Зображення обкладинки

Deagglomeration of aerosil in polishing suspension for chemical-mechanical polishing of sapphire

Studied is the influence of pH, surface-active substances and ultrasonic dispersing on the degree of deagglomeration of aerosol in the polishing suspensions used for CMP of sapphire, the removal rate and the optical quality of the surface at polishing. Ultrasonic dispersing makes it possible to obta...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Functional Materials
Дата:	2015
Автор:	Vovk, E.A.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2015
Теми:	Technology
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119306
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Deagglomeration of aerosil in polishing suspension for chemical-mechanical polishing of sapphire / E.A.Vovk // Functional Materials. — 2015. — Т. 22, № 1. — С. 110-115. — Бібліогр.: 15 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil
за авторством: Vovk, E.A.
Опубліковано: (2015)

Polishing of AlN/sapphire substrates obtained by thermochemical nitridation of sapphire
за авторством: Vovk, E.A., та інші
Опубліковано: (2013)

Polishing substrates of single crystal silicon carbide and sapphire for optoelectronics
за авторством: Filatov, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2016)

Chemical polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb
за авторством: Levchenko, I.V., та інші
Опубліковано: (2017)

Potentialities for sapphire strength enhancement
за авторством: Voloshyn, O.V., та інші
Опубліковано: (2007)

Manufacture of sapphire ribbons with low dislocation density
за авторством: Safronov, R.I., та інші
Опубліковано: (2016)

Some peculiarities of the use of sapphire light guides in metallurgy
за авторством: Zhukov, L.F., та інші
Опубліковано: (2010)

Thermochemical etching of sapphire in CO+H₂ gas atmosphere
за авторством: Kaltaev, Kh.Sh.-ogly, та інші
Опубліковано: (2010)

Specific growing features of variable section sapphire articles by Stepanov technique
за авторством: Konevskiy, P.V., та інші
Опубліковано: (2008)

Chemical-dynamic polishing of InAs, InSb, GaAs and GaSb crystals with (NH₄)₂Cr₂O₇-HBr-citric acid etching composition
за авторством: Levchenko, I.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Transient mode features at sapphire growing by horizontal directional crystallization
за авторством: Barannik, S.V., та інші
Опубліковано: (2009)

Structure perfection of bulk and near-surface layers in sapphire single crystals
за авторством: Tkachenko, V.F., та інші
Опубліковано: (2007)

Optimization of temperature conditions for the growth of large-size sapphire crystals by the method of horizontally directed crystallization
за авторством: Grin, L.A., та інші
Опубліковано: (2013)

Influence of nano-filler on the mechanism of crystallization of systems based on polypropylene and aerosil
за авторством: R. V. Dinzhos, та інші
Опубліковано: (2019)

Deagglomeration of carbon nanotubes in aqueous solutions of melamineformaldehyde, naphthaleneformaldehyde, lignosulfonate plasticizers
за авторством: Yu. I. Sementsov, та інші
Опубліковано: (2016)

Model of smoothing roughness on GaAs wafer surface by using nonabrasive chemical-and-mechanical polishing
за авторством: A. V. Fomin, та інші
Опубліковано: (2017)

Promising method for determining the concentration of nano-sized diamond powders in water suspensions
за авторством: Dorozinska, H.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Model of smoothing roughness on GaAs wafer surface by using nonabrasive chemical-and-mechanical polishing
за авторством: Fomin, A.V., та інші
Опубліковано: (2017)

Optimization of bromine-emerging etching compositions K₂Cr₂O₇-HBr-ethylene glycol for forming a polished surface of CdTe, ZnxCd₁-xTe and CdxHg₁-xTe
за авторством: Chayka, M.V., та інші
Опубліковано: (2019)

Wettability of sapphire
за авторством: Voloshyn, O.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Chemical-mechanical polishing of solid solutions crystals based on bismuth and antimony tellurides by compositions, which release bromine
за авторством: I. I. Pavlovich, та інші
Опубліковано: (2011)

Surface roughness of optoelectronic components in mechanical polishing
за авторством: Ju. D. Filatov
Опубліковано: (2018)

Balance model for contactless chemo-mechanical polishing of wafers
за авторством: Grigoriev, N.N., та інші
Опубліковано: (2002)

Impact fragmentation of sapphire
за авторством: P. V. Konevskij, та інші
Опубліковано: (2015)

Structure perfection of sapphire single crystals grown by HOC method in reducing atmosphere
за авторством: Tkachenko, V.F., та інші
Опубліковано: (2011)

Mechanism of AlN film formation at thermochemical nitridization of sapphire
за авторством: Kaltaev, Kh.Sh.-ogly, та інші
Опубліковано: (2011)

Effect of modified aerosil on the formation process, viscoelastic and mechanical properties of polymer matrices based on PMMA/PU IPNs
за авторством: L. F. Kosianchuk, та інші
Опубліковано: (2019)

Problems of chemical-dynamic polishing in the technology of silicon p-i-n photodiodes
за авторством: M. S. Kukurudziak
Опубліковано: (2023)

The structure of hydrophobic aerosil in a hydrocarbon medium. The effect of shear field
за авторством: I. P. Getmanchuk, та інші
Опубліковано: (2019)

Nanodimensional formations on the CdTe and ZnₓCd₁₋ₓTe surfaces at chemical etching
за авторством: Tomashyk, Z.F., та інші
Опубліковано: (2008)

The Polish school of semantic grammar (Polish semantic grammar circle)
за авторством: J. Banasiak
Опубліковано: (2019)

Glass dispersion during his grinding and polishing. Mechanism of his removal
за авторством: V. N. Tkach, та інші
Опубліковано: (2019)

Study of the adsorption-desorption phenomena in the system polydimethylsiloxane–polybutadiene–carbon tetrachloride–aerosil
за авторством: V. N. Chornaja, та інші
Опубліковано: (2015)

Financial mechanism of ukrainian-polish cross-border region development
за авторством: M. M. Yankiv
Опубліковано: (2020)

The XIV Polish-Ukrainian-German Summer school on fracture mechanics
за авторством: P. V. Yasnii, та інші
Опубліковано: (2016)

The holiday of Polish linguistics
за авторством: Ye. A. Karpilovska
Опубліковано: (2022)

Rheokinetics of in situ formation of aerosil filled poly(methyl methacrylate)–polyurethane blend
за авторством: V. F. Shumskij, та інші
Опубліковано: (2014)

Chemical-mechanical polishing of CdTe single crystals by bromine emerging solutions H2O2—HBr—ethylene glycol
за авторством: I. B. Stratiichuk
Опубліковано: (2011)

Polish perspective on the Polish-Ukrainian war of 1918-1919 for the eastern Galicia
за авторством: M. Klimecki
Опубліковано: (2009)

The Ukrainian–Polish–bolshevik war of 1920 in the contemporary Ukrainian and Polish historiography
за авторством: R. Lavretskyi
Опубліковано: (2009)