Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect

The results of investigations of strain effect in surface acoustic wave (SAW) elements with a piezoelectric ceramic (PC) acoustic line are presented. The choice of PC material for acoustic line is substantiated. Some recommendations concerning formation of interdigital transducer structures of the S...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Date:2000
Main Author: Lepikh, Ya.I.
Format: Article
Language:English
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2000
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120225
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect / Ya.I. Lepikh // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 91-93. — Бібліогр.: 14 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-120225
record_format dspace
spelling Lepikh, Ya.I.
2017-06-11T13:10:49Z
2017-06-11T13:10:49Z
2000
Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect / Ya.I. Lepikh // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 91-93. — Бібліогр.: 14 назв. — англ.
1560-8034
PACS: 07.07. D, 77.84. L
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120225
The results of investigations of strain effect in surface acoustic wave (SAW) elements with a piezoelectric ceramic (PC) acoustic line are presented. The choice of PC material for acoustic line is substantiated. Some recommendations concerning formation of interdigital transducer structures of the SAW element with PC acoustic line are given. For acoustic lines of different thicknesses fixed in cantilever a dependence of sensor responsivity on deforming force load is found. At optimum thickness of the PC acoustic line the sensor responsivity of 70 Hz/N is realized. The results of this work are compared to those obtained for single-crystal acoustic lines by other authors. A design of a pressure sensor with a strain-sensitive SAW element is presented, and some advantages of such sensors are discussed.
en
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
spellingShingle Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
Lepikh, Ya.I.
title_short Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
title_full Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
title_fullStr Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
title_full_unstemmed Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
title_sort strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
author Lepikh, Ya.I.
author_facet Lepikh, Ya.I.
publishDate 2000
language English
container_title Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
description The results of investigations of strain effect in surface acoustic wave (SAW) elements with a piezoelectric ceramic (PC) acoustic line are presented. The choice of PC material for acoustic line is substantiated. Some recommendations concerning formation of interdigital transducer structures of the SAW element with PC acoustic line are given. For acoustic lines of different thicknesses fixed in cantilever a dependence of sensor responsivity on deforming force load is found. At optimum thickness of the PC acoustic line the sensor responsivity of 70 Hz/N is realized. The results of this work are compared to those obtained for single-crystal acoustic lines by other authors. A design of a pressure sensor with a strain-sensitive SAW element is presented, and some advantages of such sensors are discussed.
issn 1560-8034
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120225
citation_txt Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect / Ya.I. Lepikh // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 91-93. — Бібліогр.: 14 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT lepikhyai straineffectinsurfaceacousticwaveelementswithapiezoelectricacousticlineandsensorsbasedonthiseffect
first_indexed 2025-11-25T18:28:28Z
last_indexed 2025-11-25T18:28:28Z
_version_ 1850519574290628608
fulltext 91����������� � �� ����� � ���� ������ ������ ������������ ���� ������ ������ �� ��� � ���� �� � ���� �������� ��� ����� � � ����� ! ���� � � ��"� ����"�#"� $���� %"� �"� &%'&$" ��� ����� ����� ��������� ����� ���������������������������������������� �������� ������������������������������ � ������� ��������� � �!������������������� �������� ������������ �� ������ "���������� ����� ���������������������� ����� ������ �� ����������� ����� ���������������� � �!� ��� ����������� � ����� ������������ ������ ����#������$ ����������� ����� ������ ����� ���� �������������� �������� ����� ��� ��� ��������������"������������� �#��� �������������� ��� ������������� �� ������������� ����� ����������������#� "���� ������ ���������������������������������������������� ������������� �� ���� ����#������� ����������� ����� ���������#������������%���������� ����������� ���� ��� ������ ������#�� ��$ ���%�����&����������� ����#�������� �� � ����� �� ��#�����%����������'�(� �� ) ����$ ���%��� '�()���������*��+�� �� �� ����#� � ��� ������ ��������� ��������� ����# � ����������� ���������������� � �������(�����������,� ����� � ��������������������������� �����-."����� �� ��� ���� �� ��� ���������� �� �������$ ����"����� �!�-." ��� �� �������������������������������#� �������"���� ��� ������ �,������������������� ������������������ �� �� ������#�������� ������������ ������"������/��������� ��������� ����� �� ���#���#�������������������������� ����� ��������������������������"������� ���� ����#� �� ���� ����������� ��������������#�� ����������#������������ �� ����������������������������� ������������������� ��� ����� ������������������������ ��������0�#��������������"���� ���� ��������� ����� �,��� ������ �� ��������������������� ������������ ������������ ������������������������������ ���� ��� ������#������ $ �����#��1�������� ���� �������� ��#���������� ������������������ ������������ �������� ������� ����������� �������������������������������������� ���������������#�����������#�� ���������������� ������� ������� �������������������������������������������� ��#����������������� 2���������������������� ����� �� ������������������ �������� ���� ��� �!���� ���������������%������������� �� ����34����� ����������������������������� ����� ����� �������������������� ���� �� ������������� ����� �� -���������#����� ��#�� �������34� ������������������ � ������5�6���"��#� � ����/������������������������ �� ������������������������ �����������������7������(���� ������ ��� ���������������������������� ����������������#����� ���� �������"���� ���� �,������� ��������������������# � ������������������������������������� ������� ��� 3�4 8�9:�9:��.��::�6+��; ������������������ ��������� ������������������������� ����������������� ������������ ������������� ��������������� ������������ �� �� � ����(���� ���� )�� ��� *�� � �+�� �!�� ���,�� -����(���� � - ���� .������ *������ +�� �&�� !� �!�� �����"�/����� �� ������ �0�%�1�� ���� �� ���������"������ ����� ����������������� ��������� �������� � ������� ����������� �!����� ���� ����� �����%���������� ���� ��� �34�� ��� ����� ����� ���������������"��� �������� �34� �������� �� ��� ����� ����� ��� � ������������� � �� ���� ���������� ����������� �� ������ � � ������������ ������ ������� �� ����� ����� �!���� ���������34���� ���������������������<������ ������������ �� ������ ����,������� �/��� ��� ����������� �� ����������� � � ������� �����������#� ��� �� �� ��� ����� ����� ��� � ����������� � ����,������ � ����34���� ����� ����� ���� ������� �����������#�� :9�2%)=���������%����"������ ����� ���������,������� ������������������������ ������������#���� ��� ����� ������ �#� ������ � ���������������� � � �� ����� ��� ������������ �� ����������������� �! ��� ���� ������������������ �� �������������� � � ��� ���������������� ����� !�"��� �#� ������� � ����� � � ���� ��� ���������������%���������� ���� ��������� ��� ������� 3��������������&:�9��77>��������� �� ����������������������77>���������� ���� ����������9+�9��99� 7& �� ��$2%3������ ������������#������������������� ��������� �������������������������� !������������������ ����� �34� ������������������ ������������%�������������������;'"���#��� ��?�������# ���� ���������������������������34�������� ������8����� � ������#�� � ����������������������������������������� ����>�������� ����� ����������������������� ����������#�� ���������#���������� �����>������@� �����>������ ������� ��������������!���� �!������ ������������ ������������ ��$ ��� ���������������� ������34���� �����������"��# �� ������������� ��� ������������������������������ ����# ������������� ��$ ���#���������#� ����� �����#��� � ��� �������� ��������,����� � ���� ������������������� ��� �����#��"��������������� ���������������������� �� ���� ����-."�� ��������� � ���������������������������� 34� ��������������������� �� ����� ������������������� $ ��� ����������� ����������#���������� ����������������� -."���� �� ������������� ����������&���*�� "����������� ������� �����34�������������� �������� -."���������� ����� �������������� ������<��������34 ������� ��� ����&9×:� &������ �/����������������������� �������� �/� ����"���,�������� ������������ �������������� ������9����������� �������������� ������������������� �� 4���� ����������������������������������������������� �����������"���-."������������������������,����� � ���� 4������#��������,��������������� ����������#� �� ������ � ���� ��� ��$ ���#� ���������� ��������������� ����� �������������� ��$ ���#���9�������9�A2%��"���-."������ �������������� ��������������� �*λ��������λ������������� ��������7��� �������� ������ ������� ����� ������������ -�������� ������������������������ �-."�� ������� ��� �������������� � ������� ������� ����������#�������� ��� �!���� ���� ��� ����������%������������� �� ��� � �������#��"��� �!� ������������� ��� ��������� ��������� ����� ��$ ���#������������ ����������� ������,������� �� ����������� ��� �����"�������������������� ��$ ���#���� ������������������������������ ������������������������ ����������������������� ��������������� �,������������� �������� ��$ ��� ����� ��� -."� �������������� ���#� ���� ������������������������ ��$ ���#������������������ �� ������ � � �������������� ���������� ���� ���� ����� ������� ��$ ��������������������������������������-."����������� ��������������������� �� ����������������������������� ��$ ��� ��������� �� ������������1��������� ����������� ������ ��$ ���#������������� ����������������������������� ����� �!���� �����������34���� ������������+�� -����� ����������������������#���� �34������� �/�������� ����������� �����#� ����������� ������#���������������� �������������������������������������������������/����� �������������"������������ �� �����,�� ��������� ������ ����� ���������������$ ��� ����� �������������� ���� "���� ���� �����#�� ������������������������� �� ����������� ��������A��� ����� �������� �����<����� ��� ���� �,���� �34� ���������A�������� �� �569��3'"�&� ���� �����#�A ������B���������+�99��3C0��&������ ��� ���0���������.���-����� ���� �3�#������0 ������ $��������������� ��� ���� �� � ��� ����� ������� ����������������� ����� �� ����� �!� ���������� ����� ��$ ���#���������∆��D� ��E��9����������� ��������� ��������������� ��������� �����34������������-."���� �� �� ��������� �/������������������-���*�����������������/����� ���������������������� ���������������� ��$ ���#������� ����� �������� ����������� ����������4��1��������������� � �������������� ����� �������������������������������� ����������/����������� ���������%���������������������� ���� ������� ���� ������� �!���� �������������������� �/�����������,������� ��������� �� 8 ( ) ( ��# � 4 � � ( �� �5 �� α µ ρ σ & �� & &� & 99 9 99 & 9 &� &� +    − − +≈    ∆ � 2��� ( ) ( )∫= 6 �� �� �5 �4 6 4 ζζσσ � � &�&� && �������� ������� ������������������������� ���������� �������6� ������� �! �����>������&�������������� �������������� � ����� ���� �����������#��>���D��)�9�������� �������������������#���� � �������� � ����/���� ������#�>�#9�������� �!��������#��� ���� ���������� �������>�ρ9�������� ������������#������� ���#>��9�����µ9�����F� ��G�� �� � ������3������G�������� �����������#>�α(����������� �������� ���������/��������� ���� �������>�(���������� ����� ��> &� & ��σ ���������/����� ������#� � �������������� ����������������� ��������<����&����������/���� ������ ��$ ���#������� 5������������������ ����� ����� ������34���� ��������������,� ��������"��� �������� �������� ����� �"�" �+&��� �,�� -���� ������������������������� ��� � ������������������� ����������������� ����� ��������� ��#8������������ ������� ������ ��������� �������7!�D�9�+&>������������� �������# ( **ε )ε �D�*:9H+9>��������������������������������������%�� �#���δ�I�9�995>� ���� ������������ ��������A���������� �&99>�����4 ������ ����� ���(��D�59*�C��"��� ��������� ������� �� �9����9�5�=��(���������������������/���� ������∆� �4��� ���������������������������������������"���� �,���� $ ������������ ���������������� ����������� ��������������� �� ��� �������,��� ����� ������#�� ��$ ���%��&������������� � � � %�&�� ����������� � �������� ������������ � �� ������� ������ �������� �!���� ���8� �� E�34� ��� ����� ����>� &� E� -."� ������������#������������������� ��������� �������������������������� 7*�� ��$2%3������ � ��������������� � �!������������8������������� �������� ����������#������������3��������� ���� ������������������ �������������������� ��������<����&������ ������������ �� ��������"������������ ��� ������������������������������� � ��������������� ��������������#������&����"����� ����� ������������ ���∆��D�9����4�D�9����� �� ������*� ������������ ���������������������,��������������������34�����������,� �������� �������������������������������������������� �����������#���������������������� ���������1 ���������� ��������������#����������� �������� ��������� ���������� ������������ ����� � ���������#���������������������� ������<����������� �������� ����,������� ���������������# �������������������������������������������� ��� ���� ����������������34�����������,������ ��� ����������� �����������#����:9�2%)=������������ ��� ������������� ����������#� ���� ������"���� ����,����� ��� �� ��� �� ����� ���� � -����� ������������������ ����������������� ������� ���������(������������������������������#���������#��� ��� ��#���� ��#���#��������������34���������%��� 1������������������������������ �!���� ������ ����� �������� ����������������� ����������� �������������#�� ������� ����� ����� �����������-����,������������� ��� ������ ��� <���*�� �� ���������� �������� ��� ���� ������ �����������#����������� ��� � ������������������� ��������� ������� ��� ����� ���������"��� ���������������� � ��� ������ ���������������� �������� �� ������� ����� ���� ������������������������� ������������������������������� ��� �� ����� ��� ������������� '���� ����� 1����������������� �������� ����� �!���� ������������� ����������������#������ ������������ �������������� ������ ��#������$ ������������������ �������� ��������������� � ����� �����������"������������� ��������� �������������� �����������������������������������$ ������������������� J���� ����%�������������� ������� �������������� ����� ������������������ ���������������������������������� ��#� ����������������������� �#���������������������� �������� �/��������������������� ������ ���������������� 8��������� �� .�K� ���,��2�<�"������������� ����#���� � � ���� ��� ������ ������ �������� ����������#� � � "9�� �� $ ���%� � � ��������� ���������� ����� ���� � �������� �/�������� ��#���� ���� � �������� ���� &*9� &*6�� ���3����� +&��������<��$��4������ # ����1���� �����A�� �766��=���F��,� ��76:�� &� F �K�? �#�����K�A�C�����,���F �K�A���,���� ������ � ��� ��� �!� ��� �� ��������� �� ���������#��������� $ ���%� ��� ���� ����� ���� 0 ������� ))�8�� ���� ��� � ���� � � ��� $$����� ���&++6�&+��� ��766�� *� -�A�?���,���� K�C�;�� ����,��� K�3�3������#�,� =�?�4����#�,��A��� ����� �� �� ������ ����������� ������ �� ��#����� ��� �� ���� ����0 �������� ���� �6&��6*�� ��� 3�����4�� � �� �� ���� � � ��,�5 ���� � �� ��� ��� �� �� ���� �-��A��� ���� ��766�� +� K�-������ ,����L�K�������?� ������� ������� ������ ��� �! ���'�() �� ��#����� ��� �� ���� ����0 ������� ))�9����"� (����" 4 :�� ()��9��� ���� &9���&9�+� ��766�� �� '�J�"�� ����� ������ ������������ �� ������� �!0� ))����' � ��� ������ �� ��� �*���&��� ���� &*��&*7� ��767�� 5� 3�. ����� <�;�%����� <�4������ 4�A� ���� ;����� ������� �� ��������� ������������ ��� ���� ����� ��������� ���� ���� 3�-�3����������� -�� ))�;� ��"� �� "� $��&��� ���� ++5*�++57� ��766�� :� ��F��.����������;���0�%������,��� �-�. �,���� ��� �����!�#� ��� �������� �����#� � ������� ��������� ��� ���%������������ ��� ������ ���� 0 �������� ���*��+��� ��� 4������� ��� �� <����� � � �: ���� � � ���� 3����� -������� ���� M� 3������ 4�� � N3��%�������������7�O��C����� 3 �����0���������.��� ��77��� 6� K�K�C�� ���� (� �.��,���,�#��� ?�L� ����,���� ��� ���� .�����,� ���%���������� ���� ��� ���� 0 �������� ���� �7�5��� �� 4������� ��� �� <����� �� � �: ���� � � ���� 3����� -������� ��� M�3������4�� �� N3��%�������������7�P��C�����3 �����0������ ���.��� ��77��� 7� F��-�;���,���������������� � ����;'"� �#��� ����� ��� ��� �! �������� ���� 0 ������� ))� ���� � ������ (���� �� �� ����9� ; �� ���� � ������� � � 5��=����� ���� +6��9� ��766�� �9� F��� ;���,��� � ����� � � ��%����� ��� ��������� �� ��� ���������������� ��57�� ������� � � ���)���� ����� ��� � ������ !�� ����������� -�������4�� ���L�����C� �����;����Q�� J�������������0���� ��779�� ��� K�3� �,����,���<�� � ������ ������ ��#����� ��� ���%������������ ���� 0 �������� ���� ���&�� ��� 4������� ��� �� <����� � � �: ���� � � ���� 3����� -������� ���� M� 3������ 4�� � N3��%�������������7�P��C����� 3 �����0���������.��� ��77��� �&� F��-�;���,���F �K�? �#����� ��=�C�������,��������#����� �������������� � � �!� ������� ���������������� ����0 ������� )) 8�� ���� ��� � ���� � � ��� $$������ ���� &*7��&*77� ��766�� �*� F��-�;���,������ �/��������� � � ���� ���� ������������ ��� �! �������� ���� ���������� ��$ ��� ����� ��� ��� ����0 �������� ��� 5*� ���)���� ��� ���� � � ����������� ����M�"������4�� ���A��� ���� ��77*�� �+� F��-�;���,��� �3�3����������� -������������� � � ���� ��$ ���# ����������� � � ���������� ������� ��� �!��������� ����0 ������ ))�(���� �������� 5��5��: �� ����("��=��� ��� ���� :6�6*� ��779�� � � � � � %�&�� $���� ���� ����� ������ �� � �� ����� ��� ������8� �� E� ���������� ����� �� ������� ������ ���>� &� E� �� ������� ����������>� *� E� �/��>� +� E ��������� �����>� �� E� ����� %�&�� �� ������ ��$ ���#� ��������∆��� 5�� ������� ����� ������4� � ����� ��,��� ���34������� ����,������ � 9��� ����� ��9� �&�� �������� �*�� � � � � �� �� � ∆������ � � �