Зображення обкладинки

Polishing of AlN/sapphire substrates obtained by thermochemical nitridation of sapphire

Physicochemical conditions and polishing suspension composition were established for polishing of AlN/sapphire templates obtained by thermochemical nitridation of sapphire. The use of the polishing suspension based on aerosil and KOH with pH 10.3 allowed to prepare the surface with a roughness Ra up...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в:	Functional Materials
Дата:	2013
ISSN:	1027-5495
Автори:	Vovk, E.A., Budnikov, A.T., Nizhankovskyi, S.V., Kryvonogov, S.I., Krukhmalev, A.A., Dobrotvorskaya, M.V.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2013
Теми:	Technology
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120073
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Polishing of AlN/sapphire substrates obtained by thermochemical nitridation of sapphire / E.A. Vovk, A.T. Budnikov, S.V. Nizhankovskyi, S.I. Kryvonogov, A.A. Krukhmalev, M.V. Dobrotvorskaya // Functional Materials. — 2013. — Т. 20, № 2. — С. 253-258. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Mechanism of AlN film formation at thermochemical nitridization of sapphire
за авторством: Kaltaev, Kh.Sh.-ogly, та інші
Опубліковано: (2011)

Investigation of residual stresses in sapphire plates after grinding and polishing
за авторством: Budnikov, A.T., та інші
Опубліковано: (2012)

Thermochemical etching of sapphire in CO+H₂ gas atmosphere
за авторством: Kaltaev, Kh.Sh.-ogly, та інші
Опубліковано: (2010)

Anisotropy of sapphire properties associated with chemical-mechanical polishing with silica
за авторством: Budnikov, A.T., та інші
Опубліковано: (2010)

Deagglomeration of aerosil in polishing suspension for chemical-mechanical polishing of sapphire
за авторством: Vovk, E.A.
Опубліковано: (2015)

Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil
за авторством: Vovk, E.A.
Опубліковано: (2015)

Polishing substrates of single crystal silicon carbide and sapphire for optoelectronics
за авторством: Filatov, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2016)

XRD studies of surface layers in sapphire substrates of <101Bar2> crystalloghaphic orientation
за авторством: Tkachenko, V.F., та інші
Опубліковано: (2011)

Lowering the density of dislocations in heteroepitaxial III-nitride layers: Effect of sapphire substrate treatment (review)
за авторством: P. V. Parphenyuk, та інші
Опубліковано: (2016)

Lowering the density of dislocations in heteroepitaxial III-nitride layers: Effect of sapphire substrate treatment (review)
за авторством: Parphenyuk, P.V., та інші
Опубліковано: (2016)

Investigation of damaged layer formed at mechanical treatment of sapphire using three-crystal X-ray diffraction method
за авторством: Tkachenko, V.F., та інші
Опубліковано: (2014)

Structure perfection of sapphire single crystals grown by HOC method in reducing atmosphere
за авторством: Tkachenko, V.F., та інші
Опубліковано: (2011)

Wettability of sapphire
за авторством: Voloshyn, O.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Impact fragmentation of sapphire
за авторством: P. V. Konevskij, та інші
Опубліковано: (2015)

Peculiarity of sapphire application in medicine
за авторством: Lytvynov, L.A.
Опубліковано: (2014)

Hydrodynamical conditions in the melt at the growth of sapphire and YAG crystals by horizontal directed crystallization
за авторством: Nizhankovskyi, S.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Potentialities for sapphire strength enhancement
за авторством: Voloshyn, O.V., та інші
Опубліковано: (2007)

Charge state of the activator in Ti:sapphire crystals grown by HDC method
за авторством: Sidelnikova, N.S., та інші
Опубліковано: (2015)

On the words used as names for ruby and sapphire
за авторством: Lytvynov, L.A.
Опубліковано: (2011)

A study of applications of nanotexturized sapphire as a template for MOCVD-heteroepitaxy of III-nitrides
за авторством: N. O. Sukhovii, та інші
Опубліковано: (2018)

A study of applications of nanotexturized sapphire as a template for MOCVD-heteroepitaxy of III-nitrides
за авторством: Sukhovii, N. O., та інші
Опубліковано: (2018)

Filamentation of femtosecond vortex beam in sapphire
за авторством: I. V. Blonskyi, та інші
Опубліковано: (2013)

Filamentation of femtosecond vortex beam in sapphire
за авторством: I. V. Blonskyi, та інші
Опубліковано: (2013)

Diffusion and following isothermal desorption of impurity and matrix atoms out of sapphire and its melt
за авторством: Katrich, N.P., та інші
Опубліковано: (2006)

Structure perfection of bulk and near-surface layers in sapphire single crystals
за авторством: Tkachenko, V.F., та інші
Опубліковано: (2007)

The effect of a refrigerant on the efficiency of machining sapphire
за авторством: A. V. Voloshin, та інші
Опубліковано: (2013)

Anisotropy of deformation and fracture processes in sapphire surface
за авторством: A. V. Voloshin, та інші
Опубліковано: (2015)

Dependence of sapphire hardness on loading type and orientation
за авторством: Sinani, A.B., та інші
Опубліковано: (2009)

Manufacture of sapphire ribbons with low dislocation density
за авторством: Safronov, R.I., та інші
Опубліковано: (2016)

Sapphire subdivision at different heat treating types
за авторством: Brodskii, R.Ye., та інші
Опубліковано: (2017)

Study of nature of some defects visible in polarized light in sapphire signle crystals
за авторством: Tkachenko, V.F., та інші
Опубліковано: (2007)

Formation of the spinel structure (AIAI₂О₄) phase on sapphire surface
за авторством: Sidelnikova, N.S., та інші
Опубліковано: (2004)

Size distribution of sapphire fragments in shock fragmentation
за авторством: Brodskii, R.Ye., та інші
Опубліковано: (2011)

Some peculiarities of the use of sapphire light guides in metallurgy
за авторством: Zhukov, L.F., та інші
Опубліковано: (2010)

Optimization of temperature conditions for the growth of large-size sapphire crystals by the method of horizontally directed crystallization
за авторством: Grin, L.A., та інші
Опубліковано: (2013)

Growth of long-length sapphire rods of optical quality
за авторством: Andreev, Yu.P., та інші
Опубліковано: (2005)

Two-layered quasioptical sapphire resonator for bio-liquids dielectrometry
за авторством: A. A. Barannik, та інші
Опубліковано: (2017)

Effect of the crystallographic orientation on the sapphire surface roughness in diamond machining
за авторством: A. V. Voloshin, та інші
Опубліковано: (2013)

Transient mode features at sapphire growing by horizontal directional crystallization
за авторством: Barannik, S.V., та інші
Опубліковано: (2009)

Optical properties and fine faulty structure of sapphire crystals grown in low pressure CO gas atmosphere
за авторством: Puzikov, V.M., та інші
Опубліковано: (2000)