Зображення обкладинки

Morphology change of the silicon surface induced by Ar+ ion beam sputtering

Two-level modeling for nanoscale pattern formation on silicon target by Ar+ ion sputtering is presented. Phase diagram illustrating possible nanosize surface patterns is discussed. Scaling characteristics for the structure wavelength dependence versus incoming ion energy are defined. Growth and roug...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Condensed Matter Physics
Дата:	2011
Автори:	Kharchenko, V.O., Kharchenko, D.O.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Інститут фізики конденсованих систем НАН України 2011
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119981
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Morphology change of the silicon surface induced by Ar+ ion beam sputtering / V.O. Kharchenko, D.O. Kharchenko // Condensed Matter Physics. — 2011. — Т. 14, № 2. — С. 23602:1-11. — Бібліогр.: 27 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Structure formation processes induced by the ion sputtering in anisotropic system with additive noise
за авторством: Kharchenko, V.O.
Опубліковано: (2011)

Formation of Stationary Surface Structures During Ion Beam Sputtering
за авторством: I. O. Lysenko, та інші
Опубліковано: (2013)

Specular and diffusive reflectance of stainless steel mirrors sputtered with Ar⁺ ions
за авторством: Konovalov, V.G., та інші
Опубліковано: (2012)

The microrelief studies of stainless steel mirrors sputtered with Ar⁺ ions of different energy
за авторством: Bondarenko, V.N., та інші
Опубліковано: (2018)

Hybrid systems for electron beam evaporation and ion sputtering
за авторством: A. I. Kuzmichev, та інші
Опубліковано: (2019)

The sputtering of silicon and carbon targets by accelerated ion by the fullerene C60
за авторством: M. V. Maleev, та інші
Опубліковано: (2015)

Radiation-induced hardening of Ar+-ion irradiated SS316 stainless steel
за авторством: S. A. Karpov, та інші
Опубліковано: (2016)

Structure and fluorescence of ZnWO₄ films prepared by ion beam sputtering
за авторством: Dubovik, A., та інші
Опубліковано: (2012)

Structural and morphological properties of nanometer carbon films obtained by electron beam sputtering of graphite
за авторством: V. O. Yukhymchuk, та інші
Опубліковано: (2023)

The silica and silicon luminescence induced by fast hydrogen ions
за авторством: Kalantaryan, O.V., та інші
Опубліковано: (2000)

Vacuum arc sputtering of subsrate surface by chrome and molybdenum ions
за авторством: V. A. Stolbovoj
Опубліковано: (2009)

Influence of the irradiation doze and temperature on the flux of ejecting atoms during relief formation on Mg surface by Ar⁺ sputtering
за авторством: Starshinov, I.N., та інші
Опубліковано: (2010)

Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2019)

Generation of the Al(111) Surface Defects under Influence of Low-Energy Ar+ Ions
за авторством: M. O. Vasyliev, та інші
Опубліковано: (2014)

Unusual morphology of equimolar Ar–Kr alloys
за авторством: Danchuk, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Unusual morphology of equimolar Ar–Kr alloys
за авторством: V. V. Danchuk, та інші
Опубліковано: (2015)

Investigations of characteristics of metal film based pyroelectric detectors implanted by Ar+ ions
за авторством: Lysyuk, V.O., та інші
Опубліковано: (2002)

Properties of spatial arrangement of V-type defects in irradiated materials: 3D-modelling
за авторством: Kharchenko, V.O., та інші
Опубліковано: (2013)

Ab-initio calculations for the structural properties of Zr-Nb alloys
за авторством: Kharchenko, V.O., та інші
Опубліковано: (2013)

Surface morphology and sputtering of FeCrAl coating on steel exposed to low-energy deuterium plasmas
за авторством: Voyevodin, V.N., та інші
Опубліковано: (2019)

Phase and structure formation mechanism of ion-sputtered condensates
за авторством: O. V. Sobol
Опубліковано: (2008)

Surface morphology and structure of nanocrystalline diamond films deposited in CH₄/H₂/Ar glow discharge plasma
за авторством: Vyrovets, I.I., та інші
Опубліковано: (2009)

Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma
за авторством: Tolstolutskaya, G.D., та інші
Опубліковано: (2023)

The influence of substrate temperature on properties of Cu-Al-O films deposited using the reactive ion beam sputtering method
за авторством: A. I. Ievtushenko, та інші
Опубліковано: (2017)

The influence of substrate temperature on properties of Cu-Al-O films deposited using the reactive ion beam sputtering method
за авторством: Ievtushenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)

The influence of ion implantation by phosphorous on structural changes in porous silicon
за авторством: Swiatek, Z., та інші
Опубліковано: (2004)

Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2004)

Laser-induced incandescence of silicon surface under 1064-nm excitation
за авторством: A. V. Kopyshinsky, та інші
Опубліковано: (2012)

Laser-induced incandescence of silicon surface under 1064-nm excitation
за авторством: Kopyshinsky, A.V., та інші
Опубліковано: (2012)

On the influence of irradiation by Ar+ ions on the corrosion resistance of metals and alloys
за авторством: V. A. Belous, та інші
Опубліковано: (2010)

Ion beam technologies of surface modification. I. Ion cleaning and high dose implantation
за авторством: V. A. Belous, та інші
Опубліковано: (2003)

Cluster morphology silicon's nanoparticle
за авторством: Kovalchuk, V.V.
Опубліковано: (2007)

Formation of blisters in thin metal films on lithium niobate implanted by keV Ar⁺ ions
за авторством: Lysiuk, V.O., та інші
Опубліковано: (2010)

Morphological changes of immature rats liver at chronic drug-induced hepatitis and its pathogenetic correction
за авторством: N. A. Rykalo, та інші
Опубліковано: (2015)

Morphological response erythrocytes as regular response of cell shape to ion environment changes
за авторством: S. V. Rudenko
Опубліковано: (2008)

Surface diffusion induced by low-energy bombardment with He ions: an exchange mechanism
за авторством: Dudka, O.V., та інші
Опубліковано: (2017)

Radiation-induced effects in silicon
за авторством: Gaidar, G.P., та інші
Опубліковано: (2019)

Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection
за авторством: Bizyukov, I., та інші
Опубліковано: (2012)

Transitions from low-density state towards high-density state in stochastic bistable plasma-condensate systems
за авторством: Dvornichenko, A.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Universality and self-similar behaviour of non-equilibrium systems with non-Fickian diffusion
за авторством: Kharchenko, D.O., та інші
Опубліковано: (2014)