Зображення обкладинки

Variation of optical parameters of multilayer structures with thin silicon layers at laser annealing

The experimental data on Raman scattering (RS) and optical absorption in structures with thin silicon layers on various substrates, as well as in multilayer quartz/Si/SiO₂, SiC/Si/SiO₂ and glass/Si₃N₄/Si/SiO₂ structures, are summarized. It is shown that laser annealing on...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Дата:	2014
Автор:	Okhrimenko, O.B.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2014
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/118373
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Variation of optical parameters of multilayer structures with thin silicon layers at laser annealing / O.B. Okhrimenko // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2014. — Т. 17, № 2. — С. 200-204. — Бібліогр.: 13 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Variation of optical parameters of multilayer structures with thin silicon layers at laser annealing
за авторством: O. B. Okhrimenko
Опубліковано: (2014)

Optical properties of thin erbium oxide films formed by rapid thermal annealing on SiC substrates with different structures
за авторством: Bacherikov, Yu.Yu., та інші
Опубліковано: (2017)

Optical properties of thin erbium oxide films formed by rapid thermal annealing on SiC substrates with different structures
за авторством: Yu. Yu. Bacherikov, та інші
Опубліковано: (2017)

Structural transformation in C/Si multilayer after annealing
за авторством: I. O. Zhuravel, та інші
Опубліковано: (2012)

Structural transformation in C/Si multilayer after annealing
за авторством: Zhuravel, I.O., та інші
Опубліковано: (2012)

Optical studies of as-deposited and annealed Cu₇GeS₅I thin films
за авторством: Studenyak, I.P., та інші
Опубліковано: (2016)

Influence of high temperature annealing on the structure and the intrinsic absorption edge of thin-film silicon doped with tin
за авторством: R. M. Rudenko, та інші
Опубліковано: (2013)

Influence of high temperature annealing on the structure and the intrinsic absorption edge of thin-film silicon doped with tin
за авторством: R. M. Rudenko, та інші
Опубліковано: (2013)

Optical parameters of As-deposited and annealed (Ga0.3In0.7)2Se3 thin films
за авторством: M. Pop, та інші
Опубліковано: (2021)

Optical parameters of As-deposited and annealed (Ga0.3In0.7)2Se3 thin films
за авторством: M. Pop, та інші
Опубліковано: (2021)

The impact of low temperature thermal annealing on optical properties of thin composite films
за авторством: Gorbov, I. V., та інші
Опубліковано: (2014)

Hydrogen plasma treatment of silicon thin-film structures and nanostructured layers
за авторством: Nazarov, A.N., та інші
Опубліковано: (2008)

Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing
за авторством: Konotopsky, L.E., та інші
Опубліковано: (2017)

Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing
за авторством: Konotopsky, L.E., та інші
Опубліковано: (2018)

Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate
за авторством: Chafia Atailia, та інші
Опубліковано: (2018)

Effect of buffer layer of porous silicon carbide on the interface with the oxide layer (review)
за авторством: O. B. Okhrimenko
Опубліковано: (2012)

Optical studies of as-deposited and annealed Cu7GeS5I thin films
за авторством: I. P. Studenyak, та інші
Опубліковано: (2016)

Thin dysprosium oxide films formed by rapid thermal annealing on porous SiC substrates
за авторством: Bacherikov, Yu.Yu., та інші
Опубліковано: (2018)

Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering
за авторством: I. M. Vikulin, та інші
Опубліковано: (2018)

Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering
за авторством: Vikulin, I.M., та інші
Опубліковано: (2018)

Influence of laser light on the formation and properties of silicon nanocrystals in a-Si/Sn layered structures
за авторством: V. B. Neimash, та інші
Опубліковано: (2019)

Influence of laser light on the formation and properties of silicon nanocrystals in a-Si/Sn layered structures
за авторством: V. B. Neimash, та інші
Опубліковано: (2019)

Formation of silicon nanoclusters in buried ultra-thin oxide layers
за авторством: Oberemok, O.S., та інші
Опубліковано: (2011)

Formation of silicon nanoclusters in buried ultra-thin oxide layers
за авторством: O. S. Oberemok, та інші
Опубліковано: (2011)

Hydrogen gettering in annealed oxygen-implanted silicon
за авторством: A. Misiuk, та інші
Опубліковано: (2010)

Hydrogen gettering in annealed oxygen-implanted silicon
за авторством: Misiuk, A., та інші
Опубліковано: (2010)

Polarization-singular structure in laser images of phase-inhomogeneous layers to diagnose and classify their optical properties
за авторством: Ushenko, Yu.O., та інші
Опубліковано: (2010)

Polarization-singular structure in laser images of phase-inhomogeneous layers to diagnose and classify their optical properties
за авторством: Yu. O. Ushenko, та інші
Опубліковано: (2010)

Optical properties of thin films of titanium with transient layers on them
за авторством: V. V. Lendel, та інші
Опубліковано: (2010)

Optical properties of thin films of titanium with transient layers on them
за авторством: Lendel, V.V., та інші
Опубліковано: (2010)

Temperature and laser annealing of nonstoichiometric SiOx films
за авторством: O. O. Havryliuk, та інші
Опубліковано: (2013)

Optical recording of information pits in thin layers of chalcogenide semiconductors
за авторством: Morozovska, A.N., та інші
Опубліковано: (2004)

Development and optical characteristics of the macroporous silicon structures
за авторством: Karachevtseva, L.A., та інші
Опубліковано: (2000)

Explore optimal parameters three-layer optical structures at an angle of incidence of the light
за авторством: O. V. Mitsa, та інші
Опубліковано: (2014)

Pressure-induced transformations during annealing of silicon implanted with oxygen
за авторством: Misiuk, A., та інші
Опубліковано: (2006)

Optical absorption and refractive properties of annealed thin films of Cu6PS5I superionic conductor
за авторством: I. P. Studeniak, та інші
Опубліковано: (2012)

Thin dysprosium oxide films formed by rapid thermal annealing on porous SiC substrates
за авторством: Yu. Yu. Bacherikov, та інші
Опубліковано: (2018)

Laser-stimulated phase transformations in thin SiOx and CNx–Ni layers
за авторством: L. L. Fedorenko, та інші
Опубліковано: (2018)

Measurement of the Laser Impulse Parameters of Gauss Beam with Thin-Wire Bolometers
за авторством: Kuzmichov, V. M., та інші
Опубліковано: (2013)

Temperature studies of optical parameters in (Ag₃AsS₃)₀.₆(As₂S₃)₀.₄ thin films
за авторством: Studenyak, I.P., та інші
Опубліковано: (2015)