULATION OF ELECTRIC FIELD IN HIGH-VOLTAGE INSULATION OF ELECTRIC MACHINES
за авторством: Bezprozvannych, G. V., та інші
Опубліковано: (2019)

Silicon Alloyed Ductile Cast Iron and Its Application
за авторством: V. B. Bublykov, та інші
Опубліковано: (2020)

PROBLEMS OF ECONOMIC CRITERIA APPLICATION TO CALCULATION AND DESIGN OF HIGH-VOLTAGE PLASTIC-INSULATED POWER CABLES
за авторством: Golik, O. V.
Опубліковано: (2013)

Technology of manufacturing the reliable silicon photoconverters with long operation time
за авторством: Guseynov, N.A., та інші
Опубліковано: (2005)

Outlook for silicon raw material application in hydrogen power industry
за авторством: A. I. Manilov
Опубліковано: (2014)

Problems of application of porous silicon to chemical and photocatalytic production of hydrogen
за авторством: A. I. Manilov
Опубліковано: (2016)

Problems of application of porous silicon to chemical and photocatalytic production of hydrogen
за авторством: A. I. Manilov
Опубліковано: (2016)

Theory of quantum transport in Josephson junctions with a ferromagnetic insulator
за авторством: Kawabata, S., та інші
Опубліковано: (2010)

Josephson current in d-wave superconductor junctions with ferromagnetic insulator
за авторством: Y.-H. Liao, та інші
Опубліковано: (2012)

Insulators in vertebrates: regulatory mechanisms and chromatin structure
за авторством: S. V. Ulianov, та інші
Опубліковано: (2012)

Insulators in vertebrates: regulatory mechanisms and chromatin structure
за авторством: Ulianov, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)

Application of ontological analysis for metadata processing in the interpretation of BIG DATA at the semantic level
за авторством: Rogushina, J.V., та інші
Опубліковано: (2021)

Development of deep silicon plasma etching for 3D integration technology
за авторством: A. A. Golishnikov, та інші
Опубліковано: (2014)

Choosing a heat-insulating mixtures and the development of technology insulation of metal mirrors in the casting ladle in open joint stock company &quot;Alchevsk Iron &amp; Steel Works&quot;
за авторством: A. V. Pashchenko
Опубліковано: (2009)

Radiation problems for insulators in ITER and beyond
за авторством: Hodgson, E.R.
Опубліковано: (2002)

Improvement of deoxidation and secondary treatment technology of low-silicon steel grade
за авторством: K. E. Pismarev, та інші
Опубліковано: (2017)

Integration of Semantic WEB technologies with Business Intelligence 2.0 systems
за авторством: Rogushina, J.V., та інші
Опубліковано: (2025)

The Prospects of Solar Silicon Manufacture Technology by Quartz Sand with Pyrocarbon Reduction
за авторством: B. I. Bondarenko, та інші
Опубліковано: (2012)

Simulation of the insulating properties of two-layer material
за авторством: Dadashov, I.F., та інші
Опубліковано: (2018)