Зображення обкладинки

High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching

Pits 250 – 300 - nm wide were obtained on the surface of thin organic nanocomposite film using master-disc laser-burning station with 405 nm laser beam focused by 0.85 NA lens. The film with obtained pits was used as a mask for subsequent reactive ion-beam etching of glass...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Дата:	2014
Автори:	Gorbov, I.V., Kryuchyn, A.A., Grytsenko, K.P., Manko, D.Yu., Borodin, Yu.O.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2014
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/118350
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching / I.V. Gorbov, A.A. Kryuchyn, K.P. Grytsenko, D.Yu. Manko, Yu.O. Borodin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2014. — Т. 17, № 1. — С. 52-55. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching
за авторством: I. V. Gorbov, та інші
Опубліковано: (2014)

Direct laser writing of microrelief structures on chalcogenide glass by laser beam recorder of master discs
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2020)

Direct laser writing of microrelief structures on chalcogenide glass by laser beam recorder of master discs
за авторством: V. V. Petrov, та інші
Опубліковано: (2020)

Synthesis, recording and metrology of laser beams with phase singularities
за авторством: Ivanovskyy, A.A., та інші
Опубліковано: (2003)

Modeling of information recording and selective etching processes in inorganic resists
за авторством: Morozovska, A.N., та інші
Опубліковано: (2005)

Formation of neutral atomic beam for dry etching and study its charachteristics
за авторством: A. V. Voznyj, та інші
Опубліковано: (2006)

Automated method for determining the etch pits density on crystallographic planes of large semiconductor crystals
за авторством: G. S. Pekar, та інші
Опубліковано: (2016)

Аutomated method for determining the etch pits density on crystallographic planes of large semiconductor crystals
за авторством: Pekar, G.S., та інші
Опубліковано: (2016)

Using ion beams for creation of nanostructures on the surface of high-stable materials
за авторством: Gorbov, I.V., та інші
Опубліковано: (2007)

Stamp stress analysis with low temperature nanoimprint lithography
за авторством: Hongwen Sun, та інші
Опубліковано: (2016)

Control over laser beam intensities in liquid crystal valves when recording dynamic volume gratings
за авторством: V. Mystetskyi, та інші
Опубліковано: (2023)

TiN coating etching from a surface of the instrument in beam-plasma system
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2000)

System Records High-Density Optical Disks
за авторством: Kosyak, I. V.
Опубліковано: (2012)

Photo-thermo-acoustic analysis of heterogeneous semiconductor structures under pulse laser irradiation
за авторством: R. Burbelo, та інші
Опубліковано: (2011)

Photo-thermo-acoustic analysis of heterogeneous semiconductor structures under pulse laser irradiation
за авторством: Burbelo, R., та інші
Опубліковано: (2011)

Investigation of the process of microrelief structures formation in chromium films based on the method of chemical etching
за авторством: A. V. Pankratova, та інші
Опубліковано: (2021)

Optical Disc for Long-Term Data Storage Based on Chromium Film
за авторством: Gorbov, I.V., та інші
Опубліковано: (2016)

Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2015)

Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Obtaining porous silicon suitable for sensor technology using MacEtch nonelectrolytic etching
за авторством: I. R. Jatsunskij
Опубліковано: (2013)

Design of Nanostructured Luminofor Сoating for a Multi-Junction Solar Cell
за авторством: Beliak, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Modes of transillumination of the dense plasma layer via electromagnetic beam
за авторством: Mykhailenko, B.R., та інші
Опубліковано: (2021)

Distribution of the beam density at the target of subcritical facility "Neutron Source"
за авторством: Karnaukhov, I.M., та інші
Опубліковано: (2021)

Revealing the morphological peculiarities of Y₃Al₅O₁₂:Nd laser ceramics by ion beam sputtering
за авторством: Vovk, O.M., та інші
Опубліковано: (2013)

Using nanosphere lithography for fabrication of a multilayered system of ordered gold nanoparticles
за авторством: V. I. Styopkin, та інші
Опубліковано: (2017)

Growth of the photonic nanostruc-tures using interference lithography and oblique deposition in vacuum
за авторством: I. Z. Indutnyi, та інші
Опубліковано: (2011)

Fabrication of silicon grating structures using interference lithography and chalcogenide inorganic photoresist
за авторством: Min’ko, V.I., та інші
Опубліковано: (2007)

Using nanosphere lithography for fabrication of a multilayered system of ordered gold nanoparticles
за авторством: Styopkin, V.I., та інші
Опубліковано: (2017)

Design Features for Recording Systems of High Density Optical Discs
за авторством: Kosyak, I. V.
Опубліковано: (2014)

The method of constructing memory devices with ultrahigh density of information recording
за авторством: N. I. Khodakovskij
Опубліковано: (2019)

Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)

Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Particle beams from laser-irradiated solids at ultrahigh intensities
за авторством: Nerush, E.N., та інші
Опубліковано: (2013)

Impact of aberrations and defocusing of the laser projector on the efficiency of reducing speckle noise
за авторством: Kliuieva, T. Yu., та інші
Опубліковано: (2020)

Features of mechanical scanning probe lithography on graphene oxide and As(Ge)Se chalcogenide resist
за авторством: P. M. Lytvyn, та інші
Опубліковано: (2018)

Features of mechanical scanning probe lithography on graphene oxide and As(Ge)Se chalcogenide resist
за авторством: Lytvyn, P.M., та інші
Опубліковано: (2018)

Recording of high efficiency diffraction gratings by He-Ne laser
за авторством: Min'ko, V.I., та інші
Опубліковано: (2004)

Research status and application of the high-entropy and traditional alloys fabricated via the laser cladding
за авторством: Y. Geng, та інші
Опубліковано: (2020)

Beam instability caused by stochastic plasma density fluctuations
за авторством: Buts, A.V., та інші
Опубліковано: (2000)

Initial stage of the beam-plasma discharge in helium: simulation via PIC method
за авторством: Kosarevych, B.P., та інші
Опубліковано: (2013)