Holiney, R., Matveeva, L., & Venger, E. (1999). Investigation of the undersurface damaged layers in silicon wafers. Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Holiney, R.Yu, L.A Matveeva, und E.F Venger. "Investigation of the Undersurface Damaged Layers in Silicon Wafers." Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics 1999.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Holiney, R.Yu, et al. "Investigation of the Undersurface Damaged Layers in Silicon Wafers." Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics, 1999.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.