Зображення обкладинки

High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching

Pits 250 – 300 - nm wide were obtained on the surface of thin organic nanocomposite film using master-disc laser-burning station with 405 nm laser beam focused by 0.85 NA lens. The film with obtained pits was used as a mask for subsequent reactive ion-beam etching of glass substrate. Finally, 150...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Дата:	2014
Автори:	Gorbov, I.V., Kryuchyn, A.A., Grytsenko, K.P., Manko, D.Yu., Borodin, Yu.O.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2014
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/118350
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching / I.V. Gorbov, A.A. Kryuchyn, K.P. Grytsenko, D.Yu. Manko, Yu.O. Borodin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2014. — Т. 17, № 1. — С. 52-55. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching
за авторством: I. V. Gorbov, та інші
Опубліковано: (2014)

Direct laser writing of microrelief structures on chalcogenide glass by laser beam recorder of master discs
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2020)

Direct laser writing of microrelief structures on chalcogenide glass by laser beam recorder of master discs
за авторством: V. V. Petrov, та інші
Опубліковано: (2020)

Modeling of information recording and selective etching processes in inorganic resists
за авторством: Morozovska, A.N., та інші
Опубліковано: (2005)

Synthesis, recording and metrology of laser beams with phase singularities
за авторством: Ivanovskyy, A.A., та інші
Опубліковано: (2003)

Automated method for determining the etch pits density on crystallographic planes of large semiconductor crystals
за авторством: G. S. Pekar, та інші
Опубліковано: (2016)

Optical Disc for Long-Term Data Storage Based on Chromium Film
за авторством: Gorbov, I.V., та інші
Опубліковано: (2016)

Stamp stress analysis with low temperature nanoimprint lithography
за авторством: Hongwen Sun, та інші
Опубліковано: (2016)

System Records High-Density Optical Disks
за авторством: Kosyak, I. V.
Опубліковано: (2012)

Photo-thermo-acoustic analysis of heterogeneous semiconductor structures under pulse laser irradiation
за авторством: Burbelo, R., та інші
Опубліковано: (2011)

Photo-thermo-acoustic analysis of heterogeneous semiconductor structures under pulse laser irradiation
за авторством: R. Burbelo, та інші
Опубліковано: (2011)

Investigation of the process of microrelief structures formation in chromium films based on the method of chemical etching
за авторством: A. V. Pankratova, та інші
Опубліковано: (2021)

Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2015)

Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Obtaining porous silicon suitable for sensor technology using MacEtch nonelectrolytic etching
за авторством: I. R. Jatsunskij
Опубліковано: (2013)

Features of mechanical scanning probe lithography on graphene oxide and As(Ge)Se chalcogenide resist
за авторством: Lytvyn, P.M., та інші
Опубліковано: (2018)

Design of Nanostructured Luminofor Сoating for a Multi-Junction Solar Cell
за авторством: Beliak, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Optical and magneto-optical properties of thin films for high density information recording
за авторством: Kravets, V.G., та інші
Опубліковано: (2002)

Fabrication of silicon grating structures using interference lithography and chalcogenide inorganic photoresist
за авторством: Min’ko, V.I., та інші
Опубліковано: (2007)

Using nanosphere lithography for fabrication of a multilayered system of ordered gold nanoparticles
за авторством: V. I. Styopkin, та інші
Опубліковано: (2017)

Growth of the photonic nanostruc-tures using interference lithography and oblique deposition in vacuum
за авторством: I. Z. Indutnyi, та інші
Опубліковано: (2011)

Using nanosphere lithography for fabrication of a multilayered system of ordered gold nanoparticles
за авторством: Styopkin, V.I., та інші
Опубліковано: (2017)

The very compact and efficient speckle suppression device for a laser picoprojector
за авторством: Gorbov, I.V., та інші
Опубліковано: (2019)

Design Features for Recording Systems of High Density Optical Discs
за авторством: Kosyak, I. V.
Опубліковано: (2014)

The method of constructing memory devices with ultrahigh density of information recording
за авторством: N. I. Khodakovskij
Опубліковано: (2019)

Formation of neutral atomic beam for dry etching and study its charachteristics
за авторством: A. V. Voznyj, та інші
Опубліковано: (2006)

Recording the high efficient diffraction gratings by using He-Cd laser
за авторством: Kostyukevych, S.A., та інші
Опубліковано: (2004)

Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)

Features of mechanical scanning probe lithography on graphene oxide and As(Ge)Se chalcogenide resist
за авторством: P. M. Lytvyn, та інші
Опубліковано: (2018)

Research status and application of the high-entropy and traditional alloys fabricated via the laser cladding
за авторством: Y. Geng, та інші
Опубліковано: (2020)

Impact of aberrations and defocusing of the laser projector on the efficiency of reducing speckle noise
за авторством: Kliuieva, T. Yu., та інші
Опубліковано: (2020)

Photoinduced etching of thin films of chalcogenide glasses
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)

Obtaining periodic layers GaAs by electrochemical etching
за авторством: A. F. Djadenchuk, та інші
Опубліковано: (2014)

Efficient SERS substrates based on laterally ordered gold nanostructures made using interference lithography
за авторством: O. M. Hreshchuk, та інші
Опубліковано: (2019)

Efficient SERS substrates based on laterally ordered gold nanostructures made using interference lithography
за авторством: Hreshchuk, O.M., та інші
Опубліковано: (2019)

Control over laser beam intensities in liquid crystal valves when recording dynamic volume gratings
за авторством: V. Mystetskyi, та інші
Опубліковано: (2023)

Analysis of tungsten spectral-lines recorded from laser-target experiment
за авторством: Tsarenko, A.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Formation of radial optical structures on a circular laser recording system
за авторством: Косяк, І. В., та інші
Опубліковано: (2024)

TiN coating etching from a surface of the instrument in beam-plasma system
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2000)