Konakova, R., Kladko, V., Lytvyn, O., Okhrimenko, O., Konoplev, B., Svetlichnyi, A., & Lissotschenko, V. (2009). Modification of properties of the glass-Si₃N₄-Si-SiO₂ structure at laser treatment. Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Konakova, R.V, V.P Kladko, O.S Lytvyn, O.B Okhrimenko, B.G Konoplev, A.M Svetlichnyi, und V.N Lissotschenko. "Modification of Properties of the Glass-Si₃N₄-Si-SiO₂ Structure at Laser Treatment." Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics 2009.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Konakova, R.V, et al. "Modification of Properties of the Glass-Si₃N₄-Si-SiO₂ Structure at Laser Treatment." Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics, 2009.
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