Buchumschlag

High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching

Pits 250 – 300 - nm wide were obtained on the surface of thin organic nanocomposite film using master-disc laser-burning station with 405 nm laser beam focused by 0.85 NA lens. The film with obtained pits was used as a mask for subsequent reactive ion-beam etching of glass...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Datum:	2014
Hauptverfasser:	Gorbov, I.V., Kryuchyn, A.A., Grytsenko, K.P., Manko, D.Yu., Borodin, Yu.O.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2014
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/118350
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching / I.V. Gorbov, A.A. Kryuchyn, K.P. Grytsenko, D.Yu. Manko, Yu.O. Borodin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2014. — Т. 17, № 1. — С. 52-55. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching
von: I. V. Gorbov, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Direct laser writing of microrelief structures on chalcogenide glass by laser beam recorder of master discs
von: Petrov, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Direct laser writing of microrelief structures on chalcogenide glass by laser beam recorder of master discs
von: V. V. Petrov, et al.
Veröffentlicht: (2020)

Synthesis, recording and metrology of laser beams with phase singularities
von: Ivanovskyy, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Modeling of information recording and selective etching processes in inorganic resists
von: Morozovska, A.N., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Formation of neutral atomic beam for dry etching and study its charachteristics
von: A. V. Voznyj, et al.
Veröffentlicht: (2006)

Automated method for determining the etch pits density on crystallographic planes of large semiconductor crystals
von: G. S. Pekar, et al.
Veröffentlicht: (2016)

Control over laser beam intensities in liquid crystal valves when recording dynamic volume gratings
von: V. Mystetskyi, et al.
Veröffentlicht: (2023)

Stamp stress analysis with low temperature nanoimprint lithography
von: Hongwen Sun, et al.
Veröffentlicht: (2016)

TiN coating etching from a surface of the instrument in beam-plasma system
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2000)

System Records High-Density Optical Disks
von: Kosyak, I. V.
Veröffentlicht: (2012)

Photo-thermo-acoustic analysis of heterogeneous semiconductor structures under pulse laser irradiation
von: R. Burbelo, et al.
Veröffentlicht: (2011)

Photo-thermo-acoustic analysis of heterogeneous semiconductor structures under pulse laser irradiation
von: Burbelo, R., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Optical Disc for Long-Term Data Storage Based on Chromium Film
von: Gorbov, I.V., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Investigation of the process of microrelief structures formation in chromium films based on the method of chemical etching
von: A. V. Pankratova, et al.
Veröffentlicht: (2021)

Design of Nanostructured Luminofor Сoating for a Multi-Junction Solar Cell
von: Beliak, Ie.V., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Modes of transillumination of the dense plasma layer via electromagnetic beam
von: Mykhailenko, B.R., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Obtaining porous silicon suitable for sensor technology using MacEtch nonelectrolytic etching
von: I. R. Jatsunskij
Veröffentlicht: (2013)

Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
von: V. A. Danko, et al.
Veröffentlicht: (2015)

Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
von: Dan’ko, V.A., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Design Features for Recording Systems of High Density Optical Discs
von: Kosyak, I. V.
Veröffentlicht: (2014)

The method of constructing memory devices with ultrahigh density of information recording
von: N. I. Khodakovskij
Veröffentlicht: (2019)

Particle beams from laser-irradiated solids at ultrahigh intensities
von: Nerush, E.N., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Using nanosphere lithography for fabrication of a multilayered system of ordered gold nanoparticles
von: V. I. Styopkin, et al.
Veröffentlicht: (2017)

Growth of the photonic nanostruc-tures using interference lithography and oblique deposition in vacuum
von: I. Z. Indutnyi, et al.
Veröffentlicht: (2011)

Fabrication of silicon grating structures using interference lithography and chalcogenide inorganic photoresist
von: Min’ko, V.I., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Using nanosphere lithography for fabrication of a multilayered system of ordered gold nanoparticles
von: Styopkin, V.I., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
von: Dan’ko, V.A., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
von: V. A. Danko, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Impact of aberrations and defocusing of the laser projector on the efficiency of reducing speckle noise
von: Kliuieva, T. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Research status and application of the high-entropy and traditional alloys fabricated via the laser cladding
von: Y. Geng, et al.
Veröffentlicht: (2020)

Beam instability caused by stochastic plasma density fluctuations
von: Buts, A.V., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Initial stage of the beam-plasma discharge in helium: simulation via PIC method
von: Kosarevych, B.P., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Features of mechanical scanning probe lithography on graphene oxide and As(Ge)Se chalcogenide resist
von: P. M. Lytvyn, et al.
Veröffentlicht: (2018)

Features of mechanical scanning probe lithography on graphene oxide and As(Ge)Se chalcogenide resist
von: Lytvyn, P.M., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Photoinduced etching of thin films of chalcogenide glasses
von: V. A. Danko, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Obtaining periodic layers GaAs by electrochemical etching
von: A. F. Djadenchuk, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Recording the high efficient diffraction gratings by using He-Cd laser
von: Kostyukevych, S.A., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Analysis of tungsten spectral-lines recorded from laser-target experiment
von: Tsarenko, A.V., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Formation of radial optical structures on a circular laser recording system
von: Косяк, І. В., et al.
Veröffentlicht: (2024)