Зображення обкладинки

Hydrogen plasma treatment of silicon thin-film structures and nanostructured layers

The review concentrates on the analysis of the RF hydrogen plasma effect on thin-film metal-dioxide-silicon and silicon-dioxide silicon structures which are a modern basis of micro- and nanoelectronics. The especial attention is paid to athermic mechanisms of transforma...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Дата:	2008
Автори:	Nazarov, A.N., Lysenko, V.S., Nazarova, T.M.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/118855
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Hydrogen plasma treatment of silicon thin-film structures and nanostructured layers / A.N. Nazarov, V.S. Lysenko, T.M. Nazarova // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2008. — Т. 11, № 2. — С. 101-123. — Бібліогр.: 143 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Effect of cold plasma treatment on the hydrogen sorption by carbon nanostructures
за авторством: A. V. Dolbin, та інші
Опубліковано: (2018)

Optoelectronic properties of hydrogenated amorphous silicon–carbon and nanocrystalline-silicon thin films
за авторством: B. A. Najafov, та інші
Опубліковано: (2013)

Optoelectronic properties of hydrogenated amorphous silicon–carbon and nanocrystalline-silicon thin films
за авторством: B. A. Nadzhafov, та інші
Опубліковано: (2013)

Behavior of hydrogen during crystallization of thin silicon films doped with tin
за авторством: R. M. Rudenko, та інші
Опубліковано: (2013)

Behavior of hydrogen during crystallization of thin silicon films doped with tin
за авторством: R. M. Rudenko, та інші
Опубліковано: (2013)

Modification of electroluminescence and charge trapping in germanium implanted metal-oxide-silicon light-emitting diodes with plasma treatment
за авторством: Nazarov, A.N., та інші
Опубліковано: (2005)

Absorption of hydrogen by thin films
за авторством: V. V. Vlasov, та інші
Опубліковано: (2015)

Enhancement of CdSSe QD exciton luminescence efficiency by hydrogen RF plasma treatment
за авторством: Kunets, V.P., та інші
Опубліковано: (2003)

Relaxation of photovoltage in ITO-Ge-Si heterojunction with Ge nanostructured thin films
за авторством: Iliash, S.A., та інші
Опубліковано: (2017)

Functionalization and nanostructurization of surface layers of porous silicon
за авторством: Ye. I. Zubko
Опубліковано: (2013)

Effect of chemical and radiofrequency plasma treatment on photoluminescence of SiOx films
за авторством: Indutnyy, I.Z., та інші
Опубліковано: (2006)

Manufacturing and investigation of thin-film aluminium-alumina nanostructures
за авторством: T. S. Lebiedieva, та інші
Опубліковано: (2018)

Effect of tin on structural transformations in the thin-film silicon suboxide matrix
за авторством: V. V. Voitovych, та інші
Опубліковано: (2016)

Effect of tin on structural transformations in the thin-film silicon suboxide matrix
за авторством: V. V. Voitovych, та інші
Опубліковано: (2016)

Relaxation of photovoltage in ITO-Ge-Si heterojunction with Ge nanostructured thin films
за авторством: S. A. Iliash, та інші
Опубліковано: (2017)

Microwave response of nanostructured High-Tc superconductor thin films
за авторством: P. A. Borisenko, та інші
Опубліковано: (2019)

Microwave response of nanostructured High-Tc superconductor thin films
за авторством: P. A. Borisenko, та інші
Опубліковано: (2019)

Variation of optical parameters of multilayer structures with thin silicon layers at laser annealing
за авторством: O. B. Okhrimenko
Опубліковано: (2014)

Variation of optical parameters of multilayer structures with thin silicon layers at laser annealing
за авторством: Okhrimenko, O.B.
Опубліковано: (2014)

Influence of plasma treatment on erosion haracteristics and structure of reversible hydrogen getters
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2000)

Structural-phase changes in thin films and surface layers of Ti41.5Zr41.5Ni17 alloy, stimulated by radiation-thermal impact of hydrogen plasma
за авторством: Malykhin, S.V., та інші
Опубліковано: (2019)

Structure and electroluminescent properties of thin tetracene layers on gold island films
за авторством: L. Viduta, та інші
Опубліковано: (2012)

Structure and electroluminescent properties of thin tetracene layers on gold island films
за авторством: L. Viduta, та інші
Опубліковано: (2012)

Study of nanostructured layers of single-crystal silicon by scanning tunnel spectroscopy
за авторством: Kulyk, S.P., та інші
Опубліковано: (2008)

Vortex molecules in thin films of layered superconductors
за авторством: A. V. Samokhvalov, та інші
Опубліковано: (2018)

Vortex molecules in thin films of layered superconductors
за авторством: Samokhvalov, A.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Revision of interface coupling in ultra-thin body silicon-on-insulator MOSFETs
за авторством: T. Rudenko, та інші
Опубліковано: (2013)

Revision of interface coupling in ultra-thin body silicon-on-insulator MOSFETs
за авторством: Rudenko, T., та інші
Опубліковано: (2013)

Doping by silicon and photovoltaic properties of thin thulium sesquisulfide films
за авторством: Z. U. Dzhabua, та інші
Опубліковано: (2014)

Formation of silicon nanoclusters in buried ultra-thin oxide layers
за авторством: O. S. Oberemok, та інші
Опубліковано: (2011)

Formation of silicon nanoclusters in buried ultra-thin oxide layers
за авторством: Oberemok, O.S., та інші
Опубліковано: (2011)

Influence of nanostructured ITO films on surface recombination processes in silicon solar cells
за авторством: V. P. Kostylyov, та інші
Опубліковано: (2015)

Influence of nanostructured ITO films on surface recombination processes in silicon solar cells
за авторством: Kostylyov, V.P., та інші
Опубліковано: (2015)

Structural properties, photoelectric and photoluminescent characteristics of nanostructured silicon
за авторством: A. I. Luchenko, та інші
Опубліковано: (2012)

Structural properties, photoelectric and photoluminescent characteristics of nanostructured silicon
за авторством: Luchenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2012)

Hydrogen saturation influence on erosion behavior of thin W-films under steady state nitrogen plasma impact
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2005)

Thin Surface Layer of Plasma Treated Polyethylene
за авторством: Kotal, V., та інші
Опубліковано: (2008)

Technology optimization of the chloride treatment of cadmium chalcogenide thin films
за авторством: N. M. Kharchenko, та інші
Опубліковано: (2008)

Influence of traps in gate oxide-Si film transition layers on FD MOSFET's characteristics at cryogenic emperatures
за авторством: Lysenko, V.S., та інші
Опубліковано: (2007)

Crystal structure, phase state, and magnetoresistive properties of nanostructured thin-film systems based on permalloy and noble metals
за авторством: I. M. Pazukha, та інші
Опубліковано: (2022)