Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
The new effect of photostimulated dissolution of as-evaporated and annealed
 Ge-based chalcogenide glass (ChG) films was investigated in detail. The etching rate
 increases with the illumination intensity, and its spectral dependence is correlated with
 absorption in the film...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| Автори: | Dan’ko, V.A., Indutnyi, I.Z., Myn’ko, V.I., Shepeliavyi, P.E., Lukyanyuk, M.V., Litvin, O.S. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2012
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/118724 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Photostimulated etching of germanium chalcogenide films / V.A. Dan’ko, I.Z. Indutnyi, V.I. Myn’ko, P.E. Shepeliavyi, M.V. Lukyanyuk, O.S. Litvin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2012. — Т. 15, № 4. — С. 345-350. — Бібліогр.: 27 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)
Photoinduced etching of thin films of chalcogenide glasses
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)
The effect of surface plasmon-polaritons on the photostimulated diffusion in light-sensitive Ag–As₄Ge₃₀S₆₆ structures
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (2021)
Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)
Fabrication of silicon grating structures using interference lithography and chalcogenide inorganic photoresist
за авторством: Min’ko, V.I., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Min’ko, V.I., та інші
Опубліковано: (2007)
Photostimulated reversible changes in the Ge-Se films as a base of resistive process
за авторством: I. V. Babiichuk, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: I. V. Babiichuk, та інші
Опубліковано: (2014)
Photolithography on photostimulated reversible and transient structural changes in CHG
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2015)
Control of plasmons excitation by P- and S-polarized light in gold nanowire gratings by azimuthal angle variation
за авторством: Dan'ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Dan'ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)
Nickel-induced enhancement of photoluminescence in nc-Si–SiOx nanostructures
за авторством: Michailovska, K.V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Michailovska, K.V., та інші
Опубліковано: (2014)
Recording of high efficiency diffraction gratings by He-Ne laser
за авторством: Min'ko, V.I., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Min'ko, V.I., та інші
Опубліковано: (2004)
Raman spectra of Ag- and Cu- photodoped chalcogenide films
за авторством: Stronski, A.V., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Stronski, A.V., та інші
Опубліковано: (1999)
Effect of chemical and radiofrequency plasma treatment on photoluminescence of SiOx films
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2006)
Formation of laterally ordered arrays of noble metal nanocavities for SERS substrates by using interference photolithography
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2021)
Optical study of thermally induced phase separation in evaporated SiOx films
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2004)
High-speed optical recording in vitreous chalcogenide thin films
за авторством: Kryuchyn, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Kryuchyn, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)
Relaxation of photodarkening in SiO-As₂(S,Se)₃ composite layers
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (1999)
Enhancing sensitivity of SPR sensors using nanostructured Au chips coated with functional plasma polymer nanofilms
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (2017)
Effect of acetone vapor treatment on photoluminescence of porous nc-Si–SiOx nanostructures
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (2009)
Polarization conversion effect in obliquely deposited SiOx films
за авторством: Sopinskyy, M.V., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Sopinskyy, M.V., та інші
Опубліковано: (2011)
Photostimulated Ga diffusion in zinc sulfide
за авторством: Bacherikov, Yu.Yu., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Bacherikov, Yu.Yu., та інші
Опубліковано: (2004)
Thermochemical etching of sapphire in CO+H₂ gas atmosphere
за авторством: Kaltaev, Kh.Sh.-ogly, та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Kaltaev, Kh.Sh.-ogly, та інші
Опубліковано: (2010)
Photostimulated passivation of spectrometric CdZnTe detectors
за авторством: Zagoruiko, Yu.A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Zagoruiko, Yu.A., та інші
Опубліковано: (2008)
Resistance thermometers based on the germanium films
за авторством: Mitin, V.F.
Опубліковано: (1999)
за авторством: Mitin, V.F.
Опубліковано: (1999)
Laser ablation and photostimulated passivation of Cd₁₋ₓZnₓTe crystals
за авторством: Zagoruiko, Yu.A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Zagoruiko, Yu.A., та інші
Опубліковано: (2012)
Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2015)
High-speed optical recording in vitreous chalcogenide thin films
за авторством: A. A. Kryuchyn, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: A. A. Kryuchyn, та інші
Опубліковано: (2014)
Doping the thin films by using the original Close Space Sublimation method
за авторством: Khomchenko, V.S., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Khomchenko, V.S., та інші
Опубліковано: (2020)
Controlling the photoluminescence spectra of porous nc-Si–SiOx structures by vapor treatment
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Features of mechanical scanning probe lithography on graphene oxide and As(Ge)Se chalcogenide resist
за авторством: Lytvyn, P.M., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Lytvyn, P.M., та інші
Опубліковано: (2018)
Photometric monitoring of etching rate of thin dielectric films
за авторством: S. E. Semenova, та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: S. E. Semenova, та інші
Опубліковано: (2006)
Automation of measurements of the rate of thin films chemical etching
за авторством: Іваницький, В. П., та інші
Опубліковано: (2024)
за авторством: Іваницький, В. П., та інші
Опубліковано: (2024)
Hot wall growth and properties of lead telluride films doped by germanium and gallium
за авторством: Lashkarev, G.V., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Lashkarev, G.V., та інші
Опубліковано: (2000)
Influence of germanium sublayers on the structure of gold films with nanometer thickness
за авторством: R. I. Bihun, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: R. I. Bihun, та інші
Опубліковано: (2015)
Impact of germanium sublayer on percolation process in palladium thin films
за авторством: R. I. Bihun, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: R. I. Bihun, та інші
Опубліковано: (2012)
Influence of intensive etching processes on structure and properties of carbon nitride films
за авторством: Shalaev, R.V., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Shalaev, R.V., та інші
Опубліковано: (2008)
Effect of interaction in systems ytterbium chalcospinel—germanium on properties of thin-film coatings
за авторством: V. F. Zinchenko, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: V. F. Zinchenko, та інші
Опубліковано: (2015)
Using non-organic resist based on As-S-Se chalcogenide glasses for combined optical/digital security devices
за авторством: Kostyukevych, S.A., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Kostyukevych, S.A., та інші
Опубліковано: (2001)
Modelling of periodic heterostructures based on tin and phosphorus chalcogenides
за авторством: Klevets, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Klevets, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2013)
FEATURES OF OPERATION OF A SUPERCONDUCTING CURRENT LIMITER AT THE SUDDEN SHORT CIRCUIT
за авторством: Dan'ko, V. G., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Dan'ko, V. G., та інші
Опубліковано: (2014)
Technology optimization of the chloride treatment of cadmium chalcogenide thin films
за авторством: N. M. Kharchenko, та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: N. M. Kharchenko, та інші
Опубліковано: (2008)
Схожі ресурси
-
Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012) -
Photoinduced etching of thin films of chalcogenide glasses
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012) -
The effect of surface plasmon-polaritons on the photostimulated diffusion in light-sensitive Ag–As₄Ge₃₀S₆₆ structures
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (2021) -
Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2015) -
Fabrication of silicon grating structures using interference lithography and chalcogenide inorganic photoresist
за авторством: Min’ko, V.I., та інші
Опубліковано: (2007)