Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
The new effect of photostimulated dissolution of as-evaporated and annealed Ge-based chalcogenide glass (ChG) films was investigated in detail. The etching rate increases with the illumination intensity, and its spectral dependence is correlated with absorption in the film at the absorption edge....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| Автори: | Dan’ko, V.A., Indutnyi, I.Z., Myn’ko, V.I., Shepeliavyi, P.E., Lukyanyuk, M.V., Litvin, O.S. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2012
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/118724 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Photostimulated etching of germanium chalcogenide films / V.A. Dan’ko, I.Z. Indutnyi, V.I. Myn’ko, P.E. Shepeliavyi, M.V. Lukyanyuk, O.S. Litvin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2012. — Т. 15, № 4. — С. 345-350. — Бібліогр.: 27 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)
Photoinduced etching of thin films of chalcogenide glasses
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)
Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)
Fabrication of silicon grating structures using interference lithography and chalcogenide inorganic photoresist
за авторством: Min’ko, V.I., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Min’ko, V.I., та інші
Опубліковано: (2007)
Photostimulated reversible changes in the Ge-Se films as a base of resistive process
за авторством: I. V. Babiichuk, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: I. V. Babiichuk, та інші
Опубліковано: (2014)
Photolithography on photostimulated reversible and transient structural changes in CHG
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2015)
Control of plasmons excitation by P- and S-polarized light in gold nanowire gratings by azimuthal angle variation
за авторством: Dan'ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Dan'ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)
Nickel-induced enhancement of photoluminescence in nc-Si–SiOx nanostructures
за авторством: Michailovska, K.V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Michailovska, K.V., та інші
Опубліковано: (2014)
Effect of chemical and radiofrequency plasma treatment on photoluminescence of SiOx films
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2006)
Optical study of thermally induced phase separation in evaporated SiOx films
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2004)
High-speed optical recording in vitreous chalcogenide thin films
за авторством: Kryuchyn, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Kryuchyn, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)
Relaxation of photodarkening in SiO-As₂(S,Se)₃ composite layers
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (1999)
Enhancing sensitivity of SPR sensors using nanostructured Au chips coated with functional plasma polymer nanofilms
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (2017)
Effect of acetone vapor treatment on photoluminescence of porous nc-Si–SiOx nanostructures
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Indutnyi, I.Z., та інші
Опубліковано: (2009)
Photostimulated Ga diffusion in zinc sulfide
за авторством: Bacherikov, Yu.Yu., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Bacherikov, Yu.Yu., та інші
Опубліковано: (2004)
Polarization conversion effect in obliquely deposited SiOx films
за авторством: Sopinskyy, M.V., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Sopinskyy, M.V., та інші
Опубліковано: (2011)
Thermochemical etching of sapphire in CO+H₂ gas atmosphere
за авторством: Kaltaev, Kh.Sh.-ogly, та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Kaltaev, Kh.Sh.-ogly, та інші
Опубліковано: (2010)
Photostimulated passivation of spectrometric CdZnTe detectors
за авторством: Zagoruiko, Yu.A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Zagoruiko, Yu.A., та інші
Опубліковано: (2008)
Laser ablation and photostimulated passivation of Cd₁₋ₓZnₓTe crystals
за авторством: Zagoruiko, Yu.A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Zagoruiko, Yu.A., та інші
Опубліковано: (2012)
Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2015)
Doping the thin films by using the original Close Space Sublimation method
за авторством: Khomchenko, V.S., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Khomchenko, V.S., та інші
Опубліковано: (2020)
Resistance thermometers based on the germanium films
за авторством: Mitin, V.F.
Опубліковано: (1999)
за авторством: Mitin, V.F.
Опубліковано: (1999)
High-speed optical recording in vitreous chalcogenide thin films
за авторством: A. A. Kryuchyn, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: A. A. Kryuchyn, та інші
Опубліковано: (2014)
Features of mechanical scanning probe lithography on graphene oxide and As(Ge)Se chalcogenide resist
за авторством: Lytvyn, P.M., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Lytvyn, P.M., та інші
Опубліковано: (2018)
Photometric monitoring of etching rate of thin dielectric films
за авторством: S. E. Semenova, та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: S. E. Semenova, та інші
Опубліковано: (2006)
Automation of measurements of the rate of thin films chemical etching
за авторством: Іваницький, В. П., та інші
Опубліковано: (2024)
за авторством: Іваницький, В. П., та інші
Опубліковано: (2024)
Hot wall growth and properties of lead telluride films doped by germanium and gallium
за авторством: Lashkarev, G.V., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Lashkarev, G.V., та інші
Опубліковано: (2000)
Influence of germanium sublayers on the structure of gold films with nanometer thickness
за авторством: R. I. Bihun, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: R. I. Bihun, та інші
Опубліковано: (2015)
Impact of germanium sublayer on percolation process in palladium thin films
за авторством: R. I. Bihun, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: R. I. Bihun, та інші
Опубліковано: (2012)
Influence of intensive etching processes on structure and properties of carbon nitride films
за авторством: Shalaev, R.V., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Shalaev, R.V., та інші
Опубліковано: (2008)
FEATURES OF OPERATION OF A SUPERCONDUCTING CURRENT LIMITER AT THE SUDDEN SHORT CIRCUIT
за авторством: Dan'ko, V. G., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Dan'ko, V. G., та інші
Опубліковано: (2014)
Characterization of quaternary chalcogenide As-Ge-Te-Si thin films
за авторством: Amer, H.H., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Amer, H.H., та інші
Опубліковано: (2011)
Technology optimization of the chloride treatment of cadmium chalcogenide thin films
за авторством: N. M. Kharchenko, та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: N. M. Kharchenko, та інші
Опубліковано: (2008)
Characterization of quaternary chalcogenide As-Ge-Te-Si thin films
за авторством: H. H. Amer, та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: H. H. Amer, та інші
Опубліковано: (2011)
Using non-organic resist based on As-S-Se chalcogenide glasses for combined optical/digital security devices
за авторством: Kostyukevych, S.A., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Kostyukevych, S.A., та інші
Опубліковано: (2001)
Effect of interaction in systems ytterbium chalcospinel—germanium on properties of thin-film coatings
за авторством: V. F. Zinchenko, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: V. F. Zinchenko, та інші
Опубліковано: (2015)
Application of spin-coated chalcogenide films: manufacturing, properties, applicationS (review)
за авторством: L. O. Revutska, та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: L. O. Revutska, та інші
Опубліковано: (2018)
Optical recording of information pits in thin layers of chalcogenide semiconductors
за авторством: Morozovska, A.N., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Morozovska, A.N., та інші
Опубліковано: (2004)
Investigation of the process of microrelief structures formation in chromium films based on the method of chemical etching
за авторством: A. V. Pankratova, та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: A. V. Pankratova, та інші
Опубліковано: (2021)
Preparation methods for nano-sized structures using films of chalcogenide glassy semiconductors
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2016)
Схожі ресурси
-
Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012) -
Photoinduced etching of thin films of chalcogenide glasses
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012) -
Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2015) -
Fabrication of silicon grating structures using interference lithography and chalcogenide inorganic photoresist
за авторством: Min’ko, V.I., та інші
Опубліковано: (2007) -
Photostimulated reversible changes in the Ge-Se films as a base of resistive process
за авторством: I. V. Babiichuk, та інші
Опубліковано: (2014)