Electronic properties of silicon surface at different oxide film conditions

We used measurements of temperature and electric field dependencies of surface photovoltage to study electronic properties of (100) n-silicon surface after its thermal and chemical oxidation, as well as after oxide films removal in HF. Measurements of surface photovoltage vs temperature curves revea...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2001
Hauptverfasser: Kirillova, S.I., Primachenko, V.E., Venger, E.F., Chernobai, V.A.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Schriftenreihe:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119235
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Electronic properties of silicon surface at different oxide film conditions / S.I. Kirillova, V.E. Primachenko, E.F. Venger, V.A. Chernobai // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 1. — С. 12-18. — Бібліогр.: 29 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-119235
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1192352025-02-09T20:39:41Z Electronic properties of silicon surface at different oxide film conditions Kirillova, S.I. Primachenko, V.E. Venger, E.F. Chernobai, V.A. We used measurements of temperature and electric field dependencies of surface photovoltage to study electronic properties of (100) n-silicon surface after its thermal and chemical oxidation, as well as after oxide films removal in HF. Measurements of surface photovoltage vs temperature curves revealed two peaks of the fast surface electron states (SES) density. They lie in the gap in the region of Pb₀₋ and Pb₁₋centers manifestation. The parameters of SES systems that were determined from the surface photovoltage vs electric field curves differ substantially from those determined from the temperature dependencies of surface photovoltage. They depend on the silicon surface condition, material resistivity and temperature at which the measurements were made. This is because the SES systems in oxide films (that exchange electrons with silicon via transport mechanisms) affect the measurements of electric field dependence of surface photovoltage. Remove selected The authors are grateful to V.Ya. Bratus and V.G. Litovchenko for valua le discussion of this work. 2001 Article Electronic properties of silicon surface at different oxide film conditions / S.I. Kirillova, V.E. Primachenko, E.F. Venger, V.A. Chernobai // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 1. — С. 12-18. — Бібліогр.: 29 назв. — англ. 1560-8034 PACS : 72.40, 73.20 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119235 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
description We used measurements of temperature and electric field dependencies of surface photovoltage to study electronic properties of (100) n-silicon surface after its thermal and chemical oxidation, as well as after oxide films removal in HF. Measurements of surface photovoltage vs temperature curves revealed two peaks of the fast surface electron states (SES) density. They lie in the gap in the region of Pb₀₋ and Pb₁₋centers manifestation. The parameters of SES systems that were determined from the surface photovoltage vs electric field curves differ substantially from those determined from the temperature dependencies of surface photovoltage. They depend on the silicon surface condition, material resistivity and temperature at which the measurements were made. This is because the SES systems in oxide films (that exchange electrons with silicon via transport mechanisms) affect the measurements of electric field dependence of surface photovoltage. Remove selected
format Article
author Kirillova, S.I.
Primachenko, V.E.
Venger, E.F.
Chernobai, V.A.
spellingShingle Kirillova, S.I.
Primachenko, V.E.
Venger, E.F.
Chernobai, V.A.
Electronic properties of silicon surface at different oxide film conditions
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
author_facet Kirillova, S.I.
Primachenko, V.E.
Venger, E.F.
Chernobai, V.A.
author_sort Kirillova, S.I.
title Electronic properties of silicon surface at different oxide film conditions
title_short Electronic properties of silicon surface at different oxide film conditions
title_full Electronic properties of silicon surface at different oxide film conditions
title_fullStr Electronic properties of silicon surface at different oxide film conditions
title_full_unstemmed Electronic properties of silicon surface at different oxide film conditions
title_sort electronic properties of silicon surface at different oxide film conditions
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2001
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119235
citation_txt Electronic properties of silicon surface at different oxide film conditions / S.I. Kirillova, V.E. Primachenko, E.F. Venger, V.A. Chernobai // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 1. — С. 12-18. — Бібліогр.: 29 назв. — англ.
series Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
work_keys_str_mv AT kirillovasi electronicpropertiesofsiliconsurfaceatdifferentoxidefilmconditions
AT primachenkove electronicpropertiesofsiliconsurfaceatdifferentoxidefilmconditions
AT vengeref electronicpropertiesofsiliconsurfaceatdifferentoxidefilmconditions
AT chernobaiva electronicpropertiesofsiliconsurfaceatdifferentoxidefilmconditions
first_indexed 2025-11-30T14:08:37Z
last_indexed 2025-11-30T14:08:37Z
_version_ 1850224645249171456
fulltext �������� � ��� � ��������� �� �� ����� ����������� ����� �������� ��������� ����� ��� �� �� �!� "�������#�� � ���$��������� � ��� ���������� ������%��������$�����������$�&'������� ��� ����� ����� ������ �� ��������� ���������������������������������� ��������������� ��������������������� �������� ������ �� ������������ ��������� ����������������� ����� ��������� �� ������� ������������������������������������ ������ ������� ������ �!"#$� ���������������������������������������� ������������� �%&%$�������������������������������'������ �����������! ������������������!�������������������������������$�(��� � ������������������������ �������������������� �����(��� ��������������� ����� �� ���������� ���)��������������������� ���������������� ����������%&%�� ���������������� ����! � �������������$��������� ���������� ���������� $������ ��! �������������� ��������������� ������ ������������������ � ����������������������������� ������������������� ����� %����������������������������������������� ��������� ���� ��������� ���������������������%&%���������������� ����� ���������� ���������������� ��������������������'�� �������������������� ������� ����!� ������������������� � ����� ��� ���������������������� ��*+�%$� ,!-#��)������ ���*+�%����� ���������� �������� ������������� ������������ ������������������������ ������������������������������.�� �������� ��������������������� ��������������� ����������� � ��������� ��������������� ������ ���.�������� ����� ��! ��� �������������*+�%��������������������� ������������� ���� ������������������������������������� �������������� �� �� ������� �����������������������������������������! ��������������������� -#� ��������������� �/#�������������������������������� ���������� %&%� ��������� ���� �� ����� ����������� ����������� ����%&%��0+%1$��)������������������ ����� � ������� ��� �� ��� ��� ���� ��� ���� �������������� �������� 2�������������������������� ��������� ����� ����������! ������������� �������������������� ����������������� �! ����� �������������� ����������������������������! �������������������3��������������������������������� ��! ����������� ������������ �%&%������� ����������������! ��������%&%������ ����������������������0+%1������� ����������������'�� ���������������������� � )������������������������������������������%&%�������! ����������������������!�� ��������������������� ����������� � ��������� ����� � ��� ������� ���� �� �� ������ � ���24� ���������5���$��������������������������������������� ������������������ ��������������� ����� �� ���������� � ��� ��������������������������������$��������$��������! ������������������������ ����������������������������! � ����� ����� �� ���������� ������������������ ����������! �����$���������� ����������%&%������������������� ������ ��������������������'��������'������������������������� ������'��������������������������������������������� 036%�5�7��"/��71��/ ��������������������������������� ��������� �������� ��� �� �������� ������ ������������������ ��������������� �������������� ��!�����"�� #�� � �� �$� �������� � ��� ���������%��&'������� �(� ������ ��� '��� �)��!�*��+��&'����� ,���-� .)!� ��/� �0( 0) )�1� 2�3-� .)!� ��/� �0( !) ��1� � ����- "�������� 8�� ����� ������������� ��� ������������ ���� � ������� ��� �� ������������� ��� ������� ������� ����� ��� ���� � � ��������� ����������� ��� ��//$� �!�� ����� �������� ������ ���� ������ � ��� ������� � � ��������� ��� �� � ��� ������ � ���� �� ��� ������ � ��� 24�� 9������������ ��� ������� ������� �������������������������������� ���������������������������������� ���������������%&%$ ������ ����� � ������������������������������� �/!����� ��!������������������������������������� ��� %&%� � ������ ����� ����� ����������� ����� ���� �������� ������� ����� ��� � ������� ��� �� ������ ������� ���������� � ����� ������ ����������� ����� ���� ������������ ������������� ��� ������� ������� ��������� ����������� ���� �� ������������������������������� � ���������� ����� �������! ����� ��������� ��������������������������������� ��� �������� ����%&%� � ������ ���� ���� �� �� ������ � ������� � ������������� �� ����� ���� ��������������������$� ������� ����������������� �� � ������� ��� ���������������� ��������������� ����� ��#$�� �%� �� ����!�� ������ ���� ����������� �������� � ������� �������� ��������������� ����� 0�����������������/1�//:��������������������������������/��/�:����������������� ���������;�/��/�� ���������������������%� ��������������������������������� ��������� ������������ �1������.�/������ ��������������� ����$��������������������%&%������� ���� ����� ������ � ���� ������� �� ��������!�� ����� ���! ��������� � ����������/���!/�1���<���������������������� ����3�������������� ����������������� �������������! �� ����������������������������� ����� ����� �� ���������� �$ �����������������%&%������������������������������������ �������������������������������������������� ���������� ��������)����������������%&%������ �������������������! ��� ������������������������������� ������ ������ ����� �� ��������������������������������������������������� %�������� ������������������������������������ ������ �� � � ��������������� ������������������������������ ��! �������� ������������������������������� ����� &�� ������������ ������' �� 8���������������������//$�������������!%������ �������� ���������� ������/�8=���������� �� ���� �� �� �1//��� �����$���������������������������������,/�>6����������! �����������!������ ������������� ���/�����$����������������$ ������ ���/�����$�� �����3��������� ���������� ������ ������ �� ��������������������������������������������! � ���������������� ���������������������������� �� ��� � ���������������� ������������24��"?@$��� ������ �� �����!�������/��$����������������� �������������������! ������������������ ������ ������������������ ������������ ����� �����/�",���� "#� 3�������������������������� ������������� �� �! ����������������������2AB1������/��������������������! �� �� ������ ����,���������� ��#���������������������� ����������������3������������������ ������������������� ���24������������ �������� ��������� ������ ������ ����� ���������������������������� ������������ �����������! ������������������� ����������� �� ���� 8��������������������������������� ���������� ����! ����������������������������������$�������� ������������ ����������������������!����������� ������!�� ���������� �� ������)����������������������������������������������� �� ������������� ��#����������� ��������������������������! ������������� �ϕ������������������� ��������������������! �������������������� ���������$�������������������������� ����� ����� �� ���������� ����ϕ������������������������� ��������4ϕ��������4��������� ��������������$�����������ϕ� ����� ��� ������������������������ ������ ����� �����! ���������������������������������������������������������� ����������������������������� ��������� ����)������ ���� ������������������� ��� ��������������������������������� *������������� �������������������� ������������ ������ ������ ���������������������������������'�� ��������� ��! ����!�� ������������� �1#� �������������������� �ϕ���������������������������� ������������� ��������������������/!"�0�$���� �����������! ��������������1//����������//�C��3��������������������! �����������������������!������������� ��������������� �������� ��������������� ��������������������� ��������! ����������������������������ϕ����������������� ������� �� ������������������������������������������������������� ���������� ��� �"#���������������������� �ϕ������ ����� � ���������� ����������������������������� ��� ����������! ������ ������������1//������//�C������ϕ���� �������� ������������������ �������� ����� ��� ����������������� ����������������������������� ����������������������� D�"//�÷�("//�<�������$�)���������������������������� �������������������������������� ������� ������������������ ��������� ���������� � �����������������������!������� ����� ���������������� ����������� ������������������� � ������������������������� ������� ����.������������������� ���� � �������!�'�� ������������ �������������� ������� �! �������� ������������������������������������������������ ������������� �,#� (�� ������������ ��� ���� �� � ��� ����� ���%��������4������������������������������ �ϕ��������! �������������������������������� ���������$����������! �� ���������$�� ��������� �������������������� ������! ��� ���������������������� ���������� ��������1$����������! �� ��������"$�� ������ ��������24��B������������������� ���������������� �ϕ������������������ ��������3���� ��� ����������� �� �����������������������������������!������� ������������� ��������������� � ������� ��������� �������� 4������������� �� ����������������������������������� ���������������������� ����� �!������������������������� � ������ �� �#����������� �������������������� ��������� �����ϕ���� ���������������������1������ ����������������� ������ ��������� ������ �$������ ���� 4���� �������������������������ϕ����������������! ������������������������� ����� �������������%&%��� ��� ������ ���������������4����� ��� ���������������������! ��������������)������ �������������������������������� ����������� ����� ���� � ��������'�� ������� ��� ����� ����� �������������� ������� �����������%&%��� ������ ��������� ���������������������������!� �������������$��6������ �������������� ���%&%����������� ��������������� ������ �$ ������������������������'�� �����������������������! ��������� �������� ��������������������� ��������� ���! ������������������������������������������������������� � � � � ������������������������������������������������������ ��� �� �� �� �� �� �� �� �� � T , K �� , Bs ����� ��� %������� �������� � ϕ�� ��� ������������ ������� ���� ������ ��$� ���� ������� � ��$� � ������� �� ����� �������:� 1� ���� "�� ������! ���� �� ���� ����� ������ ���������� ��� ���� ������ ��������� ��� 24� �" ������.�/������ ���������������������%� ��������������������������������� ��������� ������������ ���������������� � �;#$�������� ����������� ������������� 2������������������������������������������������ �ϕ���� ������������ ��������� �������������������������� ���%&%� B����������������4����������������������������������� ��������� ���������������� ������������������������������$��� ������������������������ ��������������������24� 3�������������������������� ��������ϕ��,$�������������� ������������������������������������%&%�������������� 4����� ��� ���������������������������� ������������������! ����� ������������������ ������������������������ �%&% ����������������������������� ��������������� ��� ����� �������ϕ��,$������$����������������������� �� ����������! ������3����������������� �� ������ϕ��,$������������������ ����������� �� ��������� ������������� ���3�������� ��� ���� �� ���������!�������� ������� ���� ���������������������������� ���ϕ��������������������� ��� ��������� ������� ������� ��������� �#5 [ ] 2/1 1 1 1exp 1exp2     −+      −     −+     +      −    = − − λλ ϕϕ λ ϕ λ kT q kT q kT q LqnQ ss s isv � ��$ 2����5�E��εε/',F4���$�F�:�λ �E���F�/:��/����$��������� ��! ������������������������������������,���������� ���������! ��������������$�������� :�'��������.� ���������������:�ε��� ������ ���������������� :�ε/�E�?�?,⋅�/!���4F�� �������� �����������%&%����������'�� �����������������+ ��������������������3���������������� ������������������� ����������������'�� ���������������������������������%&% �� ��B��������������������,$��������������������ψ�$ �������������ψ��E�ϕ6�D�ϕ���ϕ������������������ ��ϕ6������� ����������������� ��������������� ���,������������ �! ������ ��������5��/�E���� ��4ϕ6F',$��4ϕ6��4ψ�$����������! ��� ���������������������������������������4����� ��� ��������� ������� ������������ ������������$��4�������ψ�$ ���������������������������%&%������� ���$������������4ψ� ������������ ������� ��������5 ( ) ( )sssf qQEN ψ∆∆= / � ��$ %��������4����������������$��$������������������������ ���������������/������/�"��<������ ����������������B������ �������������%&%������� ���������� �������������� �� �! ����������������������$����������������%&%������� ������ ����������������������D�/��1��<��������D�/�1���<:����������! ����������������������������;⋅�/�/�����1�"⋅�/�/���!�⋅�<!�� ����%&%������� �� ������������������G�/�1;��<��4��������! �� �� �����������������������$�����%&%������� ������ �! �� ��)����������������������� ������������� ���������� ������������� ����/�/���<$�������������������������������! �� �� �������������������������������������������! ������� ��������� ����������� ����� ��� ������������� ����� ���� �����⋅�/���������?⋅�/�����!�⋅�<!�� �����������������������%&%� ��������������������������� ����������� ������������ �� ��������� ������������� ����������������������������������������� ��������������! ���������������������������������������������������8� �� ���������������������������� �/!����� ��!������������ �������������������� �������//$���������� �� �����������! ��������� ���������� �&0H$� �7�� �?#��3� �/!������� ��� � ����� ������ �����������������%�!%�B���������������������� ��� ����������������� �������������������� ���)������������ ����� ���$������� ����������������������%�1≡%�I��%����� �������������� ������ �!����������������� ���������� ��� ����� ���������� ���������$��������� ;���?#��������������� ��!��������������%�!%�B���������������������������������� �� ��������� "���?!�/#���������� �������������������%�1≡%�I! ������������������������ ���������� ������� ������ ��/>��� �����/��$�� ��� ��#� ����������������������������������������&0H������ ��� ������ �������//$����������������� ����� �� ���������� ������� �������� �/!����� ��!�������������� �������$����������� ������������������������������������������ ��������������� �� ��������������/��?�����/��1��<��������� �7���?#��B�� ���� ��� �������������������������������%&%� ��� �����! ������� � �/����� ��������������������������������� ������ � ������� ���������������)����������������������������! ��� ������������������������������������������������������� ��������� ������������������������ ��������7!��������� �������������������������������������������������� ���� ����������� ���������������������� �/!����� ��!�������� �7#� ����� � ������������������������������ ���� �?#�����������! ����������������7!������������������������ ������ �������� ����������������� ����� �/!����� ��!�������� ������������� %�!%�B����������������� ����������������� ������ ������ �������������� ���� �������� �������������������������� ��� ��� ����������� ��� � ����� � � ������� ��� ������� ������ ���������� ������ ������������������ ������������� �/!���� ��!�������$�������������������������������������������� � ������������������� +���������� ������������������������������������� �/! ���� ��!�������$��������%�!%�B��� ���������������������! ������������� ����������������3���������������*+�%� �� �� �� ��� ��� ��� ���� �������������������������������������������������� ����������������� ����E � E , eV N , 1 0 10 -2 E V -1 � � ����� &��*����� ���� ����� %&%���� ����� � ������� ������ ������������� ���� ������ � ��$� ���� ������� � ��$� � ������� �� ����� �������:� 1 ���� "�� ���������� �� ���� ����� ������ ���������� ��� ���� ������ ���! ������ ��� 24� ���������������������%� ��������������������������������� ��������� ������������ �,������.�/������ ����������������7!��������������������������9B%������! ����������������� ����� ������������������(�8!��ω$������� ��������������������������� �������9B%��������������! ��������������� �������������������������������� �������� ������������������������� �������������������� ���������� ��� �������� ������������� ���� 7!-����!�"#��4��� ��������� ��� �"#��������������������������� ����������������������� � �����������������7!���������������9B%������������ ! ��������� !�����������)�� � ���������������/������/�1��< �����������������������8!��ω$������������������� ���� ����� ����������D�/�1���<��)���������������������������� �������������������������������������������������� ?# ��� �������9B%������������������� ���������� ����������! ������������%&%��J�����*+�%�������'������� ������ �� ������ ��������������%&%������� �������D�/��1��<��A����! ��������� ���� ��������� �������������������� �������� ������������ ����������D�/�1,��<��)�� �1#���������������� �������������������������������������������������9B% ������������ �!��������������������� �������� ����������� ������������� ����������������������� �� ������� ��������! �������3����������� �������������������%&%���� ��������� ��������������� � ������������%�!%�B������������ �������� ��������������� 7#���������������������������� )��������������������� � ��� �� ����������D�/�1,��������D /��,��<��������������������� �/!����� ��!���������������! ���� ����������� ��� ������������������������������ ������9B%����������������������$������*+�%���������� �� ������� ��������������� �����������������������������! �������� �� ����������������)��������� ������� ����������� ��� ���� ����������� �7���?#$���� ��������������� �/!���� ��!���������)������ ������ ����������������������� �����! ������������ �!�������������������$��������������������� 7# ��������������������������� ;#�����������������*+�%�����! ��'��$��%������������������������� ��������������� 7#������ ��������������'�������������������������������*+�%���! �� ����)����������������������� -#���������������� �����! ��������9B%��������������������//$�������������!%����� ������������������ �������������� �7!�� ��������8!��ω$ �����������*+�%���������� ��� ������� ���$��������� ���� �����������������*+�%���������������������������� ������������������������������������������������������! ����� ������ ������������ ������ ���� �� ������� ���� ������ ���������������������� ������ �������������������� ����� �� ���������� ����� � ���� ��������� ���� � ���� � ��������� ������� ��� ���� ����� �����������/������/�1��<����������)����������������� �/! ���� ��!����������������������� �������&0H����������8� ����������������� ���������������������������������������� ��������������'������������ ���������� ���)������������! ��� ������������ ��� �� ���� /��1� ����/�1�� �<��������� ��� ������� ������������ ��!����� �/!������������������� � B����������������4������������������������������24���� %&%������� ������������������������� �� �������������� �������1$�������������������������� �� �������������� �������"$����������� �����������������%&%������� ������ � ��������������������������������������������������������� ������������������������24����������!��������������������� ������ ������ ������������������ ������%�!2��%�!4�����%�! B2���������� �����'���������� �,���;#��2�����4������ ����B2!������� ����������������� ������ ������������� ���������������������� � ��� ������������ ��������� �7#� 1��������������� ������������������������������'��� ������� ������� ��� ��� ��������� ����� ����$�������� ���� ������������������������������� ������������������������� � ������ ������������������������������������ ����� �������������������������������������������������$�������! ��������������������������� �������������� ���������� ��� ������� ������������������������������ ��������� ������! ���������7�������������%&%������� ����������������������� � ������������������������ ������ �������������9���$��4��� ���������%&%������� ������� �� ������������������9����! ����������������� ������� ��������5 ( ) ./1 q d dQ d dV CN s sv s dss         −    −= ϕϕ ϕ �1$ B������������������������ϕ�$��������������������� �������������������������������ψ�$������������������������ �����������������$�������$��K���������������������� ���� %��������4����1�����"��,�����;�������������$����������� ���������� �� ���������������������������24���������� ����� ����������� �� ���������������� �������� ���24 �������������������� �������������������-/!�1/�C��B�� �������������4����1���������������� �� �������������� ����%&%��������������������������� ������������(�/������D D�/����<���� �����������$����������������������������������� ������������������� �����������������("$⋅�/�����!�⋅�<!���.�� �������������������/������/�,��<�������������%&%�������! ���������������������������������������������������3� �������������������%&%��������������������������������! ���������������� �����������ψ��E�ϕ6�D�ϕ�$������������������ ������������������������������ ���������� ���������� ��� ��������� ���������������������������������!�������������� + + + �� � � � � �������������� ���������������������������������� ������������ �������������E � E , eV N , 1 0 c m e V12 -2 -1 � � � � � � � s ����� (��&��������� ������ � ��� %&%� ��� ����� � ������� ���� ������ � ������� �� ����� �������� ��� ������������� �-/� ��$�� �7/� ��$�� �,, �1$�� �1/� �"$�� �/,� �,$�� �?,� �;$�� �,/� �7$� ���� �1/� C� �?$� �; ������.�/������ ���������������������%� ��������������������������������� ��������� ������������ ������ ���������������������ϕ�������ϕ���� ��������������� ������ ����������������������������������������������! �����������3�����������������������������������������! ����������������������������������������������������ϕ6 ��������������/��?��<������-/�C$����/�"7��<������1/�C$� 4�����������������������������$��$���������$���! ����������������4����������1$���������������������������� ���������������������� �� �������������������������� ������ �������4����������������������������������������� %&%��������������������������������$��$�������������� ������������� ����������$����������������������%&%�������! ��������%�����������%&%�����������������$����������� ���������ϕ��,$������������ ����������������������������! ������� �������������������������������������������� ����ϕ���$������������������������������������������������� ���������������$�������������������������������������� ���! �� �� ���������� �������������������������������������%&% �� ����� ������������%�!%�B�����������$��.������������� ��� ��������'�������������� ���������� ������������������������ ��������� �%&%���������������� ����������������������� ���������������$����� ����� ��������������� ������ ����! ������������� ���������������� ������� ���������� ������� ������������������������� ������������������ ���������%&% ���� ���� ����� ���������� ���������� ������ �������������������� ����������������� ��������������� ������� ������� ����! ������������������� ����������������������������%&%������� ���������$5 ���E� ( ) ( )[ ] 000ind // εεϕϕεε dssvssvd QQQ −= � �"$ 2����ϕ�/��ϕ�$���������� ��������������������� ��������������$ ����� ����� �� ���������� �������� ���:�ε�������������������� ����� ������ ������������������+����������������������$����� ϕ��G�/��ϕ�L�/$��3������������� ������������$������"$������ �� ����������� ��������� ����������������������� ��������� � ������������������� ���������� ����� �������� ������ ���� ����������� ����M�4ϕ�F',�M�F���)������� ������������������� ��������1⋅�/"�<F����8����������� ������ �������������� ��������� ����������� ������������������� ���������� �� ��! ������������������� 5����∝ �� ��4ϕ�F',$��)���� �������� � ������������$������"$���������������������������������! �������� �������������������������������E�:�4ϕ�� �-#� ������������ ������� ����������������������������$���� ����$�������������������������5������������ ���������� �� �������� ������ ����������������������������������������� %&%������� �����������������������������������������! �������$� ������� ���������� ��������������������������� ������ ���������������������������������������%&%����� ���� �� �#��B����������������������� ���������������� ������������! ��������������� ����������������������������� ����� ��! ���������������������%�!%�B�������������)����� ���� �������! + + + ++ �� ������������������������������������������� ��������������� ������E � � � � � �� �� E , eV N , 1 0 c m e V12 -2 -1 � � � � � � s ����� )��&��������������� ����%&%���� ����� � ������� ���� ������ �� �! ������ ���� �������� ��� 24� �� ����� �������� ��� ������������� �-/� ��$� �7/� ��$�� �,,� �1$�� �1/� �"$�� �/,� �,$�� �?,� �;$�� �,/� �7$� ���� �1/� C� �?$� � � � � � � �� �������������������������������������������������������������������� �E � � � � �� �� E , eV N , 1 0 c m e V12 -2 -1 s ����� *������ ����� ��� ��� 4���� 1� ���� ���� ������� � � ������� �� ���� �������� + + + + E , eV � ������������� ��������������� ���������������� ��������������� ����������E � � � � � �� N , 1 0 c m eV12 -2 -1 � � � � � � � s ����� +������ ����� ��� ��� 4���� "� ���� ���� ������� � � ������� ��� �������� ��� 24� �� ����� �������� ���������������������%� ��������������������������������� ��������� ������������ �7������.�/������ ��� ������������� ������ �������������������������� ���� ������ ���������)�������K��������������� ���������� �������! � ����� ������������� �������� ��������� ����� ����� ���$��� ������ ����������������������������������� /������������� �������������� ���������� ��������������������$ ( ) ssttn t nvnNDc dt dn 000 0 −∝ � �,$ 2������/������������������������������������ ��������������� � �� ����������:�� /�������������������������� ���������� ������������:����E��/�� ��4ϕ�F',$������������������������ � �����������������������������������������������������! ����:�+���������� ������������� ��� ���� :�;����������������! ��� ������������������ ������������� �������������������! ������������ ������������)����������������� ������� ����� � ��������5 ;�E�;/� �N �3 24 m− �&�(���$ 1F��( (��&�(�4����(���$ 1F�#F4��O� �;$ 2����;/�E��:�&�������������������������� ��������������� �������������!� �������������:���������������� ����� ��! ���������� :������������������������������� �������������� ���������������������:����������� ������������������������ � ���:�<����0 ����P�������������������� ��π� 3������������� �����������,$������;$����� ���������� �� ������������������� ���������������������� ���������� ������� ��� ������������ ������������������ �������������! ��������� ������������ �������������� ����%&%������������� ��������������������������������� �������������������! ��������������� ����������������������������������� ���� ��������������� �� ��������������������� ������������������ ������ ���������������������������� �������� ��������� ���������������� �ϕ�� & ������������ ������������ ��������������� �����������! ������� ����������������%&%����������������� ����������! ������������������������������ ��������������������! ����� ���������� ��$������������� ������������/������/�,��< �������������4����1$����������������� ���$���������%&%������� �� �����!� ����������������������������������������������! ���������������������������������������� ��������������! ��� ������������/������/�"��<��������$���� ������������� �������������������������������������4�����$��)������ � ���������������������������������������������������� �! ��������������������������������������������� �������� � ���������)������������� �������������������� �������� �! ������������ ����%&%����������������������� ���������� ���� � ������������� ������������� ���$�������������� ������ ��� 3��������������� �� ������ ��������������� ����24����� �����������������$������������������������ ��������� �4����"$��)���������������L����D�/����<�������������������� ��� �������� �����$���������� ������������������������� ����������������������������3����L����D�/����<������ ����� ���������������������������������� �����$���������� �� ������ ����������������������������������������������! ���������3����������� �� ������ �����������������������! � ������������������������������� ������)������������ ����������� ���������������������������������� ���������� ���������� ������ �����������������������������%&%����! ��� ��������������� ����������4����"$����������������������� �����������������$��������������������� �� ����������! ������4����1$� 3������������ �� ���������������� ��� ���������������� ����������%&%������� ����������� ��������4����,$��������� �� �������������������������������������� ������ ����������! ������������������������������������� ����������������� ������� �������������� ����� �� ���������� �������� ������ ����B����������������4����,��������������� �����������! �� �� ������� �������� ���������� ������ � ��� ��������� �� �������������� ������������ ����������������������� ������������� ������������.����������������� �����������! �� ������������������������������������������ �� �! ������ ���� ����� � ��������$� ��� ���� ���������� ��� ����� �� ������������������������������ ������������������������ ����� ������ �������� ����������������������� ������� ��! �������� ����������������������������� ����#� %����'������������������������� �� ��������� ���� 24�������������������������������������� �������������� ��������������������� ������ ������������������������� ��� ��������$������������������������������������������������ �������������24��4����;$�������������������������������! ������������������� ��� �������� ����������������24������ ����������������� ����������� �� ������ ������������ ��������������� �����������������������,��� ���� !���� ����� )���� �����������������������%&%���������������������� ����������//$�������������!%��� ������������������������� ��������������� �������������������������� ������� ������������������������� ������������ �������������� �������������������������������! �� ������������� ������%&%���������� ����!� ������������� �����������$������ �������� ��� � �������������%&%� ��! � �������������� �������������������� ������������ � ��������������������������������� ��������������������! ��������������������� �� ������������������������� ������ ������$������������������������������������%�!%�B����������� �������������� ������������ �/!����� ��!���������B������� �� ������������������������������������ ���������� ���� ������� �� �������24$�����%&%������������������������ ����������������� ���������� ��� ������ ����������������� ��������������� ������� ��� ���������������������! �� ���������������������������������������%&%������������ ������������������������������������������������������� ��������������������������� ������������������������������ ����������������������������������'������� ����� ������ ����������� ������������ ������ ����3�������� �� ������� ����������������%&%������������������������������������� � ������� ��� ��� ��� �� ����������� ����������� ���� ����� ��� ��������������� ������������������������������������ ���������� ������ ��������������������� ��������������! ������������������������������������������� ����ϕ6���� ��$���������������������������� ���������������������! ������������������������������������%&%��������� ���! ������������������������������������� ���������������� ������������������ ������ �������������B��������������� �? ������.�/������ ���������������������%� ��������������������������������� ��������� ������������ ���������������������������������������������������%&% � ���������� ���������������������������������� �������! ������������� ���������� ������� ������������ ��������� ������������������� ����������������� ����$�� ������� ����������������������� ����<�Q���.����������<�R��+����! ������������� ��� �������������������������� =�$������� �� <�R��+������������3�0��R�������,���>������ �$� ������� �$� �� ?�������� ������?� �� #�� �� �� �������� � ��� ��� ���� ��� H������$�� A������� *������ C���� ��-7?$� �� ����� ���� �$� ���?� �� #�� �� �� �������� � ��� � � � ��� ���� H������$�� &��� 3�<�� H�������� A������ 9������ ��-7;$� 1� <�4�� C��� ���� � �$���� ��������� ��� �������� � ���� ���� #� � �� ���� ���� H������$�� A������ 9������ ��-7/$� �� ,��� ������� ����7����� ��� �$� ����� ���� ����� ����� �� ��$���� 0����� 1��� )������� % ��������� 0����������� AS� ��--;$� ,� A�9�� S������� FF�%����� �����5� ��()���$�� ��� ?/1� ��-7-$� ;� A�9�� S�������� *�C�� .���� ����� 9�*�� 9� ��� ��� � �� FF�%���� ����� 5� �� )(�;$�� ��� ,;1� ��-?1$� 7� *�� <�� ������ *�� R����������� R�� <������� FF� %����� ���� 5� �� *,���$�� ��� ��/;� ��--/$� ?� %�� .� ������� 6�� S����� 6�� 3����� FF�%����� �����5� ��+,�"$�� �� ,1/� ��--,$� -� %��B������ )��3�� �����.��C�������� �� FF����������������,������� �-���$�� ��� �,�/� ��--,$� �/� %�� C� ������� ��� 2��������� 2�� 2�������� FF� @���� @�� %���� ����� (*��.$�� ��� -";� ��--;$� ��� C��0����������Q��C��� ���������B����� FF�� �$�������&.-�1$�� �� �1-� ��--1$� ��� 3�<�� %��������� B�<�� %������� �� ��$$�� �� ��� �������� � �� ���� � �$���� 5������ ���� H������$�� A������� *������ C��� ��-?"$� �1� T�%�� R���������� <�)�� 9� ������ FF�2�A��,�'���� �� ���+�� &�;$� ��� �1,�� ��-;?$� �"� %�)�� C��� ����� <�&�� 0������������ <�3�� 6��������� FF �� ����' ����'�� �� �� ���+����'�+���� ,�'���'�� A�� ���� �� ;/� ��--�$� �,� <�&�� 0������������ B�<�� %������� <�<�� 9� ����� FF� ������ � � � ��������1$�� ��� 7��� ��-;,$� �;� <�4�� C��� ���� %�A�� C�� ��� FF� �+��'��� � A�� ��� ��� �1� ��-?�$� �7� R�S�� R�������� &�2�� 0����� ����� 0�S�� 6�� ���� A�9�� S������� F F�%����� ����� 5� �� ).�;$�� ��� 1"?� ��-?;$� �?� &�2��0����� ���� FF����������������,��������)�,$�����-;�� ��-?-$� �-� S�2��%��������+��*�� �FF�%����� �����5� ��*/��,$������;"����--�$� �/� 3�� %�������� FF������� � � ��7��� ��� .,�"$�� ��� �,,� ��--;$� ��� 3��%���������.��A�������<�<��3�����P���FF�@�� ����-�7������� ?� ��� �-��7$�� ��� +"-,� ��--?$� ��� +�!3��H�����������0��+���������T��B������9�B��3��������� ���,��� ������� ����7����� ��� �$� ����� ���� ��� �� ����� �� �� $����� 0����� 1��� )������� % ��������� 0����������� AS�� ��� ;;7 ��--;$� �1� H�&��%��� ������ ���,��� �����������7����� ����$���������� �� �� ����� �� ��$����� 0����� 1��� )������� % ��������� 0���������� AS�� ��� ,�,� ��--;$� �"� A��2���K���+��<���������������9�� FF�%����� �����5� ��*.��;$� ��� 1"�;� ��--�$� �,� R�S�� 0������� FF� %����� ����� +-�"$�� ��� 1"7� ��--,$� �;� C�� +K��������� 3�� %���������� J�� S������� FF�%����� �����5� � +,�,$�� ��� ;,� ��--,$� �7� ���%�����������%������ FF�@��%����� �����*&���$������??-���-?�$� �?� Q�8��+��� FF�@�� �����;-�%����� �����)&�"$�� ��� �17/� ��-7�$� �-� %�)��C��� �����<�&��0������������<�3��6���������FF�2�A��,�'��� �� ���+�� (-��$�� ��� ��?� ��--;$�