High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE

Influence of Yb and Al co-doping gallium melt during LPE growth of the GaAs epitaxial layers on their properties is investigated. It is shown that both morphology and electrophysical parameters of the films are changed under influence of the doping impurities applied. Obtained results are explained...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Datum:2003
Hauptverfasser: Krukovsky, S.I., Zayachuk, D.M., Rybak, O.V., Mryhin, I.O.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117942
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE / S.I. Krukovsky, D.M. Zayachuk, O.V. Rybak, I.O. Mryhin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2003. — Т. 6, № 1. — С. 55-57. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-117942
record_format dspace
spelling Krukovsky, S.I.
Zayachuk, D.M.
Rybak, O.V.
Mryhin, I.O.
2017-05-27T16:48:08Z
2017-05-27T16:48:08Z
2003
High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE / S.I. Krukovsky, D.M. Zayachuk, O.V. Rybak, I.O. Mryhin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2003. — Т. 6, № 1. — С. 55-57. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
1560-8034
PACS: 73.61.Ey
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117942
Influence of Yb and Al co-doping gallium melt during LPE growth of the GaAs epitaxial layers on their properties is investigated. It is shown that both morphology and electrophysical parameters of the films are changed under influence of the doping impurities applied. Obtained results are explained by simultaneous Yb gettering action with respect to oxygen and silicon in the solution-melt, and also by lowering the concentration of Si in the films due to Al entering into Ga sub-lattice.
en
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE
spellingShingle High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE
Krukovsky, S.I.
Zayachuk, D.M.
Rybak, O.V.
Mryhin, I.O.
title_short High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE
title_full High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE
title_fullStr High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE
title_full_unstemmed High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE
title_sort high-resistance low-doped gaas and algaas layers obtained by lpe
author Krukovsky, S.I.
Zayachuk, D.M.
Rybak, O.V.
Mryhin, I.O.
author_facet Krukovsky, S.I.
Zayachuk, D.M.
Rybak, O.V.
Mryhin, I.O.
publishDate 2003
language English
container_title Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
description Influence of Yb and Al co-doping gallium melt during LPE growth of the GaAs epitaxial layers on their properties is investigated. It is shown that both morphology and electrophysical parameters of the films are changed under influence of the doping impurities applied. Obtained results are explained by simultaneous Yb gettering action with respect to oxygen and silicon in the solution-melt, and also by lowering the concentration of Si in the films due to Al entering into Ga sub-lattice.
issn 1560-8034
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117942
citation_txt High-resistance low-doped GaAs and AlGaAs layers obtained by LPE / S.I. Krukovsky, D.M. Zayachuk, O.V. Rybak, I.O. Mryhin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2003. — Т. 6, № 1. — С. 55-57. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT krukovskysi highresistancelowdopedgaasandalgaaslayersobtainedbylpe
AT zayachukdm highresistancelowdopedgaasandalgaaslayersobtainedbylpe
AT rybakov highresistancelowdopedgaasandalgaaslayersobtainedbylpe
AT mryhinio highresistancelowdopedgaasandalgaaslayersobtainedbylpe
first_indexed 2025-11-25T06:39:23Z
last_indexed 2025-11-25T06:39:23Z
_version_ 1850506181951356928
fulltext 55����������� �� ������������������������������������������ ���� �� � ��������������������! � ��� �����������������������"� �����#�����������$�%&��������������� ��������� '���� (�� ��� ))*)+� �������� � � ���������� ��� ��������� � �� �� ��� �� � ���� �� ���� �� ��� ���� ����� ���! "�#� $ � ����! %�&� '�� �! ��%� #����� �,-� ./ � �0�� ���� ������ � ���� �1���(� �����! � ��� �����2� 3����4� ')��5)�� �*� ��2� �� ��� �6&������������� ��� � � �� ����������������������� ���������� ������������� �� ����!���� �"�#���� �#��$��% �����&���� �� � %� ��� �#�� � � ��� ���%� �%� ��'�%������� � ��� �%� %#�"�� �#��� ���#��� �#���� � ��� ����� ��# %������� ����� %���� �#�� ����%�� ���#���������� � ������������� �#��������� ���� ����% ������� �(�������� �%���%� � �� �&��������� � %����������%��������� ���� �������"��#� �%����� �� �& �������� %������� ��� �#�� %������������)� ������%��� � ��"� ���� �#�� ������� ������������ ��� �#� ����%��������������� ���� �����$��%���������� ��������(� ��������� %�����)� ����� ��# %����� � ��� ���% ���� � ����'���*+ �* ,*-������������ ��������������. ,� ,� )� �� ����� ��� /��#� �%�%�������"�������$��%�������$��%��� � %�� � �#����%�%����� ������#����%����� ������#��#�'������������%) �# �%�� %)��#� ��%��%� %������� �%��%� %���� �������� 0#� ��� �%�������������%�"#���������������� ������1��� � % � �!�����������#��� �%�����������2� ��������� ����% ��2�� %������)� �� ���)��& ���)������%���� ��� ��� ������� �#� �� �������������� �� �%%�#�%��������#��'���������� � ��������#��� ��� ���%����%����������� ����� ���%��%��� � ���� �#��������%�34��5��� � �������,6�7� �� %�8���9 0�2�����������������#��#��#�����������'�� �����#��4��) �#����%�����������%�����#�%��%���������������������� �� �� '������ �!�� �����#��%��������)�����%� ��#� ������������� ����%����%%�������'������%�����%���� � ���� �#��������% ������� ���� ��� ���%����$��%�������$��%��� � %�� ����� ��%������ ���� �!�����%�������#����:�%������#��'���� �#�%��#������ ������%����;�� �<��;������� �0#������ ���%���� ��#����%����� ����������"������������������4�� ����#������#���)�����;�� �<��;������������#����#� )�"#��# � �'���%�� ����������&=����=�%� ���� �%����$��%�6���$��% % %����8>9 �/�"�'� )�:�%���#�%��#��� �%� ���� �%���� ��� %������������ ������������ �%����������#�� ���"����2�'���� ������ ���%�����#��#� �� ��2��"��'������%��������� �� %���������� ���%�"��#���%����� ���� � ����������8>)79 ��� �#��� �%����"� 2)���"���� ���#�%���%�������#��������& �������"��#�4��������%�'������������������ ����%������ ��������������� �������� ��# %������ ��� ���%�����#��!�� � �"��$��%��� � %�� ����'������ *� �+����,�� � �����-�� $��%������&������ � %�"� ��� �"��� �!������#����%��� �&�� ��������%�����"��#�#� �<������ ����� �����#����%��� � �����%%�����"��#�� �"�#������������ �� %�����%�������� �#��$��%��� � %�"�%� ����%���� ����#�����)� ��� �������� ���������� ������ �������� %������������%� ��� �#� %�����%�������� 3�,,5�� �������$��%� %��%� ���%�"��# �,�� ����������� ������������"� �%�3��,5������ �?��#�� �� ��%������� �����#� ��)���������++ +++�)���������� ++ ++++����� ��� �����++ +�"� ���%�� �0#��%������������% "� ������� ��������� �0���� ��� �������� ����������#� #�������%������� ���%%�"� ��.7,�ο������� 7�#�� %)� �� %�����'�� �$ �"�#������ � %�"�%��� �� ��������#������ �� ��� �� ��������.,,6�,,�ο�)�� %�����%������'������ "�%�� *�ο�@��� �0#���#��2��%%�����#��� �"���� � %�"�% �� ���� ��������76�,�µ� 7 �"%��'3(4������ ���� ����� ��� � ��( ���������� ��� ��������� � �� �� ��� .� '���� � �� ����������� 0"���&�� ��������%� ��%�"� ���� �� ����"��#��#���� � ��%�������'�%���������������������������$������%�"��#��� ����������� ����%�����#������� ��# %������ ��� ���%��� $��%��� � % �A� ����#�%� ��%��#������� ��� ������#���� � � �"�#�"�%��#��%��������'� ��������#�� ���������,�����,,�ο� A� ��#���� %���&�� ��������%� ��%)�$��%������������% "� ����� �������"��#���)�������� ���������"#��#�'� ��� � ���, ,,*7����, ,�.��� B �A� � �#��%������%� ��%)�$� �����"�%�%����������%� �������"��#���������� �����#�% ��%�)����������� ������"�%���:�%��������"����&���'����% �;���� ���, ,�7�����, ,* ��� B)� �%�����'�� )�"#������ ������� ������'� ����� ���,����, ,77��� B��� ����#���&�� '���������#������������ ����� (� ��&�� �����%�#�'��%#�"���#������#��� �#���� ��������� ��# %������� ����� %�����#������%�"� ���#����� ���� ���������������#������������� ����%�������� ���� ��%� ���������� �� �������� �������� ���������"� %�������� �#��������� �#���� )������%�'������&����%��#���� ������ ���� ����'���� ����#���������������#��4�����������������#� %� ������� �#���� �����#������%�� �"��� �!���"�%�2��"� ���� ���� ���'�%��������%�8�9 �?��#�'���������#��� ������ ������� ����������#��4������� �� ���������������������#� � �%����������#� ������������ ����%������#�� ����� � �0#�%) �� ��&�����)��������"� %����������#������%��� �#���� ���� ��������� ����"#������������� ����������#��%������������ �&����%�, ,7��� B)�"#� ��%�"#���%�������������C%������ ������� �������"��#�������� �� ��������������, ,�.��� B) �#��"� %����������#���� �#���� �����#��� �"�����������2�% �����������"� ����������� ������6�, ,>��� B ������� ����%�����#����������������#���������������� �� ���%�����#������� ��# %������ ��� ���%�����#��!���� �"� $��%��� � %�� ������%� ������ ������%#�"�����A��%�������* �%���������%���� ���A�� �)���������������#��$��%���� ���������� ��� ��%�%� ����� ��� ������� ������ 3�� '�� �5 ?#������������� ������ ���#�%��� ������ �������'���� �� 3��5)�"#��#��%�������, ,>,��� B������ ���%�)���'� %��� ����#����������'�� �� �������#�������&������ � %�� �������� � ��������#������������ % �0#��%������#�'��� �����#� �����������������#������� ���������� ���������� ������� �� �� �����������"�%���%� '�����%���������������������� ��������%������������%�"��#� ��� ������������������ 3A�� ��)��� '�%�*������5 �����#�����%�)�#�"�'� )��� 3��5 ����� ����������%%������� ������������������������ �� ���������#������)������ ��"#����#������� �������� ����� ��� ��%�%)��� 3��5���� ��%�%��������� �%�������#��'���� �� ��#���� � %�� �"��� ����#��%������������%�������"��# ������ ������&���������#����������%������������%����������% ��%���#���� �� �������� �����#��� �"�������&������ � % ��� ���#�%���%���&�����'�������� �&������ �����#�������� ���� �� �������� �����%��� �%������������#�������%��� �#����������'�� �� �����'� %��������#��� %�����%������ � % 3A�� �*��� '�%��6�5 ������ ������������%����%� �������,, �������D�����#��$��%��� � %�� �"��� ����#��$������% �����������������, ,�.��� B�������� ������"� ���������� ����� �����%��� �������%�����#�� ��������3A�� �*)��� '�%�� ����>5 �E�����#�������#��$��%��� � %�"��#������ ������� ���� ������� �F�,� 6+F�,�7� ����)� �#�� ����� ���������� '������� ��%�'� �"����"��#��#���#�� ������������� ��#� ������������%�G� F�,����*@1⋅%�����,,�D�8 9 ������������ ��� ��%������#��������� �������D��������� �%�������#����� ��������� ��� ����������%��#����%���������#��������� %����������#������ �� ������ %�����#�������&����$��%��� � � %� ����� �%�������� �#����� ������� �������� �������'� ����� ���������������#�������"��#� �%���������#����������2� � ��������� ����% ����� ��%������#������� ���������� �������%��������� ����� � � ��� ��%���� �#�� %�������� �%�%������ ���$��% �����&������ � % �0#����&�����'���������#��%�������� �� %�%�������� ��#����� ����� � %)�� �"��� ����#��$������% ������"��#���)��%��,6*,�(#�⋅�� �����#���� � %��������� /��� )�� ����� ��� ���� #���� ������� �����%� ��� �#�� �����&����$��% �� � %� '� %�%���� ������� ������� �����%� ��� �#�� �������������(� 6 ,� �� B���-��� 6� , ,�7� �� B���-��� 6� , ,* � �� B��� /��� *�� ����� ��� ����#�������������%� ��� �#�� �����&����$��%� �� � % '� %�%���� ������� ������� �����%� ��� �#�� ��������������(� 6� ,� �� B ��-��� 6� , ,�7� �� B���-��� 6� , ,* � �� B��� �������� ���� ���� ���� ���� ���� � � � �� � �� � �� � �� � �� �� � �� ������ � �� � � −� � � � �� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ��� ���� ����� ������ ������ ������ ������ ������ ������ ��������� ��������� ��������� ���������� �� � �� ���� � � � � �� � �� � � �� � � � � ���� ����� ��� � ��( ���������� ��� ��������� � �� �� ��� 7��"%��'3(4������ "��#������������� ��#�� �������� �����%�����#��������;��� ���, ,�*�����, ,�7��� B)� �%�����'�� )��#��%�������� �%�%�� �������� ��%�%�������7⋅�,7�(#�⋅�� ���� ��%����������� ���������#����������%�%��� �#� ���� ��%��������#��%������� �%�%����������#������% �����%����� ��������������#����#� %����'���������#��%�������� �%�%����������#���� � %������� ���#������%���������� ���"� ����������� ������� ���� ��%� �������������� ����������#������ (�%� '�����#�'��� �����#������� ��# %������� ����� % ���$��%��� � %����������� ���$������%����������"��#��� ���������������&������������#�������"����"� �����%����� � ��� �2��"���#����#����������2� ��������� ����%����$��% � ���& ��������%�������879 �����%��� ������& �� ���$������% �#�����������'�� �� �������#�������&������ � %�������%��� �#������� ��� ������#��� ���%%�����%�������������� ����� ����#������ ������,,6.,,�ο�)�"#��#��� �%����%�����#� ���������%������ ��&�� �����%)�%������������ ��������% '������%���%� ���$��%������������������%��%������� �8�9 (& ������%�����%��%������� ����$��%�8�9 ����� �� ����� ����#�����������#����������%�%����� ���������� ��� ���� "��#�%������������& ����8.9�������������"��#�� ������ ���%��"���'����������&�%�����#��%������������ �H����� �#��)������������#�%���������%����� �����#�������&������ � ������%���"� �6������#� �"� �%)�I��������J����� % ���� ���������� �#�� %�������������"��#����������� %���#�� �#����%��#����#�'��� �����#�� ���%� ������������#�����2� � ��������� ����% �����������������������������#������ �������%�$��'����� �%���%)������%�������'������ ����% 3� *>�Å5��%�'� ����%�����$������3� *7�Å5�8+9 �H�������#��) �#����������������#�����%���������%�$��'����� �%���%��� � ����� %�����%������%���������� ���� ��%�% ������ ��������) %����������%������������#�%���"�����#���%�%)������ ) �����������%������������& �������$�����������#������#���) ������� ��%������#��� �������� �������� ������ ����������#� $��%��������������� �������� �� ���������������#����� ��#� �#���)� �%���%�����#����������%�I��������J���������� �#�������&����$��%��� � %�� �"��� ����#������%��������� "��#���������� �H�������#�� ��%��%��������������'�) ��� ��%������������������� ��%�%��#������������������� ��� �#�������&������ � ��%��� �%���)���������'�� ���'� %����� �� ����� ������#����� ������� %������"� ����������� �������� $�������"#������������� ��������� ��%�%������ 0� 1���������� (� ���'�%��������%�%#�"����#����������������$������% "��#������������� ����!���� �"�#�����#�������&������ � � %�����#������� ��� �� �����.,,6�,,��K�������%������� ��������� ���%�"��#������ ��# %������� ����� %����%���� �#���#�� ������� �� �����������%��� ����������� � % ���� �����'��I��������J�����#���������� � %�� ����#�����2� � ��������� ����%���������&��������� �%����������%��� ����� �����������"��#� �%���������#���& ��������%��������� �#��%������������)�������%��� ���"� �����#��������� �� ���������������#������%��������������� ���������$��%��� ������� �0#�%� �%��������%���%%��������%����� �������"������ ��������%�����$��%�������$��%��� � %�%������������ �� �����#��#�'������������%)�������� %������#� ��%��%� % "��#���� �'������ �������#� ���� �%���% ,��������� � 1 � �L�%����')�� $ ����2��)�L $ �M#� 2��)�A � �D'��)� � 4 (2� �� N%2 )�$ � � �� �<#���� �O��#���%����� � ���� �#� ��� ������ ���������� ��� � ��� ���%� ���$��%� �� � %� � �"��"��# ��;�����#�%�� �����& � @@������� ������ ��� &������)�P+)� � � �*��> 3�+.�5)� ���4�%%��� * Q �E�'��� )�( �� ��#�<2�'�)�D �M���%2 )� Q �M�'���� �� ���� ����������� ��� ���%� ���� � ������������� �����%��� %������� ����� � ��������%� @@�-7�������� � 8���� �� ���������� �02375) � � �7��� �� 3�+++5 � H O �M� ��#�2)� � � �D �2�'%2 � ������������� � ���� �#� ���� ����%�$��������� ���� ����%� ��� ����� ��# %����� � ��� ���%� �� �����&����$��%� �� � %� @@������ �� ����� �9��:��!����������� . ����9 ������� ��� 0)�P>�,)�� � ����7� 3*,,�5)� ���R2 ������ > 1 � �D� ��N2�')�E �4�2#���' �;��������� ��������� ������������� < ���� ��� ���������������� � SA�ES)�0�%#2���)� �+. )� �7*�� � 3�� 4�%%���5 7 1 L �R����%�')�4 D# ��2�#� �� ��������*������ �� < ���� �� ��=���*&� ��� �&�� >� � SO������ �� �S)�O�%��")� �+.�)� **>� � 3���4�%%���5 � � �<� ��������� ��� �������������� ������� � SO� S)�O�%��") �+.>)� >7 � � � A � � �#�%#� ��� �;��������� ��� ��:� � ����� ��� ������������� � ���� ��� ��� ������� � I�#�����%�J)�D�%#���')� �+�.)� *�,� � � 3�� 4�%%���5 . 1 � �!�����')�1 � �D��� )�! A ����%#�#�2�' �?���������* ������ ��� � ��*� ���� ��� �������� �������� ������� @ ��<�� � SO������ �� �S)��#�� ����%2)� �+.+)� **�� � � 3���4�%%���5 + � � � �� ��N�#��2�)� 1 1 � !�����' �A�B)� ���&������� @ ��* <�� �� SO������ �� �S)�O�%��")� �+.>)� ���� � � 3���4�%%���5