Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system

For TiBx film ~50 nm thick formed by magnetron sputtering from a pressed target onto the <100> GaAs substrate we experimentally revealed lateral nonuniformity ordering at microwave irradiation (frequency of 2.45 GHz, illuminance of 1.5 W/cm²). This correlates with improvement of the TiBx-n...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Дата:2001
Автори: Konakova, R.V., Milenin, V.V., Voitsikhovskyi, D.I., Kamalov, A.B., Kolyadina, E.Yu., Lytvyn, P.M., Lytvyn, O.S., Matveeva, L.A., Prokopenko, I.V.
Формат: Стаття
Мова:Англійська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119331
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system / R.V. Konakova, V.V. Milenin, D.I. Voitsikhovskyi, A.B. Kamalov, E.Yu. Kolyadina, P.M. Lytvyn, O.S. Lytvyn, L.A. Matveeva, I.V. Prokopenko // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 4. — С. 298-300. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860029210504986624
author Konakova, R.V.
Milenin, V.V.
Voitsikhovskyi, D.I.
Kamalov, A.B.
Kolyadina, E.Yu.
Lytvyn, P.M.
Lytvyn, O.S.
Matveeva, L.A.
Prokopenko, I.V.
author_facet Konakova, R.V.
Milenin, V.V.
Voitsikhovskyi, D.I.
Kamalov, A.B.
Kolyadina, E.Yu.
Lytvyn, P.M.
Lytvyn, O.S.
Matveeva, L.A.
Prokopenko, I.V.
citation_txt Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system / R.V. Konakova, V.V. Milenin, D.I. Voitsikhovskyi, A.B. Kamalov, E.Yu. Kolyadina, P.M. Lytvyn, O.S. Lytvyn, L.A. Matveeva, I.V. Prokopenko // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 4. — С. 298-300. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
description For TiBx film ~50 nm thick formed by magnetron sputtering from a pressed target onto the <100> GaAs substrate we experimentally revealed lateral nonuniformity ordering at microwave irradiation (frequency of 2.45 GHz, illuminance of 1.5 W/cm²). This correlates with improvement of the TiBx-n-n⁺-GaAs diode structure parameters after similar microwave treatment.
first_indexed 2025-12-07T16:51:29Z
format Article
fulltext �������� � ��� � ��������� �� �� ����� ����������� ����� �������� ��������� ����� ��� �� � !"#��� $�������%�� � ���&��������� � ��� ���������� ������'��������&�����������&�()�������� ��� ����� ����� ����� ���� ����������� � ������� �� ��� ���� ���� ��� � � � ��� ���������� ���� ����������������������������� ���� ������� ������� ������� ��� ���� �������� � ����� �������� � ���� �������������������� ������� �� ��� ���� ���������� � � ������ �������� � ������� ��� ��!������������ ��� ������ �������� �� ����"�������� ����� ��������� ���� ��"���� � ���� ������� �� ���� �� �������� ����� �������� ��� � � ������ ������������������ ������� ����� ����� �� ����� ���� ������� �������������� �� ��� � � ��� �������������� � ���� � ������� ������ ������ ��� �� ���������������� ��� � ��� ������������������������� ���� ��� � ������� � ���� ��� ���� ����� ���� ������ ����� ����� �� ��� ���� ���������� � � � ������� �������� � � ��� � �������� � ��� � ������ #$%&'� (���������� ���� ������ ��� ������������ ��� ������� �������� ������� ��� ������ ��������� ��� ��� ����� " ������� ��)*����� ���� ������ �� � ������* ! � �� �� �� �� ����)*� * ! ������� �� ����������!����)*���� +�* ! � ��� ��� �� ����� ��� ���� � �������������� ��� ������� ���� ��� � �������������� ������)*�� �������� ������� ��������� ���� ���� ���������� � ������ �� � ��������* ! �� �� ���� �� ���� ���������������������� �,×$-$.� ��/ � ���� �� �� ���� �������� ��� �� � ����������� ����� � �� ���� �������������0���� �����������)*��������� 1�� �� 2-���������!����)*���� +�* ! ������� ��� ���� ����� 2--��m������ ����������������+� �� ������� 1�� �� �2 �/-- ��m3������������� ����� �� ���� �����������������+� � ����� �4�×$-$.��4�×$-$� � �%/� 5���� ���� �������"�� �������� ��� ���� �� ���� ����6��� �������,2�*(0��������� � �����$�2�78 �� ���� $%$-� ���������������� ������ ��� ���� ������� ���� � ���� ���� ���� ���� �� ������������������ ������ � �� ����� � ��� � ����� ������� ����� ��� ��� ����� ��� �������� � � ���5)9: ��)����������� ��� ������� ��� � ������ ������������1�����%%�� ���+%�� ���� �������� � ������ ��� ���� � ������� ;!<5�&$�.&�<��./�,-�=���,�,- �� ��������� ����������� ���������������� � � ���� �� ���������������������������� � ������������ �� ��!���"�#�$� � ��%������$�&���� �����"��#�"��$������!�����#$�'�( ��!���� ���$���%��)��#��$ ��*��)��#��$�)����%��#��#�$� �� �����"����"� %�� � �� �&��������� � ��� ���������'��()������� �,� ������ ��� )���-��.�� �#��!��()����� ����>� �/�-�,, � �&2�&$���3� ? ">� �/�-�,, � �&2��/�,�3� 9�� ��>� 1�� 1�� @� ��1����� �+��������?�����)*� �����42-A������ 1� ����������� �������� ���������� ����� ���� ��� � ���� ���������B$--C�* ! � �� �� �������"�������� �������� ���� � ��� ������������������������� � �� ��� ��� ��� �� ����� ����6��� �� ��� ��,2�*(0�� ������� � �� ��� $�2�78 �� ����� � ����� �� ����� ��������������� ������)*���� +�* ! ������� ��� ������ � ����� � ����� ���� ���� ��� �� ��� ������ !��,�� �-��� ��� ��� ��� ������� ������ �����)*� ���������������� ; ������ ������-��-.�-$�3����� ���� �� ������� ������-2�$��-$3� ��������������� �����$��$��-$� �� ��!���"�#��������-��� �������������������� ���������������� � �������� ��� ���������/�0������ .����� ���� �� � ��� ����� ���� ��� ��� ������ ��� ���� �� ��� ������� ��������)* ���� ���� ���������� ������� ����������� �� ��� ���� ���� ������ �� ������ 1�������� ���������������������� ������ � � � ������� � ������ �� � ���������B$$$C����� � ������?����$ ����� ��� � ������ ���� �� ���� ��� ���� " � ��������������)*�������� ��� ����������������� �������� 6� �� ������� ���)*������ ������� �������� ��� � ����� � �������� �� ����� �� � �����"� ���� ������������������ �"��� ������� ������� ������ ��� � ��� �� ������ ����� ������ ���)�D/�����#.'����� � ������� ����� � ���������� ����� ��������)** $�*! ��! ��������������!����� � ��� � �� ���� ����� ����)*� ����� ��� ������ ���������� ����� �������������������)* �� � ������������� ���)�D/� ���� ������ ��� ��������������������������������������� � ��� ���� ��E� ��� ������ �� ����������������� �� ���� ����$-� ��� ��������� ������������������������ ����������� � ���?����$� � �������� ������� ����#,'�� � ��� ����� ���� ��� ���� ���������������� � ������� �����������!�*��* ! ����� ��� �������� �� �������������� ����������� �� ��� ����� ���������������������� ��� ���������������� ������ � �� ��������� ����� ���� ������� ����� ����#,�&'�� ��� �� � �� ������������ ��� ����� " �������������� � � �� �� �������� �� �� � � ������������ � ��� ����� ���� �� ��������� ���*� � ��� � �������������� �� � ��� ����������� ��� ����� ��� � ���������� �������1������ ������ ���� ������ ������������)*� * ! � ��� ������ ����� ��� ���� � ������������ ��� �� ��� ������ ������ ������� �� ��������� ���������� ��� � � ������������� ��� ���� ������#,�&' �� �� � ����������� ��� �� �� ����������������)*���������� 1�� ������� ��� �2-������� ����������������� ���� ������������������ ��� � ��������� ����* ! ��� �� ��� ��� ������������ ��������� �� ��� ������� ������)*�* ! � ��� ��� ����������#�'� !�������� �� �������������������� �1�����#$%/�2'��� � �������������� � � �� �� ����������� ��* ! � � ��������� ��� "� ����� �������� ����3���� �� � ��� �������� � ��� ������� � ���� ��� �������������� �� � ��������������� �� ��� ���� ����������� �� � ���� ��� ������ �� ���� ��� ���������������� ������� ���������������� � ���� ��� ��� � ������������!������� ��� ������ ����������$-� ����� � ��� ��� ������ �4$,�2��%$���� ������ ��� ����� �4.�2��%$ � ���� ����� ���� � ������������?������������� ��� ���� ������� �����������)*�* ! � � ���������������� ��� ���� �� ��� ������ �� ���������$-� � ! ����������#2'������������������������� ������� ������� ��������� ��� ��������� ������������� �� ���� � ����� ��� �� ������������������� �� � ����������� ��� ��� � ����� ���������������)*�������"�� �������� ��� ������ �� � ����� �������������� ������������������������������ D������������� ����������� " �������� � � ���� � �� ����� ��� ������ ������� ��� ��������)*�* ! ������� �� �������� � � � ������ ������ ���� ��� ��� ������ ��� ���� ����� � � ���5)9: � �� �� ���� ���������?����/��D��� �� �� �� ����������� �� �� ������ �����$ �� � �� � ��� ���� �� ���� ��� ��� ������ ����������� ���������������������� �� ����� �� ������� ������ ��0����������* ! ��� �� ��� ����������E�� ��� ������ �������� � ���� � �� ���� ������ �� �������� /���� ��� 5��� ������������� ��� ��)*� ����>� �� %� ����� �3� 1� %� ���� �� ��� ��� ��� ������ ���� $-� ������ ������� � ���� � � 2� ��� � µ� � � � µ� � 1 � �������� ���� ���� 1� ����� �� ����� ��� ����� �� � �� �� ���� ����������� �� � � � ���� �� ���� ��� ��� ������� �������������� ���� ������� ��� � ��� ����������������� ����� ��� �������������������)*���� +�* ! ������� ��� ������ � �� ���� ���������� ��� ������ ������� ���� ����$ ��D��� � ����� ��������"�� ��������� ��� ������ �� ���������-�2% /-- ������/�0������ �� ��!���"�#��������-��� �������������������� ���������������� � �������� ��� ��+��� ������� � ������+������� ��� �� ��� ����������� +������ �� � �����������,�#�� ���������� ; � ����� F�� ���������� ��� ������ ������� - -�2 $ � / 2 & $- ) �������������ϕ 1��G -�.� -��$ -�.� -�� -��� -��� -��� -��� ��� ������ ����� $�/ $��. $�/ $�� $�$2 $�$2 $�$2 $�$2 :���� �� �������%2��! �×$-%� $-%� $-%� .×$-%� $-%� $-%� $-%� $-%� : ��� ���� ��� �����2��� .�2 ��- &�- $��� $��- $2�- ∞ ∞ /���� ��;������ ������)*�* ! � ��� ����>���%������ �3���%� ������� ��� � ��� ��� ������ ���� $-� � /����.��5)9:� �� �� ������)*�* ! � ��� ����>���%� ����� �3���%� ���� �� ��� ��� ��� ������ ���� $-� � ��� ��� ��� ��� ��� ����� ����� ����� ���� X , mµ H , A � � � � � � � � � � � � � � � � � �� �� �� � E n e rg y, eV ( R /R ) x � � � � $� �� � ���� ������������� ����������������� �� ��������� ����� ������� ������ �������� ��� ��� ��������� ��������� ��������������������� � ���� �������������� ��E� ��� �� ��� ��������� � � ����������3� � ��� ��������� ���� ��� �������� ��������� �� � ����� � ���� � � ������ �� ��� ������� �� ��������� �������� ������ �� ���� ������� ���� ��� ���� ������ �� ��� ��� ���� ���� ���� ����� ������� �� �� �� ����������� ����� ������������������������ � ���� ����� ��7������� ���������� ��� ������ ����� � ��� �� ������/%$-� ���������������� �� ����������� ��� ������� �� ������������ ��������������� � ������5 ����1� � �������������ϕ 1� ����� ������ � ������ ������ ����� �� �� � � 0���� ���� ������� �������"�������� ��� � ��� ����������� �� ���� �� ���� ��� ������ ���������� � � ��� ��� � ������ " ���� ���������)*�* ! � �����)*���� +�* ! � � ��� �������� �� � ����������� ��� ����������)*������ ��� ��� ��� ������� ���������������������������� ���������� � ������� ���� ���* ! �� �� ��� ��������� 2�&������� $� !����=� � ���� ���3�������&� �����3����� ���������� � � �� �&���������� ������H �1 ��E� ����$�., � ����:� � � � �� ��9��F�1 �������G�G��� � ��1�� 88�4�5��3.�����3���� .�� �� ��� ,���,��� �$��/ � ����:� � � � /� ��9��F�1 �������G�G��� � ��1�� 88�4�5��3.�����3���� 1�2 �� ��� $$2$�$$2&� �$��, � ����:� � � � ,� G����G�������5�!��*�� � ��:�G��=�� 1�� ���� ���88� �����.�6�34 �2�$& �� ���� $-�$/� �$��� � ����:� � � � 2� I�5��=� 0 ���:��( �� ���J��!���1����1���� ���88���>� ������������ ������� �����3�������� /7 ����� 0�� ���� /,-�/,&� �$��. � &� J��!���1����1��G����G�������I�5��=� 0 �� ��� ��� 88�3��������� 4����� .2�� ���� 2$�2/� �$��, � .� 9�?��G�������G�G��E����������)��9������� ����� ���88�4�5��3�)��� �� ���.�� ..�� �� ���� �,���2/� �$��� � ����:� � � � �� 9�?��G�������:�G��=�� 1�� ��D�)��D1������1����� ���88�����" ���� � ���� .3�,& �� ���� ,�.�,/�� ��--$ �
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-119331
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1560-8034
language English
last_indexed 2025-12-07T16:51:29Z
publishDate 2001
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Konakova, R.V.
Milenin, V.V.
Voitsikhovskyi, D.I.
Kamalov, A.B.
Kolyadina, E.Yu.
Lytvyn, P.M.
Lytvyn, O.S.
Matveeva, L.A.
Prokopenko, I.V.
2017-06-06T13:08:26Z
2017-06-06T13:08:26Z
2001
Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system / R.V. Konakova, V.V. Milenin, D.I. Voitsikhovskyi, A.B. Kamalov, E.Yu. Kolyadina, P.M. Lytvyn, O.S. Lytvyn, L.A. Matveeva, I.V. Prokopenko // Semiconductor Physics Quantum Electronics &amp; Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 4. — С. 298-300. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
1560-8034
PACS 61.76.C, 73.40.K, 84.40
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119331
For TiBx film ~50 nm thick formed by magnetron sputtering from a pressed target onto the &lt;100> GaAs substrate we experimentally revealed lateral nonuniformity ordering at microwave irradiation (frequency of 2.45 GHz, illuminance of 1.5 W/cm²). This correlates with improvement of the TiBx-n-n⁺-GaAs diode structure parameters after similar microwave treatment.
en
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Semiconductor Physics Quantum Electronics &amp; Optoelectronics
Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system
Article
published earlier
spellingShingle Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system
Konakova, R.V.
Milenin, V.V.
Voitsikhovskyi, D.I.
Kamalov, A.B.
Kolyadina, E.Yu.
Lytvyn, P.M.
Lytvyn, O.S.
Matveeva, L.A.
Prokopenko, I.V.
title Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system
title_full Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system
title_fullStr Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system
title_full_unstemmed Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system
title_short Ordering of lateral nonuniformity of TiBx film and transition layer in the TiBx-GaAs system
title_sort ordering of lateral nonuniformity of tibx film and transition layer in the tibx-gaas system
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119331
work_keys_str_mv AT konakovarv orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT mileninvv orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT voitsikhovskyidi orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT kamalovab orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT kolyadinaeyu orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT lytvynpm orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT lytvynos orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT matveevala orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem
AT prokopenkoiv orderingoflateralnonuniformityoftibxfilmandtransitionlayerinthetibxgaassystem