Зображення обкладинки

The simple approach to determination of active diffused phosphorus density in silicon

The diffusion of Phosphorus in silicon using a POCl₃ source has been considered. In the base of Fair-Tsai model of P-diffusion an empirical equation for calculation of active diffused phosphorus density (Qel), is proposed. In this equation, a relationship between (Qel), diffusion time, temperature a...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Дата:	2004
Автор:	Sasani, M.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2004
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/118109
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	The simple approach to determination of active diffused phosphorus density in silicon / M. Sasani // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2004. — Т. 7, № 1. — С. 22-25. — Бібліогр.: 20 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

A simple manifold flow injection analysis for determining phosphorus in presence of arsenate
за авторством: V. Gerez, та інші
Опубліковано: (2014)

A simple manifold flow injection analysis for determining phosphorus in presence of arsenate
за авторством: Gerez, V., та інші
Опубліковано: (2014)

Biological activity of phosphorus and non-phosphorus alkyl glycerolipids
за авторством: S. G. Romanova, та інші
Опубліковано: (2009)

CATALYSIS BY PHOSPHORUS AND SILICON COMPOUNDS IN THE SYNTHESIS OF OXYNAPHTOIC ACID ANILIDES
за авторством: Shteinberg, Leon
Опубліковано: (2023)

A simple and convenient approach to biologically active 4-trifluoromethylnicotinic acid derivatives
за авторством: S. V. Pazenok, та інші
Опубліковано: (2014)

Comparison of the electrophysical properties of silicon crystals doped with phosphorus through the melt and by using the method of nuclear transmutation
за авторством: P. I. Baranskyi, та інші
Опубліковано: (2015)

The Enskog theory for self-diffusion coefficients of simple fluids with continuous potentials
за авторством: Miyazaki, K., та інші
Опубліковано: (2001)

Determination of interface state density in high-k dielectric-silicon system from conductance-frequency measurements
за авторством: Yu. V. Gomeniuk
Опубліковано: (2012)

Determination of interface state density in high-k dielectric-silicon system from conductance-frequency measurements
за авторством: Gomeniuk, Yu.V.
Опубліковано: (2012)

Potential electron scattering by phosphorus atom
за авторством: V. I. Kelemen, та інші
Опубліковано: (2014)

Potential electron scattering by phosphorus atom
за авторством: V. I. Kelemen, та інші
Опубліковано: (2014)

Silicon pad detectors for a simple tracking system and multiplicity detectors creation
за авторством: Bochek, G.L., та інші
Опубліковано: (2001)

Density of the transition probability for one class of generalized diffusion processes
за авторством: Osipchuk, M. M., та інші
Опубліковано: (1998)

Thermal annealing ambiance effect on phosphorus passivation and reactivation mechanisms in silicon-based Schottky diodes hydrogenated by MW-ECR plasma
за авторством: Belfennache, D., та інші
Опубліковано: (2021)

Ways to improve the efficiency of phosphorus nutrition in plants
за авторством: S. M. Hrabchuk, та інші
Опубліковано: (2017)

The interaction of tantal and vanadium with high content of phosphorus
за авторством: Ya. Lomnytska, та інші
Опубліковано: (2019)

The problem of phosphorus in agriculture of Polissya and ways to solve it
за авторством: I. V. Hrynyk, та інші
Опубліковано: (2013)

Simple visual method for determination of logic derivatives of arbitrary orders
за авторством: Ye. Rytsar
Опубліковано: (2013)

Effect of the diffusion temperature on the interaction of clusters with impurity atoms in silicon
за авторством: Saparniyazova, Z.M., та інші
Опубліковано: (2021)

Trifluoropyruvate N-diethoxyphosphorylimine in reactions with phosphorus nucleophiles
за авторством: Yu. V. Rassukana
Опубліковано: (2012)

The role of multicomponent surface diffusion in growth and doping of silicon nanowires
за авторством: Efremov, A., та інші
Опубліковано: (2007)

Efficiency limit for diffusion silicon solar cells at concentrated illumination
за авторством: Gorban, A.P., та інші
Опубліковано: (1999)

New phosphorus-containing polycycles with a spiroamine group
за авторством: A. P. Marchenko, та інші
Опубліковано: (2022)

Investigation of hydrogen adsorption and diffusion in iron clusters by the method of density functional
за авторством: V. I. Pokhmurskyi, та інші
Опубліковано: (2013)

Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation
за авторством: Voznyy, M.V., та інші
Опубліковано: (2000)

Perfect plasticity of metals under simple shear: geometrical approach
за авторством: Beygelzimer, Y., та інші
Опубліковано: (2012)

Acid-base properties of phosphorus-containing carbon adsorbents
за авторством: O. M. Puzii, та інші
Опубліковано: (2012)

The study of the neurotropic activity of the pyrrolopyrimidin-4-ones rearrangement products under the action of phosphorus oxychloride
за авторством: E. V. Zaliznaya, та інші
Опубліковано: (2020)

Low-temperature deposition of silicon dioxide films in high-density plasma
за авторством: A. Yasunas, та інші
Опубліковано: (2013)

Low-temperature deposition of silicon dioxide films in high-density plasma
за авторством: Yasunas, A., та інші
Опубліковано: (2013)

The simple method of vegetable oils and oleochemical products acid value determination
за авторством: S. O. Zubenko
Опубліковано: (2021)

Role of attractive forces in determining the equilibrium structure and dynamics of simple liquids
за авторством: Toxvaerd, S.
Опубліковано: (2015)

Analytical-numerical determination of thermoelastic state of multilayer transtropic bodies with simple geometry
за авторством: I. M. Makhorkin, та інші
Опубліковано: (2016)

Spectrophotometric determination of polyeletrolyte charge density and concentration
за авторством: T. S. Chmilenko, та інші
Опубліковано: (2015)

Effect of phosphorus on the structure of liquid Fe-C alloys
за авторством: V. S. Luchkin, та інші
Опубліковано: (2013)

Modelling of periodic heterostructures based on tin and phosphorus chalcogenides
за авторством: Klevets, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2013)

Self-diffusion of water molecules after contact with silicon-containing compounds
за авторством: V. I. Slisenko, та інші
Опубліковано: (2018)

Study on the structure of phosphorus-containing zeolite anionic nanoporous materials
за авторством: G. P. Tsintskaladze, та інші
Опубліковано: (2022)

Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon
за авторством: Neimash, V.B., та інші
Опубліковано: (2000)

The Effect of Phosphorus Metabolism on the Motion of Saccharomyces cerevisiae Volutin Granules
за авторством: M. S. Kharchuk, та інші
Опубліковано: (2021)